用于位置检测的传感器的无传感器式温度补偿的方法

    公开(公告)号:CN106461415A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580023735.9

    申请日:2015-03-05

    IPC分类号: G01D3/02

    摘要: 一种用于用于微系统(10)的运动元件(11)的位置检测的传感器(13)的信号(ym)的无传感器式温度补偿的方法,其中,所述微系统(10)具有用于调节所述运动元件(11)的运动的调节器器(13)的参考温度时检测调节器信号(u)的参考偏移和/或参考振幅;在改变的温度时检测所述调节器信号(u)的测量偏移和/或测量振幅;确定参考偏移与测量偏移之间和/或参考振幅与测量振幅之间的热偏差;以及基于所确定的热偏差改变所述用于位置检测的传感器(13)的信号(ym;ym1)以便补偿所述信号(ym)的热偏差(8)。(15),其特征在于,在所述用于位置检测的传感

    用于使光射束偏转的设备和方法

    公开(公告)号:CN108292037A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201680066940.8

    申请日:2016-11-02

    IPC分类号: G02B26/10

    摘要: 本发明涉及一种用于使光射束(50)偏转的设备和方法。所述设备(10;110;210)构造有:可调节的偏转装置(12;112);调节装置(16;116;216),其被设计成用于产生调节信号(60),借助所述调节信号控制所述偏转装置(12;112)用于以周期性运动的方式借助由所述偏转装置(12;112)偏转的所述光射束(50)扫描立体角区域(115);探测器装置(18;118),其被设计成用于检测:进行扫描的所述光射束(50)照射到或未照射到所述探测器装置(18;118)上,并且基于所述检测产生测量信号(61);其中,所述调节装置(16;116;216)还被设计成用于至少基于所述测量信号(61)来匹配所述调节信号(60)。

    用于微机电元件的数字控制

    公开(公告)号:CN103477551A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201180056228.7

    申请日:2011-10-13

    IPC分类号: H02N1/00 G02B26/08

    摘要: 本发明涉及一种用于微机电元件(30)的控制电路(300),所述控制电路具有信号形状发生器(2)、调制器(3)和数字驱动器装置(4),所述信号形状发生器被设置用于生成用于所述微机电元件(30)的数字控制信号,所述调制器被设置用于对所述数字控制信号进行过采样、使所述数字控制信号经受噪声成形以及输出经过采样的且经噪声成形的数字控制信号,所述数字驱动器装置被设置用于以所述经过采样的且经噪声成形的数字控制信号驱动所述微机电元件(30)。

    法。机械部件、机械系统和用于运行机械部件的方法

    公开(公告)号:CN103787266B

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201310756911.2

    申请日:2013-10-25

    IPC分类号: B81B7/02 G01P15/097 G01P3/42

    CPC分类号: B81C99/003 G02B26/0833

    摘要: 本发明涉及一种机械部件,所述机械部件具有保持装置(10)、可调节部件(12)、第一传感器装置(14a)和第二传感器装置(14b),所述可调节部件(12)能够至少处于具有第一固有频率的第一振动模式中和具有与所述第一固有频率不同的第二固有频率的第二振动模式中,借助所述第一传感器装置能够提供第一传感器信号(U1),借助所述第二传感器装置能够提供第二传感器信号(U2),其中,所述第一传感器装置(14a)和第二传感器装置(14b)彼此连接,使得能够借助至少所述第一传感器信号(U1)和所述第二传感器信号(U2)生成一个总信号(Uges,54),所述总信号具有由所述总信号(Uges,54)的在激励所述第一振动模式时出现的第一最大量值和所述总信号(Uges,54)的在激励所述第二振动模式时出现的第二最大量值构成的有利的总比例。本发明也涉及一种机械系统和一种用于运行机械部件的方

    用于位置检测的传感器的无传感器式温度补偿的方法

    公开(公告)号:CN106461415B

    公开(公告)日:2020-09-08

    申请号:CN201580023735.9

    申请日:2015-03-05

    IPC分类号: G01D3/02

    摘要: 一种用于用于微系统(10)的运动元件(11)的位置检测的传感器(13)的信号(ym)的无传感器式温度补偿的方法,其中,所述微系统(10)具有用于调节所述运动元件(11)的运动的调节器(15),其特征在于,在所述用于位置检测的传感器(13)的参考温度时检测调节器信号(u)的参考偏移和/或参考振幅;在改变的温度时检测所述调节器信号(u)的测量偏移和/或测量振幅;确定参考偏移与测量偏移之间和/或参考振幅与测量振幅之间的热偏差;以及基于所确定的热偏差改变所述用于位置检测的传感器(13)的信号(ym;ym1)以便补偿所述信号(ym)的热偏差(8)。

    机械部件和用于机械部件的制造方法

    公开(公告)号:CN103787265B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201310756891.9

    申请日:2013-10-25

    IPC分类号: B81B7/02

    摘要: 本发明涉及一种机械部件,所述机械部件具有保持装置(50)、可调节部件(52)、第一传感器装置(64a)、第二传感器装置(64b),所述可调节部件借助至少一个第一弹簧(54a)和至少一个第二弹簧(54b)通过围绕轴线(56)可调节的方式连接,其中,所述旋转轴线(56)延伸穿过所述第一弹簧(54a)在所述保持装置(50)上的第一锚定区域(58a)和所述第二弹簧(54b)在所述保持装置(50)上的第二锚定区域(58b),所述第一传感器装置具有至少一个设置在所述第一弹簧(54a)上和/或中的第一电阻,所述第二传感器装置具有至少一个设置在所述第二弹簧(54b)上和/或中的第二电阻,其中,所述第一传感器装置(64a)包括第一惠斯登半电桥(65a)并且所述第二传感器装置(64b)包括第二惠斯登半电桥(65b),其中,所述第一惠斯登半电桥(65a)和所述第二惠斯登半电桥(65b)连接成惠斯登全电桥。本发明也涉及一种用于机械部件的制造方法。

    用于微机电元件的数字控制

    公开(公告)号:CN103477551B

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201180056228.7

    申请日:2011-10-13

    IPC分类号: H02N1/00 G02B26/08

    摘要: 本发明涉及一种用于微机电元件(30)的控制电路(300),所述控制电路具有信号形状发生器(2)、调制器(3)和数字驱动器装置(4),所述信号形状发生器被设置用于生成用于所述微机电元件(30)的数字控制信号,所述调制器被设置用于对所述数字控制信号进行过采样、使所述数字控制信号经受噪声成形以及输出经过采样的且经噪声成形的数字控制信号,所述数字驱动器装置被设置用于以所述经过采样的且经噪声成形的数字控制信号驱动所述微机电元件(30)。