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公开(公告)号:CN102203903A
公开(公告)日:2011-09-28
申请号:CN200880131681.8
申请日:2008-09-19
申请人: 艾格瑞系统有限公司
CPC分类号: H01L28/20 , H01L21/268 , H01L21/76888 , H01L21/76892 , H01L23/5228 , H01L23/5254 , H01L23/5258 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 一种电子器件,包含半导体基板和基板上的电介质层。位于基板上的电阻链接包含第一电阻区域和第二电阻区域。第一电阻区域具有第一电阻率和第一形态。第二电阻区域具有第二电阻率和不同的第二形态。
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公开(公告)号:CN102203903B
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN200880131681.8
申请日:2008-09-19
申请人: 艾格瑞系统有限公司
CPC分类号: H01L28/20 , H01L21/268 , H01L21/76888 , H01L21/76892 , H01L23/5228 , H01L23/5254 , H01L23/5258 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 一种电子器件,包含半导体基板和基板上的电介质层。位于基板上的电阻链接包含第一电阻区域和第二电阻区域。第一电阻区域具有第一电阻率和第一形态。第二电阻区域具有第二电阻率和不同的第二形态。
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公开(公告)号:CN103296002A
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN201310185908.X
申请日:2008-09-19
申请人: 艾格瑞系统有限公司
IPC分类号: H01L23/522 , H01L21/768 , H01L21/268
摘要: 一种电子器件及制造电子器件的方法。一种电子器件,包含半导体基板和基板上的电介质层。位于基板上的电阻链接包含第一电阻区域和第二电阻区域。第一电阻区域具有第一电阻率和第一形态。第二电阻区域具有第二电阻率和不同的第二形态。
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