一种双模透明RFID标签及其制备方法

    公开(公告)号:CN117521704A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311250876.7

    申请日:2023-09-26

    申请人: 浙江大学

    发明人: 黄天凤 叶志

    IPC分类号: G06K19/077 H01L27/12

    摘要: 本发明公开了一种双模透明RFID标签及其制备方法,属于射频识别领域,所述双模透明RFID标签包括RFID芯片和双模天线,所述RFID芯片在透明玻璃上制备,所述RFID芯片与所述双模天线固定在透明玻璃表面,本发明小尺寸透明RFID标签制备方法为首先准备基板,即清洗该透明的康宁玻璃,然后通过光刻和溅射将源漏极溅射在玻璃上,再通过原子层沉积系统ALD沉积导电有源层ZnO和栅氧层Al2O3,接着利用磁控溅射设备溅射栅极,然后利用PECVD选择性注入氘离子生成电路结构,最后溅射铝或者银,用于制作天线,至此,整个双模透明RFID标签制备完成。本发明双模透明RFID标签成本低廉且具有更广泛复杂应用场景。

    三维堆叠的全透明微处理器

    公开(公告)号:CN111477623B

    公开(公告)日:2023-06-16

    申请号:CN202010326983.3

    申请日:2020-04-23

    申请人: 浙江大学

    发明人: 赵万鹏 叶志

    摘要: 本发明公开了一种三维堆叠的全透明微处理器,其部分或全部电路可执行指令控制及算术逻辑的功能,三维堆叠的全透明微处理器由多个不同功能的透明电路层直接堆叠构成,每层电路层均由透明薄膜晶体管构成,不同透明电路层之间通过绝缘层屏蔽,并通过开设通孔及沉积透明导电材料实现层间互连。所述的微处理器还包含有反相器,所述的反相器是由两个为增强型薄膜晶体管、两个耗尽型薄膜晶体管构成的反馈型反相器;本发明的微处理器采用三维堆叠的结构,相较传统CMOS技术和薄膜晶体管技术减少了75%的面积,降低了成本,提高了片内数据传输速度,所采用的反相器电路采用高增益、大噪声容限的设计,提高了电路性能。

    一种碳纳米管与氧化锌混合TFT CMOS逻辑电路及其制备方法

    公开(公告)号:CN115621283A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202211016708.7

    申请日:2022-08-24

    申请人: 浙江大学

    发明人: 姚崇 叶志

    摘要: 本发明涉及一种碳纳米管(CNT)与氧化锌(ZnO)两种半导体材料混合的TFT CMOS逻辑电路及其制备方法;CMOS电路结构由等数量的P/NMOS构成;所述的CMOS基于平面薄膜生长以及图形化技术工艺制作;所述的PMOS有源层为CNT,NMOS有源层为ZnO;所述的PMOS源漏电极为金,栅极为ITO,NMOS的三个电极均为ITO,PMOS和NMOS栅氧层均为Al2O3。本发明的TFT CMOS逻辑电路可以用于制备中小型规模的集成电路。本发明的混合材料CMOS逻辑电路成本较低,工艺简易,具有优秀的电气性能,相比传统增强型、耗尽型以及伪CMOS,具有功耗低,噪声容限大,增益高,结构简单,集成度高的优点。

    一种基于RFID标签和区块链的商品防伪溯源方法

    公开(公告)号:CN114897536A

    公开(公告)日:2022-08-12

    申请号:CN202111587296.8

    申请日:2021-12-23

    申请人: 浙江大学

    发明人: 王候钧 叶志

    摘要: 本发明公开一种基于RFID标签和区块链的商品防伪溯源方法,属于防伪溯源技术领域,该方法包括以下步骤:设计RFID标签,每个标签内写入唯一识别码,将两个RFID标签的唯一识别码组合生成一件商品的防伪溯源码;建立数据库,将各商品的防伪溯源码录入到数据库中;配置区块链网络,运用Docker容器化技术部署到生产网络;建立防伪溯源平台,设计开发防伪溯源平台的SDK和web前端模块,web前端模块通过调用SDK的接口,实现了与区块链账本进行交互,当交易发生时,能够更新账本,并且可以根据RFID的唯一识别码对区块链账本交易进行查询。本方法保密性能好,溯源数据难以篡改伪造、溯源结果准确可靠,且方便操作和实施。

    三维堆叠的全透明微处理器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111477623A

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN202010326983.3

    申请日:2020-04-23

    申请人: 浙江大学

    发明人: 赵万鹏 叶志

    摘要: 本发明公开了一种三维堆叠的全透明微处理器,其部分或全部电路可执行指令控制及算术逻辑的功能,三维堆叠的全透明微处理器由多个不同功能的透明电路层直接堆叠构成,每层电路层均由透明薄膜晶体管构成,不同透明电路层之间通过绝缘层屏蔽,并通过开设通孔及沉积透明导电材料实现层间互连。所述的微处理器还包含有反相器,所述的反相器是由两个为增强型薄膜晶体管、两个耗尽型薄膜晶体管构成的反馈型反相器;本发明的微处理器采用三维堆叠的结构,相较传统CMOS技术和薄膜晶体管技术减少了75%的面积,降低了成本,提高了片内数据传输速度,所采用的反相器电路采用高增益、大噪声容限的设计,提高了电路性能。

