铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法

    公开(公告)号:CN113699581B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202011253772.8

    申请日:2021-04-14

    IPC分类号: C30B11/00 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法。包括炉体,所述炉体顶部设置有第一开口,所述第一开口中设置有进气装置;所述炉体内设置有隔热笼,所述隔热笼内设有热交换台,所述热交换台上设置有底板,所述底板设置在所述石英坩埚底部,所述底板与围设在所述石英坩埚外侧的护板相连,所述隔热笼内还设有侧边加热器,所述侧边加热器设置在所述护板外侧,所述护板上设置有盖板;所述炉体底部设有第二开口,所述第二开口内设置有旋转轴,所述旋转轴与所述热交换台相固定,所述旋转轴与所述炉体外的旋转驱动装置连接,其中,所述护板包含四块首尾相连的护板,所述四块护板都存在一边边缘设置有矩形缺口。采用铸锭单晶炉和该铸锭单晶硅的制备方法制备的铸锭单晶硅的杂质含量少,品质高。

    铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法

    公开(公告)号:CN113699581A

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202011253772.8

    申请日:2021-04-14

    IPC分类号: C30B11/00 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的制备方法。包括炉体,所述炉体顶部设置有第一开口,所述第一开口中设置有进气装置;所述炉体内设置有隔热笼,所述隔热笼内设有热交换台,所述热交换台上设置有底板,所述底板设置在所述石英坩埚底部,所述底板与围设在所述石英坩埚外侧的护板相连,所述隔热笼内还设有侧边加热器,所述侧边加热器设置在所述护板外侧,所述护板上设置有盖板;所述炉体底部设有第二开口,所述第二开口内设置有旋转轴,所述旋转轴与所述热交换台相固定,所述旋转轴与所述炉体外的旋转驱动装置连接,其中,所述护板包含四块首尾相连的护板,所述四块护板都存在一边边缘设置有矩形缺口。采用铸锭单晶炉和该铸锭单晶硅的制备方法制备的铸锭单晶硅的杂质含量少,品质高。

    一种晶体硅晶向的测定方法和应用

    公开(公告)号:CN112098406A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010775404.3

    申请日:2020-08-04

    IPC分类号: G01N21/84

    摘要: 本申请实施例提供了一种晶体硅晶向的测定方法,包括以下步骤:取待测晶体硅片,将所待测晶体硅片至少包括一对相对设置的第一表面和第二表面;对所述第一表面进行腐蚀处理,清洗、干燥后,转移至平台上,使第二表面贴于所述平台上,设置光源以将所述干燥后的第一表面暴露在同一光照强度下,拍摄所述第一表面的图像,经图像处理得到所述图像的灰度值数据;将所述图像的灰度值数据与标准晶向对照表的标准灰度值数据进行比对,以测定所述待测晶体硅片的第一表面的晶向;所述标准晶向对照表包含多种不同标准晶向的图像的灰度值数据。该晶体硅晶向的测定方法能够快速、有效地测定晶向,提高检测效率,减少检测成本。本申请还提供了该测定方法的应用。

    一种SiC粉料及其制备方法、SiC晶体

    公开(公告)号:CN118458777A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410364510.0

    申请日:2024-03-28

    IPC分类号: C01B32/984 C30B29/36

    摘要: 本申请公开一种SiC粉料及其制备方法和SiC晶体,包括以下步骤:将原料与碱液按照一定的质量比,在第一温度下反应第一时间,其中,原料包含硅粉和碳粉,碱液为超纯水与氨水、有机碱中的一种或者多种混合溶液;原料中的硅粉与碱液反应产生氢气使原料体积膨胀并形成多孔预制体;将多孔预制体进行干燥;将干燥后的多孔预制体进行SiC原料的合成;将合成后的SiC原料经过破碎、筛分、清洗、干燥后得到SiC粉料。本申请提供的SiC粉料的制备方法,通过预先将原料粉制备成含有大量孔隙的预制体,原料粉内包含的大量的孔隙使原料比表面积显著增加,在温度梯度的作用下料面的附近均有大粒径SiC颗粒,从而使合成出更多的大粒径SiC粉料。