一种低界面热阻氮化镓/金刚石材料的制备方法

    公开(公告)号:CN116815124A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310858349.8

    申请日:2023-07-13

    IPC分类号: C23C14/18 C23C14/35 C23C14/58

    摘要: 本发明属于半导体制备技术领域,公开一种低界面热阻氮化镓/金刚石材料的制备方法。S1、制备多晶金刚石膜,随后对其切割、研磨、抛光;S2、将氮化镓晶圆和步骤S1制备的金刚石膜分别清洗后,采用磁控溅射技术在氮化镓的氮面和金刚石膜单面分别镀制银铜钛合金介质层;S3、ICP刻蚀步骤S2所得氮化镓和金刚石膜的银铜钛合金介质层,得到刻蚀层;刻蚀结束后,清洗,真空烘干备用;S4、将步骤S3所得氮化镓和金刚石膜的刻蚀层上下面对面堆叠放置作为键合试样,然后直流电弧等离子体加热,得到目标产品。本发明通过介质层设计和独特的键合加热方式,能够在很大程度上提升氮化镓和金刚石的键合强度以及减低界面热阻。

    一种用于光学窗口的金刚石材料的制备方法

    公开(公告)号:CN116752110A

    公开(公告)日:2023-09-15

    申请号:CN202310740183.X

    申请日:2023-06-21

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/08

    摘要: 本发明属于金刚石材料的制备技术领域,公开一种用于光学窗口的金刚石材料的制备方法。步骤为:S1、制备光学级多晶金刚石膜,随后对其切割、研磨、抛光、清洗;S2、在步骤S1制备的金刚石膜表面ICP刻蚀光学减反微结构层,刻蚀结束后清洗、烘干,放入真空皿备用;S3、采用磁控溅射技术,在步骤S2制备的金刚石膜的光学减反微结构层表面镀制稀土氧化增透膜,并依据步骤S2制备的带有光学减反微结构层的金刚石膜的折射率和光学增透膜理论设定镀制的稀土氧化增透膜的厚度;所述磁控溅射技术为预镀制和变速镀制相结合的方式。本发明制备的金刚石材料红外透过率高、热稳定性优异,特别适用于红外窗口等领域的应用需求。

    一种纳米级碳材料增强金属基复合材料的制备方法及其产品

    公开(公告)号:CN114807656A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210258423.8

    申请日:2022-03-16

    摘要: 本发明公开了一种纳米级碳材料增强金属基复合材料的制备方法及其产品,属于纳米级碳材料技术领域。本发明在纳米级碳材料表面镀覆金属层,然后加入金属颗粒进行球磨分散和烧结处理;纳米级碳材料的体积分数之和占复合材料的0.01~80%;纳米级碳材料和金属颗粒的尺寸要求为:K×单位体积中碳材料最大截面的面积之和≤单位体积中金属颗粒的表面积之和;其中,K为空间补偿系数。本发明方法实用、有效,能够使纳米级碳材料在金属基体中高效地均匀分散,且得到的复合材料还具有优异的力学、电学、热学性能,扩大了纳米碳材料在金属基复合材料、纳米电子器件以及生物传感器等领域的应用范围。

    一种微波规模化制备的水泥熟料及其制备方法

    公开(公告)号:CN117550818A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202310054840.5

    申请日:2023-02-03

    IPC分类号: C04B7/44

    摘要: 本发明属于微波烧结水泥熟料生产技术领域,具体涉及一种微波规模化制备的水泥熟料及其制备方法。制备方法包括以下步骤:以CaCO3粉体、SiO2粉体为制备原料,加入烧结助剂混合处理均匀,获得混合粉体;将混合粉体预压制成胚体,于1000~1500℃下微波烧结得到水泥熟料。本发明提供了一种微波规模化制备水泥熟料的方法,有效的降低了传统水泥熟料的矿物材料的合成成本,提高了合成效率,烧结方法时间短、产率高、重复性好,且规模化制备的成本低,特别适合产业化、规模化的生产需求。

    一种规模化微波制备的碳化硅及其制备方法

    公开(公告)号:CN116789136A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310054850.9

    申请日:2023-02-03

    IPC分类号: C01B32/97

    摘要: 本发明属于SiC材料技术领域,具体涉及一种规模化微波制备的碳化硅及其制备方法。制备方法包括以下步骤:以碳源和硅源为制备原料,球磨制成前驱体;将前驱体预压制成胚体,胚体埋入石英砂中,于850~950℃下微波烧结得到碳化硅。本发明提供了一种微波规模化制备水泥熟料的方法,微波烧结烧结时间短,同时在封闭的腔体内烧结,使得反应产生的气体无法排除,进一步加剧了升温现象,反应生成的碳化硅沉积在前驱体所在的区域,新形成的碳化硅颗粒吸收微波形成新的热源,使反应更加充分,提高了合成效率,可以应用于工业化大规模生产,有广阔的应用前景。

    金刚石表面多元素金属化镀层制备方法

    公开(公告)号:CN117548673A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202311600630.8

    申请日:2023-11-28

    IPC分类号: B22F1/18 C23C24/08

    摘要: 本发明公开了一种金刚石表面多元素金属化镀层制备方法,包括以下步骤:S1:将盐、金刚石、钛粉和镍粉按照计算好的质量分别称量,并研磨混合均匀待用;S2:混合粉转移到烧舟中,将烧舟放入管式炉,通过高温盐浴镀工艺制得样品;S3:依次进行清洗、超声、干燥和过筛工序,过筛完成后即得到Ti、Ni镀层的金刚石粉末成品;S4:对金刚石粉末成品进行性能表征。本发明具有工艺简单、制备效率高、节能环保、成本低等优点,适合大规模的生产,相比传统的镀覆技术,本发明通过高温盐浴镀工艺生成C‑Ti化合键、Ni‑Ti化合键,使得金刚石的结合强度及润湿性都得到了极大的提升,推动了金刚石及其复合材料制品产业的发展。

    一种金刚石表面钛改性的生产方法

    公开(公告)号:CN117358918A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311356039.2

    申请日:2023-10-19

    IPC分类号: B22F1/18 B22F9/04

    摘要: 本发明公开了一种金刚石表面钛改性的生产方法,包括以下步骤:S1、将盐、金刚石和钛粉按照一定的重量比进行混合并研磨成粉末;S2、将研磨后的粉末进行高温烧结,使金刚石表面均匀的镀上钛粉;S3、依次进行清洗、超声、干燥、研磨和过筛工序,得到镀钛金刚石颗粒;S4、对镀钛金刚石颗粒进行性能表征。本发明实施金刚石表面钛改性的生产方法具有工艺简单、制备效率高、环保、成本低等优点,适合大规模的生产,相比传统的镀覆技术,本发明通过高温烧结生成C‑Ti键,使得金刚石基体间不仅有机械把持力,还增加了分子间结合力,使得金刚石器具使用效率和寿命都有大幅度的增加。