一种RCZ法拉制掺镓单晶硅的方法

    公开(公告)号:CN111424313A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN202010326316.5

    申请日:2020-04-23

    IPC分类号: C30B29/06 C30B15/20 C30B15/04

    摘要: 本发明公开了一种RCZ法拉制掺镓单晶硅的方法,包括以下步骤:步骤1,拆炉、清理炉膛;步骤2,装炉;步骤3,对单晶炉内进行抽真空和捡漏;步骤4,压力化与熔料;步骤5,稳温;步骤6,引晶;步骤7,放肩;步骤8,转肩;步骤9,等径生长;步骤10,收尾与冷却;步骤11,停炉,取出单晶硅棒,复投或拆炉;本发明的RCZ法拉制掺镓单晶硅的方法在现有的设备、工艺上进行改进后,所得拉制出的掺镓单晶硅棒轴、径向电阻均匀性明显提高,晶棒的有效拉制长度由60-65%增加到了70-75%,减少了循环料及最后一炉炉内剩料量;晶棒头部含氧率降低了1.0 PPM,断线率降低了10%。

    大尺寸单晶硅等径生长过程中调控液面位置的装置及工艺

    公开(公告)号:CN110923810A

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201911266168.6

    申请日:2019-12-11

    IPC分类号: C30B29/06 C30B15/20

    摘要: 本发明公开了大尺寸单晶硅等径生长过程中调控液面位置的装置及工艺,结构包括外壳和内壳,内壳内设有保温材料和坩埚,坩埚底部设有升降杆,外壳内的上部设有提升机构和与之相连的导流筒,坩埚的侧部和底部均设有加热器;工艺包括稳定温度、引晶、放肩和转肩、等径,在单晶硅等径生长过程中,熔体硅的液面和导流筒可上、下浮动,以调整晶体生长界面的温度梯度。本发明大大增加了等径生长阶段的工艺调控窗口,使单晶硅等径生长阶段断棱率大大降低,提升了单晶棒的良率,同时,配以本发明可以缩短加热器的高度,降低单晶棒中氧含量。

    一种提高单晶硅棒利用率的切割方法

    公开(公告)号:CN110978303A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911322740.6

    申请日:2019-12-20

    IPC分类号: B28D5/00 B28D5/04

    摘要: 本发明公开了一种提高单晶硅棒利用率的切割方法,在原有切割210mm的开方线网之外,再添加一套向外扩展20mm的切割线网;切割后,将产生210mm边长的方棒和4块厚度为20mm带有圆弧边的单晶板坯,以及4块厚度约25mm的圆拱形单晶边皮;将多个单晶板坯使用水溶胶粘合后,使用金刚线截断机进行裁边,修正为厚度20mm、边长158mm、长度等于圆棒的长方形单晶板坯。本发明切割方法,可以提高单晶圆棒切割后可利用部分晶体的体积占比,提高单晶硅棒有效利用率,大大节约了生产成本。

    多晶剖方机防导轮滑动装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110682454A

    公开(公告)日:2020-01-14

    申请号:CN201910967591.2

    申请日:2019-10-12

    IPC分类号: B28D7/00 B28D5/04

    摘要: 本发明提供多晶剖方机防导轮滑动装置,包括活动轴承、导轮轴头、导轮轴、活动轴承箱、安装架、十字卡块、十字卡槽以及安装孔,活动轴承右端面安装有活动轴承箱,活动轴承箱右侧连接有导轮轴,导轮轴左端面装配有导轮轴头,活动轴承箱右端面前侧安装有安装架,安装架前端面开设有安装孔,安装架内壁与活动轴承箱内壁开设有十字卡槽,导轮轴头上下端面固定有十字卡块,该设计解决了原有多晶剖方机导轮与活动轴承箱连接处容易发生滑动的问题,本发明结构合理,降低设备故障,防止导轮滑动造成的断线和配件损坏,使用效果好。

    一种适合多晶铸锭的新型侧部加热器

    公开(公告)号:CN110670130A

    公开(公告)日:2020-01-10

    申请号:CN201910967590.8

    申请日:2019-10-12

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 本发明提供一种适合多晶铸锭的新型侧部加热器,包括第一侧电极吊臂、第二侧电极吊臂、侧加热器上、侧加热器下、第三侧电极吊臂以及cc板,第一侧吊臂和第二侧吊臂内侧安装有侧加热器上,第一侧吊臂和第二侧吊臂内侧安装有侧加热器下,侧加热器上下侧装配有侧加热器下,侧加热器上和侧加热器下右端面安装有第二侧电极吊臂,第四侧吊臂右侧设置有第三侧电极吊臂,第七侧吊臂右侧设置有第一侧电极吊臂,第四侧吊臂和第五侧吊臂上端面安装有cc板,该设计解决了原有的有的多晶硅片尺寸一直都是按单晶设计,更大尺寸的多晶硅片受限多晶炉加热器尺寸的问题,本发明结构合理,效率和产能有效提升,铸造大尺寸硅锭。

