公开(公告)号：CN104040433A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280065095.4

申请日：2012-12-05

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·巴特勒 ,  A·布里克 ,  P·亨纳斯 ,  M·胡克斯 ,  S·A·J·霍尔 ,  H·范德斯库特 ,  B·斯拉格海克 ,  P·蒂纳曼斯 ,  M·范德威吉斯特 ,  K·扎尔 ,  T·P·M·卡迪 ,  R·比尔恩斯 ,  O·菲思克尔 ,  W·安吉内恩特 ,  N·J·M·博施

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70258 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70366 ,  G03F7/70391 ,  G03F7/704 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70816 ,  G03F7/709

Abstract: 本发明公开了一种曝光设备(1)，包括：投射系统(12，14)，配置成将多个辐射束投射到目标上；可移动框架(8)，其至少能够围绕轴线(10)旋转；以及致动器系统(11)，配置成将可移动框架位移至远离与可移动框架的几何中心对应的轴线的轴线并引起框架围绕通过框架的质心的轴线旋转。

公开(公告)号：CN102608871A

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201210010955.6

申请日：2012-01-13

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·J·E·G·布瑞克尔斯 ,  马赛尔·弗兰克斯·赫尔特杰斯 ,  N·J·M·博施

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70733

Abstract: 本发明涉及一种光刻设备和器件制造方法。所述光刻设备包括：用于容纳物体W的载物台WT；用于移动所述载物台的致动器；和用于将所述物体W转移至所述载物台WT或从所述载物台WT转移物体W的输送装置HW。所述光刻设备设置有与所述致动器和/或所述输送装置可操作地连接的控制器。所述控制器被编程和/或布置以驱动所述致动器和所述输送装置，以便保证在沿着所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移所述物体的转移方向的转移期间，所述载物台和所述输送装置在垂直于转移方向的方向基本上相互跟随。

公开(公告)号：CN104040433B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201280065095.4

申请日：2012-12-05

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·巴特勒 ,  A·布里克 ,  P·亨纳斯 ,  M·胡克斯 ,  S·A·J·霍尔 ,  H·范德斯库特 ,  B·斯拉格海克 ,  P·蒂纳曼斯 ,  M·范德威吉斯特 ,  K·扎尔 ,  T·P·M·卡迪 ,  R·比尔恩斯 ,  O·菲思克尔 ,  W·安吉内恩特 ,  N·J·M·博施

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70258 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70366 ,  G03F7/70391 ,  G03F7/704 ,  G03F7/70558 ,  G03F7/70816 ,  G03F7/709

Abstract: 本发明公开了一种曝光设备(1)，包括：投射系统(12，14)，配置成将多个辐射束投射到目标上；可移动框架(8)，其至少能够围绕轴线(10)旋转；以及致动器系统(11)，配置成将可移动框架位移至远离与可移动框架的几何中心对应的轴线的轴线并引起框架围绕通过框架的质心的轴线旋转。

公开(公告)号：CN102608871B

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201210010955.6

申请日：2012-01-13

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·J·E·G·布瑞克尔斯 ,  马赛尔·弗兰克斯·赫尔特杰斯 ,  N·J·M·博施

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725 ,  G03F7/70733

Abstract: 本发明涉及一种光刻设备和器件制造方法。所述光刻设备包括：用于容纳物体W的载物台WT；用于移动所述载物台的致动器；和用于将所述物体W转移至所述载物台WT或从所述载物台WT转移物体W的输送装置HW。所述光刻设备设置有与所述致动器和/或所述输送装置可操作地连接的控制器。所述控制器被编程和/或布置以驱动所述致动器和所述输送装置，以便保证在沿着所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移所述物体的转移方向的转移期间，所述载物台和所述输送装置在垂直于转移方向的方向基本上相互跟随。