一种金属相二硫化钼空心球花及制备方法

    公开(公告)号:CN118529776A

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202410782677.9

    申请日:2024-06-18

    IPC分类号: C01G39/06

    摘要: 本发明提供一种金属相二硫化钼空心球花及制备方法,属于纳米材料制备技术领域。本发明通过将钼源和硫源溶于甲醇中,室温搅拌后将溶液移至聚四氟乙烯反应釜,密封并恒温处理,待冷却至室温后,对反应产物离心处理并收集,放于真空箱中干燥,获得金属相二硫化钼空心球花。本发明通过一步溶剂热法简化制备流程,工艺简单,生产效率高,适合批量生产。制备的二硫化钼空心球花,晶体结构为金属相,尺寸均一(0.8‑1μm),表面二硫化钼纳米片排列疏松,活性位点丰富,在光催化、电催化、电池和电容器材料方面具有重要的应用价值。

    一种边缘高应力硬脆半导体材料的掏圆加工方法

    公开(公告)号:CN118559900A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410951584.4

    申请日:2024-07-16

    IPC分类号: B28D5/04 B28D7/00 B28D7/04

    摘要: 本发明公开了一种边缘高应力硬脆半导体材料的掏圆加工方法,将待处理边缘高应力硬脆半导体材料晶体粘结在衬板上,衬板固定在固定块上,固定于金刚石单线切割机工作台上;从材料圆面靠近圆周弦的位置部分切除边缘应力区;固定块、晶体与衬板分离,晶体与衬板二次粘接,固定在金刚石曲线切割机工作台并让切割线对准入刀口,进行曲线切割,从垂直于单线切割切面的垂直平分线位置,沿着直径向圆心方向以圆形轨迹线,切除剩余应力区域;衬板与材料分离,完成边缘高应力硬脆半导体材料的掏圆。本发明利用金刚石单线切割机对边缘应力区进行部分切除,再利用金刚石曲线切割机将剩余边缘应力区全部切除,实现快速、低成本、低损耗切除,切割后的材料边缘完整无裂痕,粗糙度<50μm,加工废料可二次利用。

    一种高晶质半导体碳化硅粉料及制备方法

    公开(公告)号:CN117361534A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311321819.3

    申请日:2023-10-13

    IPC分类号: C01B32/984 C01B32/956

    摘要: 本发明公开了一种高晶质半导体碳化硅粉料及制备方法,将高纯碳化硅单晶晶体进行裂解或破碎,筛分出10‑200μm粒径的碳化硅粉与高纯碳粉混合;将混合均匀的碳粉和硅粉置于石墨坩埚底部,混合的碳化硅粉与高纯碳粉置于上部,加装石墨盖封住,置于高温烧结炉中,封闭好炉腔,抽真空;升温至1050~1350℃,保温1~15h,通入高纯氩气到腔内压力到10000‑80000 Pa,继续升温至1750~2000℃,保温8~15h,实现底部碳化硅粉料的合成,继续升温至2000‑2500℃,同时降低炉腔内压力值在1000~10000Pa,持续通入高纯氩气流量为5‑800sccm,保温30~80h;停止通入氩气,冷却至室温,得高晶质半导体碳化硅粉料。高晶质半导体碳化硅粉料可应用于制备高性能、低缺陷、低包裹物密度的第三代半导体材料碳化硅单晶材料。

    一种全小面碳化硅单晶晶片及制备方法

    公开(公告)号:CN117966257A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202410108795.1

    申请日:2024-01-26

    IPC分类号: C30B23/00 C30B29/36

    摘要: 本发明公开了一种全小面碳化硅单晶晶片及其制备方法,将正向的碳化硅单晶籽晶粘接在石墨坩埚上盖上,安装于填充有高纯碳化硅粉料的石墨坩埚桶上部,置于高温碳化硅单晶生长炉中,封闭好炉腔,抽真空;调整高温线位置使籽晶面的等温线凸度为6‑10mm,加热升温至1000~1300℃保温1~24h,通入氮气和氩气混合气体到腔内压力1000‑80000 Pa,升温至1950~2250℃保温8~20h,按0.5~1mm/h的速率移动等温线位置,使生长面的等温线凸度在0.2~1mm之间,并保持动态移动控制在0.2~1mm之间,生长结束后停止加热,通入氩气使腔内升压,冷却至室温得碳化硅晶体,经加工处理获得全小面碳化硅单晶晶片。采用本发明的方法制备出高质量低缺陷的全小面碳化硅单晶晶片,可以较好地应用于高压和特高压功率器件的制备。

    一种弱连接结构牺牲层氮化镓缓冲衬底及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118581572A

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410715278.0

    申请日:2024-06-04

    摘要: 本发明公开了一种弱连接结构牺牲层氮化镓缓冲衬底及其制备方法和应用,弱连接结构牺牲层氮化镓缓冲衬底的制备方法为:选择籽晶、石英件和石墨件,装配制备GaN的HVPE生长炉;设置GaN晶体生长的工艺参数,在籽晶生长获得GaN单晶薄层,即为预备牺牲层;改变生长压力和气体通入量,在低压下对预备牺牲层进行处理,得弱连接结构的牺牲层氮化镓衬底。本发明利用弱连接结构的牺牲层GaN缓冲衬底,在后续HVPE法生长GaN单晶的过程中,弱连接结构的牺牲层降低了GaN晶体内的位错密度和残余应力,并且借助于空位辅助分离原理实现了生长GaN晶体的自剥离,操作简便,节省时间和经济成本,避免引入杂质影响晶体后续生长,适合于大规模生产应用。