公开(公告)号：CN102414775A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201080017651.1

申请日：2010-02-22

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： S.巴尔图森

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  H01J37/317

CPC分类号： F17D1/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/1825 ,  Y10S417/901 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/86083 ,  Y10T137/86131

摘要： 本发明涉及一种用于在真空腔(400)中实现真空的方法。该真空腔连接至抽吸系统(300)，该抽吸系统由多个真空腔共同使用。此方法包括将每个真空腔分别抽成真空。本发明还包括装置，该装置具有连接至抽吸系统的多个真空腔。在该装置中，抽吸系统被配置成将每个真空腔分别抽成真空。

公开(公告)号：CN102422380A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201080017873.3

申请日：2010-02-17

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： G.德波尔 ,  S.巴尔图森 ,  R.贾格 ,  J.J.M.佩耶斯特 ,  T.F.提彭 ,  J.A.H.范尼夫斯塔特 ,  W.M.维达 ,  A.H.V.范维恩

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01J37/18

CPC分类号： H01J37/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/16

摘要： 本发明涉及一种带电粒子微影设备(100)，其具有用于产生一个或多个带电粒子束(123)的带电粒子源(101)、用于将射束投射于晶圆上的带电粒子投射器(108、109、110)、及用于运载该晶圆(130)的可移动晶圆平台(132)。该带电粒子源、带电粒子投射器和可移动晶圆平台被布置于形成真空环境的共用真空腔室(140)中。该真空腔室另外具有用于将晶圆装载至该腔室中的开口和门。

公开(公告)号：CN102414776A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201080017870.X

申请日：2010-02-22

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： G.德波尔 ,  S.巴尔图森 ,  H.J.德琼

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/3177 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/67225

摘要： 一种包括多个带电粒子微影设备的装置，每个带电粒子微影设备均具有真空腔室(400)。该装置进一步包括：共用自动机(305)，用以将晶圆运送到该多个微影设备；以及用于每个带电粒子微影设备的晶圆装载单元(303)，被布置成在每个相应真空腔室(400)的正面。该多个微影设备被布置成行，且微影设备的正面面向过道(310)，该过道用以让共用自动机(305)通过，以便将晶圆运送至每个设备；以及，每个微影设备的背面面向通道廊道(306)，且每个真空腔室的后壁均设置有通道门，用以通往相应微影设备。

公开(公告)号：CN102414777B

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201080017872.9

申请日：2010-02-17

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： S.巴尔图森 ,  G.德波尔 ,  H.M.马金克 ,  T.F.提彭

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/166 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/6719

摘要： 本发明提供一种包含用于封闭一内部空间的多个壁板(510)的真空腔(400)，其中该壁板使用多个用于以预定配置对该壁板定位的连接部件(504、524、528)而可卸除地连接以形成腔室。该真空腔另外包含一或多个在该壁板的边缘处提供的密封部件(522)。该壁板经配置，使得因该内部空间形成真空而在该壁板的边缘处形成真空紧密密封。

公开(公告)号：CN102414777A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201080017872.9

申请日：2010-02-17

申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司

发明人： S.巴尔图森 ,  G.德波尔 ,  H.M.马金克 ,  T.F.提彭

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/166 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/6719

摘要： 本发明提供一种包含用于封闭一内部空间的多个壁板(510)的真空腔(400)，其中该壁板使用多个用于以预定配置对该壁板定位的连接部件(504、524、528)而可卸除地连接以形成腔室。该真空腔另外包含一或多个在该壁板的边缘处提供的密封部件(522)。该壁板经配置，使得因该内部空间形成真空而在该壁板的边缘处形成真空紧密密封。