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公开(公告)号：CN114952592A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210174362.7
申请日：2022-02-24
Applicant: 海成帝爱斯株式会社
Inventor： 具钟会 , 姜圣日 , 金利均 , 金洪灿 , 裵仁燮 , 许贞镐
IPC: B24B37/00 , B24B37/11 , B24B37/34
Abstract: 本发明提供一种基板表面研磨装置，其包括：研磨装置，其包括对基板的表面进行研磨的多个研磨辊；以及基板支撑部件，其支撑所述基板，其中，所述研磨辊的旋转轴设置为与相邻的研磨辊的旋转轴相倾斜。
