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公开(公告)号：CN101461029B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200680053351.2
申请日：2006-12-15
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32449
Abstract: 用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。
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公开(公告)号：CN101855700B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200880115934.2
申请日：2008-09-23
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J49/105 , H01J49/145
Abstract: 描述用于产生质谱系统中使用的试剂离子和产品离子的系统和方法。还揭示了用于检测痕量浓度的挥发性有机化合物的系统和方法的应用。微波或高频RF能量源使试剂蒸汽的粒子电离以形成试剂离子。试剂离子进入一个腔室，诸如漂移腔室，以与流体样品交互作用。电场引导试剂离子和促进与流体样品的交互作用而形成产品离子。然后试剂离子和产品离子在电场的影响下退出腔室，以供质谱仪模块检测。系统包括：各种控制模块，用于设置系统参数值；以及分析模块，用于在质谱法和系统故障期间检测离子物质的质量和峰值强度值。
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公开(公告)号：CN101461029A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200680053351.2
申请日：2006-12-15
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32449
Abstract: 用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。
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公开(公告)号：CN102339716B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201110288983.X
申请日：2004-04-12
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/32522
Abstract: 本申请涉及环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源，描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。
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公开(公告)号：CN102339717A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110289004.2
申请日：2004-04-12
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/32522
Abstract: 本申请涉及环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源，描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102339717B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201110289004.2
申请日：2004-04-12
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/32522
Abstract: 本申请涉及环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源，描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。
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公开(公告)号：CN102339716A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110288983.X
申请日：2004-04-12
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/32522
Abstract: 本申请涉及环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源，描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。
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公开(公告)号：CN1774787B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200480010066.3
申请日：2004-04-12
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/32522
Abstract: 描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。
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公开(公告)号：CN101855700A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200880115934.2
申请日：2008-09-23
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J49/105 , H01J49/145
Abstract: 描述用于产生质谱系统中使用的试剂离子和产品离子的系统和方法。还揭示了用于检测痕量浓度的挥发性有机化合物的系统和方法的应用。微波或高频RF能量源使试剂蒸汽的粒子电离以形成试剂离子。试剂离子进入一个腔室，诸如漂移腔室，以与流体样品交互作用。电场引导试剂离子和促进与流体样品的交互作用而形成产品离子。然后试剂离子和产品离子在电场的影响下退出腔室，以供质谱仪模块检测。系统包括：各种控制模块，用于设置系统参数值；以及分析模块，用于在质谱法和系统故障期间检测离子物质的质量和峰值强度值。
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公开(公告)号：CN1774787A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200480010066.3
申请日：2004-04-12
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/32522
Abstract: 描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。
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