一种大视场光刻扫描物镜
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118363153A

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202410791245.4

    申请日:2024-06-19

    摘要: 一种大视场光刻扫描物镜,为193nm波段光刻扫描的刻线均匀性以及效率问题提供一种解决方法。包括光阑、第一透镜组和第二透镜组,从物侧至像侧方向上,光阑、第一透镜组、第二透镜组沿光的轴线方向依次排布;所述第一透镜组包括:从物侧至像侧方向上依此分布的第一透镜至第九透镜;第一透镜为平凸透镜,所述第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第八透镜为弯月透镜,所述第七透镜、第九透镜为双凸透镜;所述第二透镜组包括:从物侧至像侧方向上依此分布的第十透镜至第十五透镜;其中,所述第十透镜、第十一透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜为弯月透镜,第十二透镜为双凸透镜。

    一种基于偏振特性测试油膜厚度的装置及方法

    公开(公告)号:CN111380473B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202010371081.1

    申请日:2020-05-06

    IPC分类号: G01B11/06

    摘要: 一种基于偏振特性测试油膜厚度的装置及方法,属于偏振特性测试技术领域,包括光源、控制系统、探测系统、数据处理系统、目标稳定平台以及BRDF架,所述BRDF架包括圆形底座支架以及弧形滑轨,滑轨的两端与底座支架固定连接;所述光源和探测系统均设置在BRDF架的滑轨上,与控制系统通过线路连接;所述控制系统与数据处理系统通过线路连接;所述数据处理系统包括计算机、pBRDF分析模块以及数据处理模块;所述目标稳定平台设置在BRDF架底座支架的中间位置。本发明采用偏振技术对溢油厚度的探测,不但增加了溢油探测技术手段,且可以至针对某一波段进行测量,解决了数据冗余的问题,同时本发明方法适用于多数目标偏振特性的测量。

    一种天基激光测距误差补偿方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117890892A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202410249654.1

    申请日:2024-03-05

    IPC分类号: G01S7/497 G01S17/08

    摘要: 一种天基激光测距误差补偿方法,属于激光测距技术领域,为了解决现有技术存在的问题,该方法通过建立误差传递模型、测量转动角度结合计算的方式将待测目标相对于激光测距仪上的动态测距原点的动态距离转变为相对于固定的卫星质心的距离,进而补偿了所述设备中的转台在转动跟踪目标并测距中由于激光测距仪测距原点和卫星质心的不同点所引起的测量误差,无需任何标定器材便可以对该误差进行直接补偿。这极大地提高了补偿效率。且该方法过程简单、便捷可行、可靠性高。可以通过对误差传递模型的计算进而对激光测距测量值进行校正得到真实值。大大提高了天基激光测距系统的测量精度,也为卫星平台的设计提供其他方案选择。

    一种空间光调制的抗强光干扰的偏振成像装置及成像方法

    公开(公告)号:CN116907647B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311175137.6

    申请日:2023-09-13

    IPC分类号: G01J4/00 G02B27/28

    摘要: 一种空间光调制的抗强光干扰的偏振成像装置及成像方法,涉及光学探测领域。解决现有大多数成像装置受目标波长的限制,难以区分目标反射的光强和干扰光强,不能抵抗强光的干扰;缺少自适应光圈调节技术,难以自动获取对比度最大,清晰度最高图像的问题。本发明提供以下方案:所述装置包括空间光调制系统、图像清晰度评价系统和自适应光圈自动调节系统;空间光调制系统用于采集光信号,并将光信号调制之后产生电信号,并将电信号发送给图像清晰度评价系统;图像清晰度评价系统将电信号发送给自适应光圈自动调节系统;自适应光圈自动调节系统用于接收电信号,并将电信号调整光圈值和图像清晰度并输出至空间光调制系统。适用于光学探测工作过程中。

    一种强背景下目标偏振探测系统及其探测方法

    公开(公告)号:CN116503704B

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202310759860.2

    申请日:2023-06-27

    摘要: 本发明公开了一种强背景下目标偏振探测系统及其探测方法。图像信号采集模块,用于多通道的图像信息采集和信号转换;基于YoLoV3神经网络的特征提取模块,用于加深网络层数,获得结合强度信息与偏振信息的融合特征图,提取强度模态与偏振光模态的特征差异;基于Darknet神经网络的特征提取模块,用于获得高动态范围图像的特征值提取;基于残差网络的特征融合模块,用于学习不同模态间的权重,获得强度模态信息与偏振模态信息的融合特征图,利用注意力机制处理对融合后的特征图进行选择和优化;图像打印模块,用于过滤背景信息。来解决强背景光下目标探测识别能力差,图像图像清晰度和对比度低的问题。

