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公开(公告)号:CN103898570B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201310757231.2
申请日:2013-12-27
申请人: 罗门哈斯电子材料有限公司
CPC分类号: C25D3/32 , C23C18/1605 , C23C18/1653 , C25D3/60 , C25D5/022 , C25D7/123 , H01L21/2885 , H01L21/76879 , H05K3/187 , H05K3/4007 , H05K3/423 , H05K2201/0305 , H05K2201/0367 , H05K2201/09563
摘要: 本发明公开一种锡或锡合金电镀液,所述锡或锡合金电镀液可以在开口中形成充分的电镀沉积,而不导致镀膜表面上的灼伤或引起异常沉积,并且其具有良好的通孔填充效应。当在锡或锡合金电镀液中加入特定的α,β-不饱和羰基化合物时,可以得到具有良好通孔填充性能的电镀液,并且减少了实质上不含空洞的沉积以及镀层表面上的灼伤或异常沉积。
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公开(公告)号:CN103898570A
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201310757231.2
申请日:2013-12-27
申请人: 罗门哈斯电子材料有限公司
CPC分类号: C25D3/32 , C23C18/1605 , C23C18/1653 , C25D3/60 , C25D5/022 , C25D7/123 , H01L21/2885 , H01L21/76879 , H05K3/187 , H05K3/4007 , H05K3/423 , H05K2201/0305 , H05K2201/0367 , H05K2201/09563
摘要: 本发明公开一种锡或锡合金电镀液,所述锡或锡合金电镀液可以在开口中形成充分的电镀沉积,而不导致镀膜表面上的灼伤或引起异常沉积,并且其具有良好的通孔填充效应。当在锡或锡合金电镀液中加入特定的α,β-不饱和羰基化合物时,可以得到具有良好通孔填充性能的电镀液,并且减少了实质上不含空洞的沉积以及镀层表面上的灼伤或异常沉积。
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