公开(公告)号：CN109071356B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201780022824.0

申请日：2017-02-09

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  中根靖夫 ,  畠英雄

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B37/02 ,  C23C14/34

Abstract: 一种氧化物烧结体，其中，含有50～500ppm的锆，相对于除去氧以外的全部金属元素，设锌、铟、镓和锡的含量的比例(原子％)分别为[Zn]、[In]、[Ga]和[Sn]时，满足下式(1)～(3)。35原子％≤[Zn]≤55原子％…(1)20原子％≤([In]+[Ga])≤55原子％…(2)5原子％≤[Sn]≤25原子％…(3)。

公开(公告)号：CN109071361B

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201780023775.2

申请日：2017-02-09

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  中根靖夫 ,  畠英雄

IPC: C04B35/453 ,  C23C14/34 ,  H01L21/363

Abstract: 一种氧化物烧结体，其中，设锌、铟、镓和锡的含量相对于除氧以外的全部金属元素的比例(原子％)分别为[Zn]、[In]、[Ga]和[Sn]时，满足40原子％≤[Zn]≤55原子％、20原子％≤[In]≤40原子％、5原子％≤[Ga]≤15原子％、和5原子％≤[Sn]≤20原子％，相对密度为95％以上，含有5～20体积％的InGaZn2O5作为晶相。

公开(公告)号：CN104619673B

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201380047313.6

申请日：2013-09-10

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  金丸守贺 ,  南部旭 ,  畠英雄

IPC: H01L21/363 ,  C04B35/453 ,  C04B35/00 ,  C23C14/34

CPC classification number: H01J37/3429 ,  C04B35/453 ,  C04B35/457 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3426 ,  H01J2237/3322 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02631

Abstract: 一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn2SnO4相和InGaZnO4相以规定的比例包含。

公开(公告)号：CN104619673A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201380047313.6

申请日：2013-09-10

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  金丸守贺 ,  南部旭 ,  畠英雄

IPC: C04B35/453 ,  C04B35/00 ,  C23C14/34 ,  H01L21/363

CPC classification number: H01J37/3429 ,  C04B35/453 ,  C04B35/457 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3426 ,  H01J2237/3322 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02631

Abstract: 一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn2SnO4相和InGaZnO4相以规定的比例包含。

公开(公告)号：CN111465713B

公开(公告)日：2022-05-03

申请号：CN201980006346.3

申请日：2019-02-12

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  畠英雄

IPC: C23C14/34 ,  C01G25/00 ,  C04B35/457 ,  G11B7/2578 ,  G11B7/26

Abstract: 本发明提供一种溅镀靶材和溅镀靶。溅镀靶材包含锌(Zn)的氧化物、锡(Sn)的氧化物及锆(Zr)的氧化物，其中相对于氧(O)以外的所有元素，锌的含量AZn为超过0at％且50at％以下，锡的含量ASn为20at％以上且80at％以下，及锆的含量AZr为超过0at％且40at％以下，而且Zn的含量AZn满足下述式(1)；经测定的多个比电阻值中最大值相对于最小值的比为3以下，及所述比电阻值为5×10‑1[Ω·cm]以下；而且所述溅镀靶材不含有铟(In)。AZn/(AZn+ASn)≦0.6·····(1)。

公开(公告)号：CN104619674B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201380047358.3

申请日：2013-09-10

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  畠英雄 ,  南部旭 ,  金丸守贺

IPC: C04B35/453 ,  C04B35/00 ,  C23C14/34 ,  H01L21/363

CPC classification number: H01J37/3429 ,  C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B35/457 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/66 ,  C04B2235/763 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/80 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3491 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02631

Abstract: 一种将氧化锌、氧化铟、氧化镓和氧化锡混合并烧结而得到的氧化物烧结体。所述氧化物烧结体的相对密度为85％以上，在所述氧化物烧结体的表面观察到的晶粒的平均晶粒直径小于10μm。对所述氧化物烧结体进行X射线衍射时，Zn2SnO4相和InGaZnO4相为主相，InGaZn2O5相为3体积％以下。

公开(公告)号：CN109071361A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780023775.2

申请日：2017-02-09

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  中根靖夫 ,  畠英雄

IPC: C04B35/453 ,  C23C14/34 ,  H01L21/363

Abstract: 一种氧化物烧结体，其中，设锌、铟、镓和锡的含量相对于除氧以外的全部金属元素的比例(原子％)分别为[Zn]、[In]、[Ga]和[Sn]时，满足40原子％≤[Zn]≤55原子％、20原子％≤[In]≤40原子％、5原子％≤[Ga]≤15原子％、和5原子％≤[Sn]≤20原子％，相对密度为95％以上，含有5～20体积％的InGaZn2O5作为晶相。

公开(公告)号：CN109071356A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780022824.0

申请日：2017-02-09

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  中根靖夫 ,  畠英雄

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B37/02 ,  C23C14/34

Abstract: 一种氧化物烧结体，其中，含有50～500ppm的锆，相对于除去氧以外的全部金属元素，设锌、铟、镓和锡的含量的比例(原子％)分别为[Zn]、[In]、[Ga]和[Sn]时，满足下式(1)～(3)。35原子％≤[Zn]≤55原子％…(1)20原子％≤([In]+[Ga])≤55原子％…(2)5原子％≤[Sn]≤25原子％…(3)。

公开(公告)号：CN104379802A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380031944.9

申请日：2013-07-19

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 越智元隆 ,  畠英雄 ,  松村仁实

IPC: C23C14/34 ,  H01L21/203 ,  H01L21/363 ,  H01L29/786

CPC classification number: C23C14/3407 ,  H01J37/3411 ,  H01J37/3414 ,  H01J37/3426 ,  H01J37/3435 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02631 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/7869

Abstract: 本发明提供一种在背衬板上，经由粘合材，留出间隔而配置有多个氧化物靶构件的靶组装体。所述靶组装体在氧化物靶构件和背衬板之间，具有跨越所述间隔而设的由从Ni、Si、Hf和Ta所构成的组中选择的至少一种或两种以上构成的内衬构件。

公开(公告)号：CN109804099B

公开(公告)日：2021-05-07

申请号：CN201780061583.0

申请日：2017-08-22

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 大内康裕 ,  畠英雄 ,  中根靖夫

IPC: C23C14/34 ,  B05B7/16 ,  C23C24/04

Abstract: 本发明的实施方式，是对于包含具有缺损部(24)的铜制的基底(22)的背板(20)进行修补的方法，其中，包括如下工序：对于所述缺损部(24)的表面进行研磨的工序；在所述研磨工序后，将修补用粒子喷射到所述缺损部(24)并使之堆积的工序，所述修补用粒子中含有铜粒子和陶瓷粒子。