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公开(公告)号：CN101767717B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN200910150901.8
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
CPC分类号： H01L21/67173 , H01L21/6719 , H01L21/67706 , H01L21/67712 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67748 , Y10S414/135
摘要： 本发明是一种传送基板至二个或多个的工艺模块的方法，其包括下列步骤。将至少一基板加载至一个或多个横向移动室内，其中横向移动室承载于邻近两个或多个工艺模块的一轨道上，且每一横向移动室在基板进行传送时维持一特定气体条件。启动一个或多个驱动系统以推动一个或多个横向移动室沿着轨道移动。将横向移动室接合至至少一工艺模块，并将至少一基板从横向移动室传送到至少一工艺模块。
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公开(公告)号：CN101767717A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910150901.8
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
CPC分类号： H01L21/67173 , H01L21/6719 , H01L21/67706 , H01L21/67712 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67748 , Y10S414/135
摘要： 本发明是一种传送基板至二个或多个的工艺模块的方法，其包括下列步骤。将至少一基板加载至一个或多个横向移动室内，其中横向移动室承载于邻近两个或多个工艺模块的一轨道上，且每一横向移动室在基板进行传送时维持一特定气体条件。启动一个或多个驱动系统以推动一个或多个横向移动室沿着轨道移动。将横向移动室接合至至少一工艺模块，并将至少一基板从横向移动室传送到至少一工艺模块。
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公开(公告)号：CN101767718B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200910150903.7
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
CPC分类号： H01L21/6719 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67207 , H01L21/67706 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , Y10S414/135
摘要： 一种传送一个或多个的基板于工艺模块之间或装卸站之间的方法，其包括：确认一基板S1在一起始处理位置P1时的一目标位置D1；若目标位置D1被一基板S2所占据，则基板S1维持在起始处理位置P1；若目标位置D1未被占据，则将基板S1传送至目标位置D1。
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公开(公告)号：CN101767718A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910150903.7
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
CPC分类号： H01L21/6719 , H01L21/67161 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67207 , H01L21/67706 , H01L21/67748 , H01L21/67754 , Y10S414/135
摘要： 一种传送一个或多个的基板于工艺模块之间或装卸站之间的方法，其包括：确认一基板S1在一起始处理位置P1时的一目标位置D1；若目标位置D1被一基板S2所占据，则基板S1维持在起始处理位置P1；若目标位置D1未被占据，则将基板S1传送至目标位置D1。
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公开(公告)号：CN101767719B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN200910150907.5
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
CPC分类号： C23C14/568 , C23C16/54 , H01L21/67161 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67754
摘要： 本发明提供了一种基板的处理系统、传输系统和传输方法以及横向移动室，其包含二或多个工艺模块、一基板搬运装置、一装卸室、以及一横向基板处理装置。横向基板处理装置包含横向移动室，用以将基板运送至工艺模块。在运送基板时，各横向移动室维持具有一特定气体条件。横向基板处理装置另包含一轨道与一驱动系统，轨道是用来支撑横向移动室并设于工艺模块入口的邻近处，驱动系统用来使横向移动室在轨道上移动。
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公开(公告)号：CN101770934A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910150906.0
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号： C23C16/54 , C23C14/568 , H01L21/67161 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67754
摘要： 本发明提供一工艺模块设施，其包含至少一工艺反应室设于框架中、一底座与该工艺反应室相邻设置、一固定式泵以及一电箱设于该底座上以及气体控制线路设于底座内并连接于工艺反应室。工艺模块设施可集合设计为用来处理基板的大型系统，包含多个工艺模块设施、基板搬运装置、装卸室以及横向基板处理装置，其又包括横向移动室，可将基板传送给工艺模块，当传送基板时，各横向移动室具有特定气体条件。横向基板处理装置另包含轨道与驱动系统，轨道用来支撑横向移动室，与工艺模块的入口相邻设置，驱动系统可使横向移动室在轨道上移动。
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公开(公告)号：CN101770934B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200910150906.0
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号： C23C16/54 , C23C14/568 , H01L21/67161 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67754
摘要： 本发明提供一工艺模块设施，其包含至少一工艺反应室设于框架中、一底座与该工艺反应室相邻设置、一固定式泵以及一电箱设于该底座上以及气体控制线路设于底座内并连接于工艺反应室。工艺模块设施可集合设计为用来处理基板的大型系统，包含多个工艺模块设施、基板搬运装置、装卸室以及横向基板处理装置，其又包括横向移动室，可将基板传送给工艺模块，当传送基板时，各横向移动室具有特定气体条件。横向基板处理装置另包含轨道与驱动系统，轨道用来支撑横向移动室，与工艺模块的入口相邻设置，驱动系统可使横向移动室在轨道上移动。
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公开(公告)号：CN101767719A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910150907.5
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
CPC分类号： C23C14/568 , C23C16/54 , H01L21/67161 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67754
摘要： 本发明提供了一种基板的处理系统、传输系统和传输方法以及横向移动室，其包含二或多个工艺模块、一基板搬运装置、一装卸室、以及一横向基板处理装置。横向基板处理装置包含横向移动室，用以将基板运送至工艺模块。在运送基板时，各横向移动室维持具有一特定气体条件。横向基板处理装置另包含一轨道与一驱动系统，轨道是用来支撑横向移动室并设于工艺模块入口的邻近处，驱动系统用来使横向移动室在轨道上移动。
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公开(公告)号：CN201478276U
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200920160855.5
申请日：2009-06-25
申请人： 英属开曼群岛商精曜有限公司
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/677 , H01L31/18
CPC分类号： C23C14/568 , C23C16/54 , H01L21/67161 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/67754
摘要： 本实用新型公开了一种基板的处理装置、传输装置和横向移动室，其包含二或多个工艺模块、一基板搬运装置、一装卸室、以及一横向基板处理装置。横向基板处理装置包含横向移动室，用以将基板运送至工艺模块。在运送基板时，各横向移动室维持具有一特定气体条件。横向基板处理装置另包含一轨道与一驱动装置，轨道被设置于工艺模块入口的邻近处，用来支撑横向移动室并驱动装置用来使横向移动室在轨道上移动。
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