    一种基于TFT的具有大存储窗口的透明闪存及其制造方法

    公开(公告)号:CN110211958A

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201910340470.5

    申请日:2019-04-25

    申请人: 浙江大学

    发明人: 张宁 叶志

    IPC分类号: H01L27/11521

    摘要: 本发明涉及一种基于TFT的具有大存储窗口的透明闪存及其制造方法,该闪存是一种基于金属氧化物TFT的浮栅结构闪存器件,该闪存器件包括电极、有源层、第一栅氧层、浮栅层、保护层、第二栅氧层。其中,有源层、第一栅氧层、浮栅层、保护层、第二栅氧层均由透明金属氧化物薄膜制得,浮栅层采用ZnO薄膜制备得到。本发明的基于TFT的具有大存储窗口的透明闪存成本较低,存储窗口较大,相比传统多晶硅材料闪存具有更优秀的存储性能。

    一种基于氧化锌薄膜的薄膜晶体管

    公开(公告)号:CN105576017B

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201510939432.3

    申请日:2015-12-15

    申请人: 浙江大学

    发明人: 叶志 刘腾飞

    IPC分类号: H01L29/423 H01L29/786

    摘要: 本发明公开了一种基于氧化锌薄膜的薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括半导体沟道层、栅绝缘层、源极、漏极和栅极。本发明的基于氧化锌薄膜的薄膜晶体管以氧化锌薄膜作为半导体沟道层,采用顶栅结构并采用双层的栅绝缘层,栅绝缘层中第一绝缘层作为氧化锌薄膜的保护层,能有效保护氧化锌薄膜不受环境和后续工艺的影响。通过多次氧气氛围下的快速退火,使得氧化锌薄膜的载流子浓度得到有效控制,进而使薄膜晶体管可以在接近0V的栅极偏压下实现关断,并对氧化锌薄膜进行去氢化处理,同时修复半导体沟道层和绝缘层的界面处缺陷,使得薄膜晶体管的电学稳定性得到极大提高。

    一种基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管及制备方法

    公开(公告)号:CN108376712A

    公开(公告)日:2018-08-07

    申请号:CN201810113409.2

    申请日:2018-02-05

    申请人: 浙江大学

    发明人: 刘妮 叶志

    摘要: 本发明公开了一种基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管及其制备方法,该晶体管以碘化亚铜作为有源层,所述的碘化亚铜采用热蒸发法沉积,且在沉积后经惰性气体退火处理或水蒸气退火处理。所述的基于碘化亚铜的透明薄膜晶体管采用顶栅结构,包括衬底、设于衬底上的源/漏电极、设于源漏电极间的有源层、设于有源层上并将有源区完全覆盖的保护层、顶栅、以及设置于顶栅与保护层之间的绝缘层,该绝缘层完全覆盖保护层。本发明的器件及方法操作复杂度低,且薄膜质量高,很好的解决了传统方法难以两全的尴尬,适用于大范围的工业生产。

    薄膜晶体管及制造方法与应用方法

    公开(公告)号:CN107293581A

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:CN201710368636.5

    申请日:2017-05-22

    发明人: 刘旸 叶志 曹臻

    摘要: 本发明公开了一种薄膜晶体管及制造方法与应用方法,其中薄膜晶体管包括带悬空绝缘材料薄膜的基底、导电材料源区、导电材料漏区以及半导体材料沟道。本发明通过利用导电材料作为源区和漏区材料,省去了对源区和漏区的高精度掺杂。将薄膜晶体管放入生物分子、离子或纳米颗粒的离子溶液中时,可实现对待检测物质的电学特性检测。本发明的薄膜晶体管的稳定性好、检测精准度高,制造工艺较为简单。

    指纹识别面板及装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107066920A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201611206978.9

    申请日:2016-12-23

    发明人: 元永刚 叶志 刘旸

    IPC分类号: G06K9/00

    CPC分类号: G06K9/0002

    摘要: 本发明公开了一种指纹识别面板及装置,其中面板具有两层结构,一层为透明指纹感测阵列,另一层为透明信号处理电路;透明指纹感测阵列和透明信号处理电路之间设置有透明绝缘薄膜,透明绝缘薄膜上设置有通孔,透明指纹感测阵列和透明信号处理电路之间通过通孔连接;透明指纹感测阵列包括多个透明导电面板;工作时,透明导电面板响应于外部的手指感应形成电容,透明信号处理电路通过通孔对透明导电面板进行充电,并在充电结束后获取电容所存储的电压值进行输出。本发明提供的指纹识别面板及装置,减少了信号在传输的过程中的损耗,消除了线寄生电容以及耦合电容对识别出来的信号的干扰,提高了指纹识别的精度。