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公开(公告)号：CN103367539B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201310260260.8
申请日：2013-06-26
申请人： 英利集团有限公司 , 英利能源(中国)有限公司 , 河北流云新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/068 , H01L31/0352
CPC分类号： H01L31/1804 , H01L31/0682 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明所提供的IBC太阳能电池的制作方法，采用激光消融工艺或激光刻蚀工艺形成第一导电指区，采用丝网印刷工艺形成第二导电指区，无需丝网印刷阻挡层、刻蚀、再次丝网印刷阻挡层、扩散、去玻璃层、清洗等多个步骤，简化了IBC太阳能电池的制作方法，提高了生产效率，且降低了生产成本。另外本发明所提供的IBC太阳能电池的第二导电指区与硅片基体结合形成电池的发射极，不需要掺杂硼，因此第二导电指区处的硼氧复合作用较弱，光致衰减作用更小，从而电池的转换效率更高。
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公开(公告)号：CN103346172B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201310228162.6
申请日：2013-06-08
申请人： 英利集团有限公司 , 英利能源(中国)有限公司 , 河北流云新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/022425 , H01L31/0747 , Y02E10/50
摘要： 本发明提供了一种异质结太阳能电池及其制备方法。其中异质结太阳能电池包括TCO，以及形成在TCO上的栅极，栅极部分延伸进入TCO中。异质结太阳能电池的制备方法，包括：提供衬底；在衬底上方形成TCO；以及在TCO上形成栅极，在TCO上形成栅极的步骤中，栅极部分延伸进入TCO中。本发明中异质结太阳能电池及其制备方法，通过将栅极部分延伸进入TCO的内部，增加栅极和TCO的接触面积，减小了接触电阻；同时，通过栅极与TCO之间的侧向接触在一定程度上改善了载流子输运，进而提高了太阳能电池的填充因子，提升电池的能量转化效率。
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公开(公告)号：CN103346211B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310261120.2
申请日：2013-06-26
申请人： 英利集团有限公司 , 英利能源(中国)有限公司 , 河北流云新能源科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0224
CPC分类号： H01L31/0747 , H01L31/022441 , Y02E10/50
摘要： 本发明提供了一种背接触太阳能电池及其制作方法，此种背接触太阳能电池的制作方法提供了包括相间排列的第一薄膜生长区和第一遮挡区的第一模具载片舟和包括相间排列的第二薄膜生长区和第二遮挡区的第二模具载片舟，且所述第一薄膜生长区与所述第二遮挡区对应，所述第二薄膜生长区与所述第一遮挡区对应；然后通过上述模具载片舟在单晶硅衬底形成有钝化层的表面形成掺杂类型相反，呈交叉排列的第一掺杂非晶硅指区和第二掺杂非晶硅指区。此种制作方法以非常简单低成本的方式实现了背接触太阳能电池背场的叉指状结构，而且无需进行额外的形成钝化层的制作工艺，简化了背接触太阳能电池的制作方法。
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公开(公告)号：CN102983221A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210518052.9
申请日：2012-12-04
申请人： 英利能源(中国)有限公司
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种选择性发射极晶体硅太阳能电池的制备方法。该制备方法包括硅片表面清洁，制绒，扩散制作浅p-n结，制作减反射膜层以及印刷正电极、背电极并烧结的步骤，其中印刷正电极的步骤中采用含磷的银浆进行印刷。由于采用含磷的银浆印刷正电极，印刷后经过烧结炉的烘干，烧结，退火过程，银浆中的磷原子在烧结退火形成正电极时进一步磷扩散，在正电极与硅片相接触的区域形成深扩散区，即在正电极的下方形成深p-n结，未与正电极相接触的硅片区域形成浅扩散区，这样在形成正电极的同时得到了深浅p-n结。该制备方法步骤少，成本低，适合于工业化生产，且印刷过程不需要使用高精印刷系统，大大节约了设备成本。
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公开(公告)号：CN103367124A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201110460012.9
申请日：2011-12-31
申请人： 英利能源(中国)有限公司
IPC分类号： H01L21/228 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种选择性发射极电池的制作方法，包括步骤：1)去除硅片的损伤层，在硅片的表面制备绒面；2)对损伤层去除且绒面制备完成的硅片进行喷涂磷源及激光掺杂；3)对经过喷涂磷源及激光掺杂的硅片进行高温链式扩散，得到正面正电极区以外区域的p-n结；4)去除经过高温链式扩散的硅片表面的PSG及周边的p-n结；5)在经过去除表面PSG及周边p-n结的硅片表面沉积一层起减反射和钝化作用的氮化硅膜；6)在具有氮化硅膜的硅片上印刷背电极，背电场和正电极，并进行烧结，使电极金属化，得到选择性发射极电池；7)测试选择性发射极电池的各项参数，并按工艺标准将其分档。本方法，有效提高太阳能电池的转换效率，并能方便应用于生产中。
