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公开(公告)号:CN101410545A
公开(公告)日:2009-04-15
申请号:CN200780010873.9
申请日:2007-03-28
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: C23C14/32 , C23C14/0031 , C23C14/0042 , C23C14/221 , C23C14/54 , C23C14/564 , C23C16/30 , G02B1/11 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/302 , H01J37/317 , H01J37/3178 , H01J2237/006 , H01J2237/022
Abstract: 离子枪系统(60),其具备:照射离子束的离子枪(14);向该离子枪供给电力的电源装置(61);将2种气体分别导入离子枪的2个质量流量调整器(64、65);与电源装置连接,作为对从该电源装置向离子枪供给的供给电力进行控制的离子枪控制单元的控制装置(12);和与质量流量调整器连接,作为对从该质量流量调整器向离子枪的导入气体流量进行控制的质量流量控制单元的控制装置(12);其中作为质量流量控制单元的控制装置(12)具备在离子枪稳定运转的范围内阶段性地变更2种气体各自的导入流量的设定值,以变更为其他设定值的功能,由此能够缩短成膜时间。
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公开(公告)号:CN103620481A
公开(公告)日:2014-03-05
申请号:CN201280027305.0
申请日:2012-05-31
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 本发明提供一种具备光致变色膜的同时可抑制变形的塑料透镜。本发明的塑料透镜采用含有具有凹面和凸面的弯月面形状的塑料基板、设置在塑料基板的凸面上的光致变色膜、设置在塑料基板凹面上的应力补偿膜的构成。
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公开(公告)号:CN101410545B
公开(公告)日:2011-06-15
申请号:CN200780010873.9
申请日:2007-03-28
Applicant: HOYA株式会社
CPC classification number: C23C14/32 , C23C14/0031 , C23C14/0042 , C23C14/221 , C23C14/54 , C23C14/564 , C23C16/30 , G02B1/11 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/302 , H01J37/317 , H01J37/3178 , H01J2237/006 , H01J2237/022
Abstract: 离子枪系统(60),其具备:照射离子束的离子枪(14);向该离子枪供给电力的电源装置(61);将2种气体分别导入离子枪的2个质量流量调整器(64、65);与电源装置连接,作为对从该电源装置向离子枪供给的供给电力进行控制的离子枪控制单元的控制装置(12);和与质量流量调整器连接,作为对从该质量流量调整器向离子枪的导入气体流量进行控制的质量流量控制单元的控制装置(12);其中作为质量流量控制单元的控制装置(12)具备在离子枪稳定运转的范围内阶段性地变更2种气体各自的导入流量的设定值,以变更为其他设定值的功能,由此能够缩短成膜时间。
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