公开(公告)号：CN102067289A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980122655.3

申请日：2009-06-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 田中爱 ,  吉良敦史 ,  不破耕

IPC: H01L21/3065 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00103 ,  B81B2203/033 ,  B81B2203/0392

Abstract: 本发明提供一种多段型衬底，在衬底的主面上，重叠形成各自包含不同种类材料、且各自的剥离方法不同的多个掩膜，映射多个掩膜的各自的形状依次进行使用等离子体的干蚀刻，由此进行台阶高差加工，获得具有多个台阶高差的多段型衬底。

公开(公告)号：CN101687215A

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：CN200880022395.8

申请日：2008-06-17

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 宫田贵裕 ,  村田真朗 ,  矢作充 ,  汤山纯平 ,  中村久三 ,  吉良敦史 ,  不破耕 ,  田中爱 ,  奥野亨 ,  崎尾进

IPC: B05D1/26 ,  B05D3/00 ,  B41J2/01

CPC classification number: B41J2/155

Abstract: 形成看不到筋条的覆膜。在基板(7)上，在第一印刷头(20a)与第二印刷头(20b)重叠的范围中，使从第一印刷头(20a)排出的第一排出液弹着的弹着位置和从第二印刷头(20b)排出的第二排出液弹着的弹着位置混合存在。按照随机数决定哪个排出液弹着。在由第一排出液形成的覆膜(30a)与由第二排出液形成的覆膜(30b)之间配置混合存在第一、第二排出液而形成的覆膜(30c)，所以边界变模糊，筋条变得看不到。

公开(公告)号：CN101687215B

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN200880022395.8

申请日：2008-06-17

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 宫田贵裕 ,  村田真朗 ,  矢作充 ,  汤山纯平 ,  中村久三 ,  吉良敦史 ,  不破耕 ,  田中爱 ,  奥野亨 ,  崎尾进

IPC: B05D1/26 ,  B05D3/00 ,  B41J2/01

CPC classification number: B41J2/155

Abstract: 形成看不到筋条的覆膜。在基板(7)上，在第一印刷头(20a)与第二印刷头(20b)重叠的范围中，使从第一印刷头(20a)排出的第一排出液弹着的弹着位置和从第二印刷头(20b)排出的第二排出液弹着的弹着位置混合存在。按照随机数决定哪个排出液弹着。在由第一排出液形成的覆膜(30a)与由第二排出液形成的覆膜(30b)之间配置混合存在第一、第二排出液而形成的覆膜(30c)，所以边界变模糊，筋条变得看不到。