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公开(公告)号:CN108701638A
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201680078729.8
申请日:2016-12-23
申请人: 英帆萨斯邦德科技有限公司
发明人: 赛普里安·艾曼卡·巫卓 , 保罗·M·恩奎斯特 , 小盖乌斯·吉尔曼·方腾
IPC分类号: H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号: H01L25/50 , H01L21/67132 , H01L21/67144 , H01L21/6836 , H01L21/78 , H01L22/14 , H01L25/0753 , H01L25/105 , H01L2221/68322 , H01L2221/68327 , H01L2221/68354
摘要: 本发明揭示用于组件的高效率传输的系统与方法。可提供支撑多个经切割整合式装置裸片的一薄膜。所述多个经切割整合式装置裸片可安置为沿所述薄膜的一表面彼此邻近。所述薄膜可定位于邻近所述支撑结构,以使得所述薄膜的所述表面面向所述支撑结构的一支撑表面。所述薄膜可相对于所述支撑结构而选择性地侧向定位,以使得一选定第一裸片与所述支撑结构的一第一位置对准。可在非平行于所述薄膜的所述表面的一方向上施加一力,以使得所述选定第一裸片自所述薄膜直接传输至所述支撑结构。