一种大视场光刻扫描物镜

    公开(公告)号:CN118363153B

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410791245.4

    申请日:2024-06-19

    摘要: 一种大视场光刻扫描物镜,为193nm波段光刻扫描的刻线均匀性以及效率问题提供一种解决方法。包括光阑、第一透镜组和第二透镜组,从物侧至像侧方向上,光阑、第一透镜组、第二透镜组沿光的轴线方向依次排布;所述第一透镜组包括:从物侧至像侧方向上依此分布的第一透镜至第九透镜;第一透镜为平凸透镜,所述第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第八透镜为弯月透镜,所述第七透镜、第九透镜为双凸透镜;所述第二透镜组包括:从物侧至像侧方向上依此分布的第十透镜至第十五透镜;其中,所述第十透镜、第十一透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜为弯月透镜,第十二透镜为双凸透镜。

    空间目标多模态信息融合光电探测定位定轨装置和方法

    公开(公告)号:CN117848354B

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410258677.9

    申请日:2024-03-07

    摘要: 空间目标多模态信息融合光电探测定位定轨装置和方法,涉及空间目标光学探测领域。解决现有空间目标探测方法存在目标信息获取有限、单端探测设备探测精度低的问题。所述方法包括:激光器发射测距激光,激光通过分光镜、卡塞格林望远镜射出;调动卡塞格林望远镜对准目标并接收测距激光回波;分光镜将激光传输到激光测距单元中进行测距,获得目标距离信息;采集分光镜中可见光分束,对目标进行成像,获取目标二维位置信息;目标轨迹点进行坐标变换,获取世界坐标系坐标;将世界坐标系上坐标点通过轨迹拟合子系统进行拟合;编码器单元输出脱靶量至计算机单元,根据脱靶量跟踪目标,记录脱靶量,在坐标转换时进行修正。应用于卫星探测领域。

    一种基于CFD仿真的飞机尾迹偏振散射特性分析方法

    公开(公告)号:CN116992569A

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310998145.4

    申请日:2023-08-09

    摘要: 一种基于CFD仿真的飞机尾迹偏振散射特性分析方法,涉及光学技术领域,解决现有分析方法只适用于单一条件下均匀介质的偏振散射特性分析而无法适用于复杂条件下的偏振散射特性分析的问题,本发明通过对确定的机械模型进行模拟飞行,并采用CFD获取不同环境温度下飞机冷凝尾迹的数值仿真结果;建立粒子随机分布介质中的蒙特卡洛偏振传输模型,将CFD数值仿真结果带入蒙特卡罗偏振传输模型,获得飞机尾迹偏振散射特性仿真结果,本发明解决了空间粒子无规律分布介质中的偏振散射特性分析难题;并可以有效的分析不同飞行速度、飞行高度、环境温度和飞机类型等条件下的尾迹偏振散射特性,为未来飞机尾迹探测提供新思路。

    一种空间光调制的抗强光干扰的偏振成像装置及成像方法

    公开(公告)号:CN116907647A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202311175137.6

    申请日:2023-09-13

    IPC分类号: G01J4/00 G02B27/28

    摘要: 一种空间光调制的抗强光干扰的偏振成像装置及成像方法,涉及光学探测领域。解决现有大多数成像装置受目标波长的限制,难以区分目标反射的光强和干扰光强,不能抵抗强光的干扰;缺少自适应光圈调节技术,难以自动获取对比度最大,清晰度最高图像的问题。本发明提供以下方案:所述装置包括空间光调制系统、图像清晰度评价系统和自适应光圈自动调节系统;空间光调制系统用于采集光信号,并将光信号调制之后产生电信号,并将电信号发送给图像清晰度评价系统;图像清晰度评价系统将电信号发送给自适应光圈自动调节系统;自适应光圈自动调节系统用于接收电信号,并将电信号调整光圈值和图像清晰度并输出至空间光调制系统。适用于光学探测工作过程中。

