公开(公告)号：CN101461029B

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200680053351.2

申请日：2006-12-15

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： J·J·苏斯 ,  W·M·霍尔伯 ,  J·T·苏莫森 ,  S·C·特鲁利 ,  张卫国 ,  陈星

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

Abstract: 用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。

公开(公告)号：CN101461029A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200680053351.2

申请日：2006-12-15

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： J·J·苏斯 ,  W·M·霍尔伯 ,  J·T·苏莫森 ,  S·C·特鲁利 ,  张卫国 ,  陈星

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

Abstract: 用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。