    一种反射式同时偏振超分辨率成像系统及设计方法

    公开(公告)号:CN114624876B

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202210238945.1

    申请日:2022-03-07

    摘要: 一种反射式同时偏振超分辨率成像系统及设计方法,可用于宽波段偏振高分辨率成像技术领域,了解决现有技术无法对多个偏振态同时实现超分辨率成像的问题,反射式同时偏振超分辨率成像系统,该系统由第一子孔径反射镜、第二子孔径反射镜、第三子孔径反射镜、第四子孔径反射镜、DMD、第一反射镜、第二反射镜、偏振四象限探测器、第一孔径光阑、第二孔径光阑、第三孔径光阑、第四孔径光阑和图像重建单元组成;第一子孔径反射镜、第二子孔径反射镜、第三子孔径反射镜和第四子孔径反射镜采用类田字格结构排布,均为自由曲面反射镜,组成望远反射物镜;第一反射镜和第二反射镜组成中继反射系统;望远反射物镜和中继反射系统组成整体光学系统。

    一种强背景下目标偏振探测系统及其探测方法

    公开(公告)号:CN116503704A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310759860.2

    申请日:2023-06-27

    摘要: 本发明公开了一种强背景下目标偏振探测系统及其探测方法。图像信号采集模块,用于多通道的图像信息采集和信号转换;基于YoLoV3神经网络的特征提取模块,用于加深网络层数,获得结合强度信息与偏振信息的融合特征图,提取强度模态与偏振光模态的特征差异;基于Darknet神经网络的特征提取模块,用于获得高动态范围图像的特征值提取;基于残差网络的特征融合模块,用于学习不同模态间的权重,获得强度模态信息与偏振模态信息的融合特征图,利用注意力机制处理对融合后的特征图进行选择和优化;图像打印模块,用于过滤背景信息。来解决强背景光下目标探测识别能力差,图像图像清晰度和对比度低的问题。

    被动式级联液晶偏振光栅优化控制参数计算方法

    公开(公告)号:CN116184657A

    公开(公告)日:2023-05-30

    申请号:CN202211557020.X

    申请日:2022-12-06

    IPC分类号: G02B27/00 G02F1/133

    摘要: 被动式级联液晶偏振光栅优化控制参数计算方法,属于液晶偏振光栅技术领域,为了解决被动式级联偏振光栅衍射效率低的问题,该方法包括以下步骤:计算级联液晶偏振光栅不同偏转角度每一层所需要的层控制系数;计算液晶可调半波片的片控制系数;根据片控制系数与入射光偏振态从发射端开始计算每一片液晶可调半波片的片施电系数,建立片施电系数集;根据每一片液晶可调半波片控制系数以及入射光角度,计算每一片液晶可调半波片控制电压,使每层的出射光为标准圆偏振光,建立级联液晶偏振光栅控制电压集。在不改变硬件结构的前提下,优化每一层液晶可调半波片的片控制系数、片施电系数与片控制电压,解决了被动式级联液晶偏振光栅衍射效率低的问题。

    一种离轴三反全谱段偏振光谱成像探测装置

    公开(公告)号:CN113701885B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202110991949.2

    申请日:2021-08-27

    IPC分类号: G01J3/447

    摘要: 本发明一种离轴三反全谱段偏振光谱成像探测装置,属于光电探测领域,一种离轴三反全谱段偏振光谱成像探测装置包括离轴三反光学系统、多谱段分光片、长波偏振光谱成像探测系统、中波偏振光谱成像探测系统、近红外偏振光谱成像探测系统、可见光偏振光谱成像探测系统、图像融合处理系统。本发明将强度成像、光谱成像、偏振成像技术相结合,提出了一种离轴三反全谱段偏振光谱成像探测装置,实现雾霾天气下高清晰高分辨光电成像探测。同时获取可见光、近红外、中波红外、长波红外四个谱段的偏振、光谱、强度信息,是传统成像探测的有益补充。将强度、光谱和偏振信息结合,提高目标探测识别概率25%以上,可以应用在光电探测技术领域,提高成像质量。