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公开(公告)号：CN105514180A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510912511.5
申请日：2015-12-11
申请人： 英利能源(中国)有限公司
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/0236 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/02168 , H01L31/022425 , H01L31/022441 , H01L31/02363
摘要： 本发明公开了一种N型背结双面电池及其制备方法，涉及太阳能电池生产技术领域。双面电池包括硅片衬底，硅片衬底的正面自内向外依次为磷掺杂电池前场、氧化硅钝化层、氮化硅减反射层、正面银电极，硅片衬底的背面自内向外依次为硼掺杂电池发射极、氧化硅钝化层、氮化硅减反射层、背面银铝电极；其制备方法包括以下步骤：双面制绒；进行背面抛光；正面磷扩散制备电池前场；背面硼扩散制备发射极；正背面形成二氧化硅钝化层；正背面镀氮化硅减反射层；印刷正背面电极，正面银电极为采用银浆料印刷的栅线结构，背面银铝电极为采用银铝浆料印刷的栅线结构。该电池双面受光，具有较高的光电转化效率，电池的制备工艺简单，稳定性好，适于大规模生产。
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公开(公告)号：CN102881770B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201210369890.4
申请日：2012-09-28
申请人： 英利能源(中国)有限公司
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种选择性发射极电池的制备方法。该方法依次包括损伤层的去除及绒面制备、扩散制作p-n结、表面PSG的去除及周边p-n结的去除、钝化减反射层的制备、金属化、以及分选，在扩散制作p-n结步骤与表面PSG的去除及周边p-n结的去除步骤之间进一步包括激光掺杂制作选择性发射极的步骤。应用本发明的技术方案，只需在现有的常规太阳能电池的制备工艺基础上添加一步激光掺杂制作选择性发射极的步骤，就可以完成选择性发射极电池的制备，工艺步骤简单，而且操作参数容易控制，适宜大规模的工业化生产。
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公开(公告)号：CN103367124B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201110460012.9
申请日：2011-12-31
申请人： 英利能源(中国)有限公司
IPC分类号： H01L21/228 , H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种选择性发射极电池的制作方法，包括步骤：1)去除硅片的损伤层，在硅片的表面制备绒面；2)对损伤层去除且绒面制备完成的硅片进行喷涂磷源及激光掺杂；3)对经过喷涂磷源及激光掺杂的硅片进行高温链式扩散，得到正面正电极区以外区域的p-n结；4)去除经过高温链式扩散的硅片表面的PSG及周边的p-n结；5)在经过去除表面PSG及周边p-n结的硅片表面沉积一层起减反射和钝化作用的氮化硅膜；6)在具有氮化硅膜的硅片上印刷背电极，背电场和正电极，并进行烧结，使电极金属化，得到选择性发射极电池；7)测试选择性发射极电池的各项参数，并按工艺标准将其分档。本方法，有效提高太阳能电池的转换效率，并能方便应用于生产中。
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公开(公告)号：CN102881770A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210369890.4
申请日：2012-09-28
申请人： 英利能源(中国)有限公司
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种选择性发射极电池的制备方法。该方法依次包括损伤层的去除及绒面制备、扩散制作p-n结、表面PSG的去除及周边p-n结的去除、钝化减反射层的制备、金属化、以及分选，在扩散制作p-n结步骤与表面PSG的去除及周边p-n结的去除步骤之间进一步包括激光掺杂制作选择性发射极的步骤。应用本发明的技术方案，只需在现有的常规太阳能电池的制备工艺基础上添加一步激光掺杂制作选择性发射极的步骤，就可以完成选择性发射极电池的制备，工艺步骤简单，而且操作参数容易控制，适宜大规模的工业化生产。
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公开(公告)号：CN205211766U
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201521024519.X
申请日：2015-12-11
申请人： 英利能源(中国)有限公司
IPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0216 , H01L31/0224
CPC分类号： Y02E10/50
摘要： 本实用新型公开了一种N型背结双面电池，涉及太阳能电池生产技术领域。双面电池包括硅片衬底，硅片衬底的正面自内向外依次为磷掺杂电池前场、二氧化硅钝化层、氮化硅减反射层、正面银电极，硅片衬底的背面自内向外依次为硼掺杂电池发射极、二氧化硅钝化层、氮化硅减反射层、背面银铝电极，正面银电极和背面银铝电极均为栅线结构。该电池双面受光，具有较高的光电转化效率，电池的制备工艺简单，稳定性好，适于大规模生产。
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