公开(公告)号：CN107532294B

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201680026945.8

申请日：2016-05-09

Applicant: 田中贵金属工业株式会社

Inventor： 原田了辅 ,  重富利幸 ,  铃木和治 ,  锅谷俊一 ,  熊仓亚希子 ,  小林琉美 ,  曾根孝之

IPC: C23C16/18 ,  C07C211/21 ,  C07F15/00 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明涉及下述所示的由在2价铂上配位有烯基胺及烷基阴离子的有机铂化合物构成的化学蒸镀用原料。在下述中，n为1以上5以下。烯基胺的取代基R1至R5分别为氢原子、烷基等，并且它们的碳原子数均为4以下。烷基阴离子R6及R7分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。本发明的原料的蒸气压较高，可在低温下制造铂薄膜，同时也兼具适度的热稳定性。

公开(公告)号：CN107532294A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680026945.8

申请日：2016-05-09

Applicant: 田中贵金属工业株式会社

Inventor： 原田了辅 ,  重富利幸 ,  铃木和治 ,  锅谷俊一 ,  熊仓亚希子 ,  小林琉美 ,  曾根孝之

IPC: C23C16/18 ,  C07C211/21 ,  C07F15/00 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明涉及下述所示的由在2价铂上配位有烯基胺及烷基阴离子的有机铂化合物构成的化学蒸镀用原料。在下述中，n为1以上5以下。烯基胺的取代基R1至R5分别为氢原子、烷基等，并且它们的碳原子数均为4以下。烷基阴离子R6及R7分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。本发明的原料的蒸气压较高，可在低温下制造铂薄膜，同时也兼具适度的热稳定性。