    一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法

    公开(公告)号:CN110578167A

    公开(公告)日:2019-12-17

    申请号:CN201910976835.3

    申请日:2019-10-15

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法,该装料方法具体为:首先在坩埚底部均匀地铺满小块硅料;然后在所述小块硅料之上采用均匀排列的方式铺设方形回收料,之后再在所述坩埚的四角位置放置晶砖回收料或堆叠的方形回收料;再将边皮回收料斜靠在所述坩埚的侧壁上,保证坩埚四面的侧壁不被露出,所述边皮回收料与坩埚侧壁之间呈线性接触,两者之间形成夹角;最后装入硅原料以及掺杂剂,完成装料。本发明的装料方法能够减少硅料由于膨胀挤压刮坏涂层的可能,同时能够降低多晶硅铸锭过程中由于硅料受热膨胀挤压破坏坩埚而发生溢流的可能性。

    一种单晶剖方机吊装夹具

    公开(公告)号:CN212096984U

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201921860110.X

    申请日:2019-10-31

    发明人: 黄琳 孟涛 张志强

    IPC分类号: B28D5/00 B28D7/00 B28D7/04

    摘要: 本实用新型属于工装夹具技术领域,尤其是一种单晶剖方机吊装夹具,包括支撑部,支撑部的一端为固定挡板,另一端为活动挡板,活动挡板具有延伸部,该延伸部与支撑部的端部相互铰接;活动挡板中间位置设有螺母部,贯穿螺母部设置有螺杆部,螺杆部位于活动挡板内侧的端部设有固定夹持面,螺杆部位于活动挡板外侧的端部设有手摇部件;延伸部上部具有吊装臂,吊装臂上开设有若干用于吊装固定的孔洞,若干孔洞的布置方向平行于支撑部。本实用新型结构简单,可安装在悬臂吊上操作轻松对单晶棒进行吊装,极大的降低了工人的劳动强度,减少了不必要碰撞造成的成本浪费。

    一种用于自动清洗机下料移载装置

    公开(公告)号:CN211846171U

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201922454990.7

    申请日:2019-12-30

    IPC分类号: B65G47/06

    摘要: 本实用新型涉及一种用于自动清洗机下料移载装置,属于硅料清洗技术领域。该用于自动清洗机下料移载装置,包括机架、竖直气缸、水平气缸、第一横杆、第二横杆、导轨和滑块,第一横杆设置在机架的中上部,第二横杆设置在机架中下部,导轨水平设置在第一横杆上,滑块设置在导轨上,竖直气缸安装在滑块上,竖直气缸的输出轴端部固接有挂钩;第二横杆右侧上端固接有下料台;水平气缸设置在机架上端左侧,水平气缸的输出轴端部与竖直气缸固接。本实用新型的移载装置将清洗完成的花篮移出下料台,在另外的下料位置下料,在此同时,员工能够将第二花篮的待清洗硅料放入下料台,再由自动清洗机移入清洗,节省了下料等待时间,大大提高了生产率。

    多晶剖方机防导轮滑动装置

    公开(公告)号:CN211074281U

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201921709753.4

    申请日:2019-10-12

    IPC分类号: B28D7/00 B28D5/04

    摘要: 本实用新型提供多晶剖方机防导轮滑动装置,包括活动轴承、导轮轴头、导轮轴、活动轴承箱、安装架、十字卡块、十字卡槽以及安装孔,活动轴承右端面安装有活动轴承箱,活动轴承箱右侧连接有导轮轴,导轮轴左端面装配有导轮轴头,活动轴承箱右端面前侧安装有安装架,安装架前端面开设有安装孔,安装架内壁与活动轴承箱内壁开设有十字卡槽,导轮轴头上下端面固定有十字卡块,该设计解决了原有多晶剖方机导轮与活动轴承箱连接处容易发生滑动的问题,本实用新型结构合理,降低设备故障,防止导轮滑动造成的断线和配件损坏,使用效果好。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利