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公开(公告)号：CN101795527A
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN201010003505.5
申请日：2003-09-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 本发明公开了一种辐射源、光刻装置和器件的制造方法。一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟、锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN101795527B
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201010003505.5
申请日：2003-09-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 本发明公开了一种辐射源、光刻装置和器件的制造方法。一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟、锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN100594428C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN03164836.3
申请日：2003-09-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
IPC分类号： G03F7/20 , H01J17/02 , H01L21/027
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟，锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN1497349A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03164836.3
申请日：2003-09-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： K·N·科塞勒夫 , V·Y·班宁 , V·V·伊范诺夫 , E·R·基夫特 , E·R·鲁普斯特拉 , L·H·J·斯特文斯 , Y·V·斯德科夫 , V·G·科洛奇尼科夫 , V·M·克里特森 , R·R·加亚佐夫 , O·W·V·弗里恩斯
IPC分类号： G03F7/20 , H01J17/02 , H01L21/027
CPC分类号： H05G2/003 , B82Y10/00 , F28D15/0266 , G03F7/70033 , G03F7/70166 , G03F7/70916 , H05G2/005
摘要： 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被构造和排列成可以在阳极和阴极之间的空间中的气体或蒸汽中产生放电，进而形成等离子体收缩来产生电磁辐射。所述气体或蒸汽包括氙气、铟，锂和/或锡。为提高热耗散，辐射源包括多个放电元件，每个放电元件只使用短的时间间隔，之后就选择其他的放电元件。为改善收缩形成和由之产生的的EUV辐射脉冲的精确同步，辐射源包括一个触发器件。为提高转换效率，辐射源设置为具有低感应系数，并运行在自触发的状态。
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公开(公告)号：CN101785368B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200880103732.6
申请日：2008-08-20
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 一种辐射源，包括腔和用于产生等离子体的物质的供给装置，所述源具有相互作用点，在该相互作用点处，被引入到所述腔中的所述用于产生等离子体的物质可以与激光束相互作用，并且因此产生辐射发射等离子体，其中所述源进一步包括被布置以将缓冲气体传递到所述腔中的导管，所述导管具有邻近所述相互作用点处的出口。
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公开(公告)号：CN101785369A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200880103760.8
申请日：2008-08-25
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： T·A·R·范因佩尔 , V·Y·班宁 , V·V·伊万诺夫 , E·R·鲁普斯特拉 , J·B·P·范斯库特 , Y·J·G·范德维杰威 , G·H·P·M·斯温克尔斯 , H·G·诗密尔 , D·莱伯斯克依 , J·H·J·摩尔斯
IPC分类号： H05G2/00
CPC分类号： H05G2/003 , G03F7/70175 , G03F7/70916 , G03F7/70983 , H05G2/005 , H05G2/008
摘要： 一种用于产生极紫外辐射的模块(1)包括：供给装置，该供给装置被配置以将点燃材料的液滴供给到预定目标点燃位置上；激光器(6)，该激光器被布置以聚焦到该预定目标点燃位置上并通过撞击位于预定目标点燃位置处的这样的液滴(4)来产生等离子体，以便将液滴变成用于产生极紫外辐射的等离子体。另外，模块包括收集反射镜(12)，该收集反射镜具有反射镜表面(14)，该反射镜表面被构造和布置以反射辐射，以便将辐射聚焦到焦点(FP)上。流体供给装置(2)被构造和布置以在横向于反射镜表面的方向上形成远离反射镜表面流动的气流(GF)，以便减缓由等离子体产生的颗粒碎片。
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公开(公告)号：CN101785368A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200880103732.6
申请日：2008-08-20
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： H05G2/00
摘要： 一种辐射源，包括腔和用于产生等离子体的物质的供给装置，所述源具有相互作用点，在该相互作用点处，被引入到所述腔中的所述用于产生等离子体的物质可以与激光束相互作用，并且因此产生辐射发射等离子体，其中所述源进一步包括被布置以将缓冲气体传递到所述腔中的导管，所述导管具有邻近所述相互作用点处的出口。
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