    一种分孔径压缩感知偏振超分辨率成像方法

    公开(公告)号:CN116609942B

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310876656.9

    申请日:2023-07-18

    IPC分类号: G02B27/00 G02B27/28 G02B27/58

    摘要: 一种分孔径压缩感知偏振超分辨率成像方法及系统,涉及目标检测识别与压缩感知成像技术领域,方法包括:采集分孔径编码模板光强图像和四个不同偏振方向的偏振低分辨率图像;建立偏振像差模型,并基于所述偏振像差模型对所述偏振低分辨率图像进行偏振像差补偿,得到修正后的偏振低分辨率图像;基于理想编码矩阵和所述模板光强图像对第一卷积神经网络模型迭代训练,得到映射扩散矩阵阵列;基于所述映射扩散矩阵阵列和修正后的偏振低分辨率图像对超分辨率重建网络迭代训练,得到高分辨率偏振图像;该方法所获得的偏振特征图像分辨率可突破探测器分辨率的极限,成像质量更好,测量精度更高。

    一种分孔径压缩感知偏振超分辨率成像系统及方法

    公开(公告)号:CN116609942A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202310876656.9

    申请日:2023-07-18

    IPC分类号: G02B27/00 G02B27/28 G02B27/58

    摘要: 一种分孔径压缩感知偏振超分辨率成像方法及系统,涉及目标检测识别与压缩感知成像技术领域,方法包括:采集分孔径编码模板光强图像和四个不同偏振方向的偏振低分辨率图像;建立偏振像差模型,并基于所述偏振像差模型对所述偏振低分辨率图像进行偏振像差补偿,得到修正后的偏振低分辨率图像;基于理想编码矩阵和所述模板光强图像对第一卷积神经网络模型迭代训练,得到映射扩散矩阵阵列;基于所述映射扩散矩阵阵列和修正后的偏振低分辨率图像对超分辨率重建网络迭代训练,得到高分辨率偏振图像;该方法所获得的偏振特征图像分辨率可突破探测器分辨率的极限,成像质量更好,测量精度更高。

    一种探测器信噪比获取方法及检测装置

    公开(公告)号:CN115950531B

    公开(公告)日:2023-06-20

    申请号:CN202310244429.4

    申请日:2023-03-15

    摘要: 探测器信噪比获取方法及检测装置。属于光学探测器性能检测技术领域,以及光学探测器性能评估领域。其解决了现有的成像探测系统的信噪比评估方法处理速度慢,计算复杂度高和评估结果不准确的问题。对于采集的探测器反馈的信号提取实部离散性特征值,虚部离散性特征值和相位离散性特征值、实部下四分割点特征值和虚部下四分割点特征值;利用递归神经网络结构,对提取的特征值进行拟合,对输出结果进行计算得到探测器信噪比。本发明所述的探测器信噪比获取方法和成像探测系统探测性能评估方法均适用于光学探测技术领域、光学探测性能的检测和评估技术领域、光学探测器或者空间目标探测系统的生产制造领域。

    基于深度学习框架的压缩感知偏振超分辨成像方法

    公开(公告)号:CN116245726A

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202310071614.8

    申请日:2023-01-18

    IPC分类号: G06T3/40

    摘要: 基于深度学习框架的压缩感知偏振超分辨成像方法,涉及计算成像和偏振探测技术领域,该方法包括以下三步骤:压缩编码采样、超分辨率重建和去偏振马赛克;其中超分辨率重建和去偏振马赛克阶段由两层生成对抗网络来实现;利用低分辨率分焦平面偏振探测器在较低采样率下获得的图像实现超分辨率偏振图像的重建,生成高分辨率无偏振马赛克的S0、DOLP和AOP图像。本方法在去偏振马赛克的基础上,生成的S0、DOLP和AOP图像分辨率远高于偏振探测器原始分辨率;利用深度学习网络建立起原始偏振图像与S0、DOLP和AOP偏振特性图像之间的映射关系,直接由原始偏振马赛克图像生成高分辨率无马赛克S0、DOLP和AOP图像。本发明可有效地避免二次误差。