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公开(公告)号：CN105900014B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201480072379.5
申请日：2014-12-08
申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司
摘要： 本发明涉及新型组合物，其包含选自至少一种多金属氧酸盐、至少一种杂多金属氧酸盐及其混合物的金属组分；以及至少一种有机组分。本发明还涉及制备纳米棒阵列和纳米棒材料和膜的方法。本发明还涉及生成富含金属‑氧化物的膜的新型组合物，还涉及通孔或沟槽填充、反向通孔或沟槽填充和用底层成像的方法。该材料可用于许多行业的多种制造应用，包括半导体器件、光电器件和储能行业。
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公开(公告)号：CN110609445A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201910902154.2
申请日：2014-12-08
申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司
IPC分类号： G03F7/004
摘要： 本发明涉及新型组合物，其包含选自至少一种多金属氧酸盐、至少一种杂多金属氧酸盐及其混合物的金属组分；以及至少一种有机组分。本发明还涉及制备纳米棒阵列和纳米棒材料和膜的方法。本发明还涉及生成富含金属-氧化物的膜的新型组合物，还涉及通孔或沟槽填充、反向通孔或沟槽填充和用底层成像的方法。该材料可用于许多行业的多种制造应用，包括半导体器件、光电器件和储能行业。
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公开(公告)号：CN104093784A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380006618.2
申请日：2013-02-08
申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司
IPC分类号： C08L83/04 , G03F7/075 , H01L21/02 , H01L21/312
CPC分类号： C08L83/04 , G03F7/038 , G03F7/0757 , G03F7/0758 , H01L21/02126 , H01L21/02282 , H01L23/5329 , H01L2924/0002 , Y10T428/24802 , H01L2924/00
摘要： 本发明一般性地涉及硅基光致抗蚀剂组合物，其可以用于形成适合用于电子器件的低k介电常数材料，它们的使用方法和由它们制得的电子器件。
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公开(公告)号：CN105492972B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201480047203.4
申请日：2014-08-20
申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司
IPC分类号： G03F7/09 , H01L21/027 , C08G77/58 , C08G79/00
摘要： 本发明涉及用于形成具有改进的稳定性的金属氧化物膜的新型可溶性多配体取代的金属氧化物化合物以及由它们制成的组合物以及它们的使用方法。具体而言，本发明涉及具有以下结构(I)的化合物：其中M是金属并且n是1至20，并且其中R1、R2、R3和R4的至少一个是i)并且R1、R2、R3和R4的至少一个是ii)，其中i)是具有至少2个碳的带有硅的有机部分，并且ii)是有机部分。本发明还涉及溶解到溶剂中的结构(I)的化合物的可旋涂组合物。本发明进一步涉及使用这种可旋涂组合物以便在图案化衬底上形成涂层的方法。
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公开(公告)号：CN104093784B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201380006618.2
申请日：2013-02-08
申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司
IPC分类号： C08L83/04 , G03F7/075 , H01L21/02 , H01L21/312
CPC分类号： C08L83/04 , G03F7/038 , G03F7/0757 , G03F7/0758 , H01L21/02126 , H01L21/02282 , H01L23/5329 , H01L2924/0002 , Y10T428/24802 , H01L2924/00
摘要： 本发明一般性地涉及硅基光致抗蚀剂组合物，其可以用于形成适合用于电子器件的低k介电常数材料，它们的使用方法和由它们制得的电子器件。
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公开(公告)号：CN105900014A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201480072379.5
申请日：2014-12-08
申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司
摘要： 本发明涉及新型组合物，其包含选自至少一种多金属氧酸盐、至少一种杂多金属氧酸盐及其混合物的金属组分；以及至少一种有机组分。本发明还涉及制备纳米棒阵列和纳米棒材料和膜的方法。本发明还涉及生成富含金属?氧化物的膜的新型组合物，还涉及通孔或沟槽填充、反向通孔或沟槽填充和用底层成像的方法。该材料可用于许多行业的多种制造应用，包括半导体器件、光电器件和储能行业。
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公开(公告)号：CN105492972A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480047203.4
申请日：2014-08-20
申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司
IPC分类号： G03F7/09 , H01L21/027 , C08G77/58 , C08G79/00
摘要： 本发明涉及用于形成具有改进的稳定性的金属氧化物膜的新型可溶性多配体取代的金属氧化物化合物以及由它们制成的组合物以及它们的使用方法。具体而言，本发明涉及具有以下结构(I)的化合物：其中M是金属并且n是1至20，并且其中R1、R2、R3和R4的至少一个是i)并且R1、R2、R3和R4的至少一个是ii)，其中i)是具有至少2个碳的带有硅的有机部分，并且ii)是有机部分。本发明还涉及溶解到溶剂中的结构(I)的化合物的可旋涂组合物。本发明进一步涉及使用这种可旋涂组合物以便在图案化衬底上形成涂层的方法。
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