公开(公告)号：CN102422380A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201080017873.3

申请日：2010-02-17

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： G.德波尔 ,  S.巴尔图森 ,  R.贾格 ,  J.J.M.佩耶斯特 ,  T.F.提彭 ,  J.A.H.范尼夫斯塔特 ,  W.M.维达 ,  A.H.V.范维恩

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01J37/18

CPC分类号： H01J37/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/16

摘要： 本发明涉及一种带电粒子微影设备(100)，其具有用于产生一个或多个带电粒子束(123)的带电粒子源(101)、用于将射束投射于晶圆上的带电粒子投射器(108、109、110)、及用于运载该晶圆(130)的可移动晶圆平台(132)。该带电粒子源、带电粒子投射器和可移动晶圆平台被布置于形成真空环境的共用真空腔室(140)中。该真空腔室另外具有用于将晶圆装载至该腔室中的开口和门。

公开(公告)号：CN102414777B

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201080017872.9

申请日：2010-02-17

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： S.巴尔图森 ,  G.德波尔 ,  H.M.马金克 ,  T.F.提彭

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/166 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/6719

摘要： 本发明提供一种包含用于封闭一内部空间的多个壁板(510)的真空腔(400)，其中该壁板使用多个用于以预定配置对该壁板定位的连接部件(504、524、528)而可卸除地连接以形成腔室。该真空腔另外包含一或多个在该壁板的边缘处提供的密封部件(522)。该壁板经配置，使得因该内部空间形成真空而在该壁板的边缘处形成真空紧密密封。

公开(公告)号：CN102414777A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201080017872.9

申请日：2010-02-17

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： S.巴尔图森 ,  G.德波尔 ,  H.M.马金克 ,  T.F.提彭

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/166 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/6719

摘要： 本发明提供一种包含用于封闭一内部空间的多个壁板(510)的真空腔(400)，其中该壁板使用多个用于以预定配置对该壁板定位的连接部件(504、524、528)而可卸除地连接以形成腔室。该真空腔另外包含一或多个在该壁板的边缘处提供的密封部件(522)。该壁板经配置，使得因该内部空间形成真空而在该壁板的边缘处形成真空紧密密封。