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公开(公告)号：CN1323770C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN03816992.4
申请日：2003-05-29
申请人： 高级技术材料公司
发明人： 卡尔·W·奥兰德 , 马修·B·多纳图奇 , 王录平 , 迈克尔·J·沃德延斯基
CPC分类号： F17C13/04 , F17C5/00 , F17C2201/0109 , F17C2201/0119 , F17C2201/032 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2205/0111 , F17C2205/0176 , F17C2205/0326 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2225/038 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2260/036 , F17C2260/044 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0324 , Y10T137/0419 , Y10T137/2569 , Y10T137/4259 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7793 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249
摘要： 利用和集成气管(126)可选择流体连通的气体源(102)进行气体分配的装置和方法。该集成气管(126)包括用于将气体排放到用气区域的流路(110)，并且该气体源(126)包括容纳高于大气压的气体的调压气体源容器(126)。
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公开(公告)号：CN1668393A
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：CN03816992.4
申请日：2003-05-29
申请人： 高级技术材料公司
发明人： 卡尔·W·奥兰德 , 马修·B·多纳图奇 , 王录平 , 迈克尔·J·沃德延斯基
CPC分类号： F17C13/04 , F17C5/00 , F17C2201/0109 , F17C2201/0119 , F17C2201/032 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2205/0111 , F17C2205/0176 , F17C2205/0326 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2225/038 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2260/036 , F17C2260/044 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0324 , Y10T137/0419 , Y10T137/2569 , Y10T137/4259 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7793 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249
摘要： 利用和集成气管(126)可选择流体连通的气体源(102)进行气体分配的装置和方法。该集成气管(126)包括用于将气体排放到用气区域的流路(110)，并且该气体源(126)包括容纳高于大气压的气体的调压气体源容器(126)。
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公开(公告)号：CN101059206A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710101000.0
申请日：2003-05-29
申请人： 高级技术材料公司
发明人： 卡尔·W·奥兰德 , 马修·B·多纳图奇 , 王录平 , 迈克尔·J·沃德延斯基
CPC分类号： F17C13/04 , F17C5/00 , F17C2201/0109 , F17C2201/0119 , F17C2201/032 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2205/0111 , F17C2205/0176 , F17C2205/0326 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2225/038 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2260/036 , F17C2260/044 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0324 , Y10T137/0419 , Y10T137/2569 , Y10T137/4259 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7793 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249
摘要： 本发明公开了一种用于分配气体的组件，包括：调压气体源容器，该调压气体源容器适于容纳高于大气压的流体且设置成在基本低压下排气；集成气管，该集成气管适于接收来自调压气体源容器的排气且包括用以分配该排气的气体流路；以及至少一个选自以下部件的其他部件：用于可选择地将集成气管的流路和调压气体源容器相隔开的装置；和用于从气体流路中去掉气体、以能够在容器内气体已经消耗到预定程度时可更换气体源容器的装置。
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公开(公告)号：CN1606632A
公开(公告)日：2005-04-13
申请号：CN02825485.6
申请日：2002-11-21
申请人： 高级技术材料公司
CPC分类号： C23C16/4485
摘要： 一种在蒸发器系统内均一加热条件下，用于蒸发固体和/或液体化学源材料的蒸发器系统，在蒸发器内减少蒸发源材料的冷凝，而且使“冷点”最小化，以提供基本上连续的蒸气流到达下游注入或沉积(如MOCVD)系统。蒸发器包括导热块，所述的导热块具有其中形成的多个延长井以持留蒸气源材料。在导热块内是与延长井连通的内部体积。密封所述的导热块以形成封闭的容器，向其中加热以同时均一地加热所有延长井并蒸发其中的源材料。
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