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    物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体
    1.
    发明授权
    物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体 有权

    公开(公告)号：CN106482719B

    公开(公告)日：2021-12-28

    申请号：CN201610719483.X

    申请日：2016-08-24

    申请人： 精工爱普生株式会社

    发明人： 西泽竜太 ,  山口啓一 ,  中川啓史

    IPC分类号： G01C19/56

    摘要： 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。

    物理量检测装置的制造方法
    3.
    发明授权
    物理量检测装置的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN113048967B

    公开(公告)日：2023-11-28

    申请号：CN202110318966.X

    申请日：2016-08-24

    申请人： 精工爱普生株式会社

    发明人： 西泽竜太 ,  山口啓一 ,  中川啓史

    IPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614

    摘要： 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配

    物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体
    4.
    发明授权
    物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体 有权

    公开(公告)号：CN106969760B

    公开(公告)日：2022-02-18

    申请号：CN201610947746.2

    申请日：2016-10-26

    申请人： 精工爱普生株式会社

    发明人： 石井昌宏 ,  山口啓一 ,  菊池尊行

    IPC分类号： G01C19/5656 ,  G01C19/5649

    摘要： 本发明提供一种物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体。振动片(1)具有：检测臂(221)，其沿着Z轴方向进行驱动振动，且通过被施加角速度而沿着X轴方向进行检测振动；第一电极部(331)、第二电极部(332)、第三电极部(341)、第四电极部(342)以及第一接地电极部(351)、第二接地电极部(352)、第三接地电极部(353)、第四接地电极部(354)，它们被配置在检测臂(221)上。并且，第一电极部(331)与第一接地电极部(351)之间所产生的信号和第二电极部(332)与第二接地电极部(352)之间所产生的信号在驱动振动时为反相，在检测振动时为同相。此外，第三电极部(341)与第三接地电极部(353)之间所产生的信号和第四电极部(342)与第四接地电极部(354)之间所产生的信号在驱动振动时为反相，在检测振动时为同相。

    振子、振动装置及电子设备
    5.
    发明公开
    振子、振动装置及电子设备 有权

    公开(公告)号：CN103115619A

    公开(公告)日：2013-05-22

    申请号：CN201210460416.2

    申请日：2012-11-15

    申请人： 精工爱普生株式会社

    发明人： 大泽征司 ,  山口啓一 ,  盐原利彦 ,  矶野裕一 ,  菊池尊行

    IPC分类号： G01C19/5733

    CPC分类号： H01L41/09 ,  G01C19/5607 ,  G01F1/662

    摘要： 本发明提供振子、振动装置及电子设备，其能够防止安装在安装基板上时的导电性固定部件彼此的接触，从而进行正确的驱动。振子（2）具有：振动片（3），其具有振动体（4）、对振动体（4）进行支承的第一支承部（51）、第二支承部（52）、及对第一支承部（51）、第二支承部（52）和振动体（4）进行连结的四个梁（61、62、63、64）；电极（710～740），其被设置在振动体（4）上；端子（712～742），其被设置在第一支承部（51）、第二支承部（52）上，并通过被设置在梁（61、62、63、64）上的配线（712～742）而与电极（710～740）电连接，在相邻的一对端子之间设置有多个槽（512），所述多个槽（512）在预定方向上分离，且在与预定方向交叉的方向上延伸。

    振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体
    9.
    发明公开
    振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体 有权

    公开(公告)号：CN103575261A

    公开(公告)日：2014-02-12

    申请号：CN201310308770.8

    申请日：2013-07-22

    申请人： 精工爱普生株式会社

    发明人： 山口啓一 ,  小仓诚一郎 ,  菊池尊行 ,  西泽竜太 ,  大泽征司

    IPC分类号： G01C19/56

    CPC分类号： G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P9/04 ,  Y10T29/49 ,  Y10T74/12

    摘要： 本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

    振动片、电子装置、电子设备以及振动片的制造方法
    10.
    发明公开
    振动片、电子装置、电子设备以及振动片的制造方法 无效

    公开(公告)号：CN103457570A

    公开(公告)日：2013-12-18

    申请号：CN201310206769.4

    申请日：2013-05-29

    申请人： 精工爱普生株式会社

    发明人： 山口啓一 ,  川内修

    IPC分类号： H03H9/215 ,  H03H3/02

    CPC分类号： H01L41/332 ,  H01L41/04 ,  H03H9/21 ,  H03H2003/026

    摘要： 本发明的目的在于，能够提供一种振动片、电子装置、电子设备以及振动片的制造方法，其可在制造振动片时，同时进外形蚀刻和槽部的蚀刻，从而简化制造工序，并且提高槽部与外形的相对位置精度。本发明的振动片（44）的特征在于，具有基部、和从基部突出且具有槽部的振动臂（40），并且在所述振动臂（40）上形成有槽部（42），所述槽部（42）被形成为，在所述振动臂（40）的宽度方向上的长度长于在所述振动臂的长度方向上的长度，且沿着所述振动臂（40）的长度方向而排列配置有多个。