公开(公告)号：CN1401598A

公开(公告)日：2003-03-12

申请号：CN02130345.2

申请日：2002-08-16

申请人： 株式会社神户制钢所

发明人： 若园武彦 ,  丰秀喜 ,  福谷和久

IPC分类号： C03B37/00 ,  C03B37/029 ,  G02B6/00

CPC分类号： C03B37/029 ,  C03B2205/63 ,  C03B2205/70

摘要： 一种光纤预型件加热炉，其结构简单并且在光纤预型件周边方向的温度分布极为均匀。该光纤预型件加热炉包括：光纤预型件可装入其中的炉芯管；包围炉芯管的加热器；一对电极连接部分，该电极连接部分设置在加热器上并具有面对炉芯管外周表面的相对表面；电极部分，该电极部分设置到每个电极连接部分上并连接电源。当在炉芯管和相对表面之间设置圆筒隔热件时，因为可以减少从炉芯管侧经电极部分向外的传热量，所以可以提高光纤预型件周边方向的温度分布均匀性。

公开(公告)号：CN1243847C

公开(公告)日：2006-03-01

申请号：CN02811894.4

申请日：2002-06-05

申请人： 株式会社神户制钢所

发明人： 玉垣浩 ,  冲本忠雄 ,  丰秀喜

IPC分类号： C23C16/511 ,  B01J19/08 ,  C03B37/018 ,  H05H1/46

CPC分类号： H05H1/46 ,  C03B37/0183 ,  C03B37/01884 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32522 ,  H05B6/701 ,  H05H2001/4622 ,  H05H2001/463

摘要： 是从设置在环状波导管(5)的内周壁的天线(20)向配置在环状波导管(5)的内侧的反应室(2)内提供微波功率，并在前述反应室(2)内部产生等离子，从而利用气相生长合成法成膜的等离子CVD装置，在该装置上，在前述环状波导管(5)与反应室(2)之间配置冷却装置(27)，是将前述环状波导管(5)的温度保持在低温的构成。

公开(公告)号：CN1265218C

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN02130345.2

申请日：2002-08-16

申请人： 株式会社神户制钢所

发明人： 若园武彦 ,  丰秀喜 ,  福谷和久

IPC分类号： G02B6/00 ,  C03B37/00 ,  C03B37/029

CPC分类号： C03B37/029 ,  C03B2205/63 ,  C03B2205/70

摘要： 一种光纤预型件加热炉，其结构简单并且在光纤预型件周边方向的温度分布极为均匀。该光纤预型件加热炉包括：光纤预型件可装入其中的炉芯管；包围炉芯管的加热器；一对电极连接部分，该电极连接部分设置在加热器上并具有面对炉芯管外周表面的相对表面；电极部分，该电极部分设置到每个电极连接部分上并连接电源。当在炉芯管和相对表面之间设置圆筒隔热件时，因为可以减少从炉芯管侧经电极部分向外的传热量，所以可以提高光纤预型件周边方向的温度分布均匀性。

公开(公告)号：CN1516750A

公开(公告)日：2004-07-28

申请号：CN02811894.4

申请日：2002-06-05

申请人： 株式会社神户制钢所

发明人： 玉垣浩 ,  冲本忠雄 ,  丰秀喜

IPC分类号： C23C16/511 ,  B01J19/08 ,  C03B37/018 ,  H05H1/46

CPC分类号： H05H1/46 ,  C03B37/0183 ,  C03B37/01884 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32522 ,  H05B6/701 ,  H05H2001/4622 ,  H05H2001/463

摘要： 是从设置在环状波导管(5)的内周部的天线(20)向配置在环状波导管(5)的内侧的反应室(2)内提供微波功率，并在前述反应室(2)内部产生等离子，从而利用气相生长合成法成膜的等离子CVD装置，在该装置上，在前述环状波导管(5)与反应室(2)之间配置冷却装置(27)，是将前述环状波导管(5)的温度保持在低温的构成。