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公开(公告)号：CN105209156B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201480027798.7
申请日：2014-03-14
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32449 , B01D53/323 , B01D53/76 , B01D2257/2064 , H01J37/32339 , H01J37/32357 , H01J37/32458 , H01J37/32651 , H01J37/32669 , H01J37/32844 , H01J37/32935 , H01J2237/3321 , H01J2237/334 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2245/121 , Y02C20/30
Abstract: 提供用于减少气体的设备。该设备包含环形等离子体腔室，其具有多个进口和一个出口,和至少一个腔室壁。一个或多个磁芯相对于环形等离子体腔室设置。等离子体腔室限定环形等离子体。第二气体进口设置在环形等离子体腔室上，且设置在第一气体进口和气体出口之间并与该气体出口相距距离d,从而第一气体进口和第二气体进口之间的环形等离子体通道体积基本上由惰性气体填充，该距离d基于所需的要减少的气体的停留时间。
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公开(公告)号：CN105978358A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610320044.1
申请日：2013-03-19
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90 , H02M5/458 , C01B13/11 , H02H9/02
Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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公开(公告)号：CN104321273A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380022479.2
申请日：2013-03-19
Applicant: MKS仪器股份有限公司
CPC classification number: H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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公开(公告)号：CN101461029B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200680053351.2
申请日：2006-12-15
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32449
Abstract: 用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。
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公开(公告)号：CN104321273B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201380022479.2
申请日：2013-03-19
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: C01B13/11
CPC classification number: H01J37/248 , C01B13/115 , C01B2201/90
Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102339716B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201110288983.X
申请日：2004-04-12
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/32522
Abstract: 本申请涉及环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源，描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。
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公开(公告)号：CN102365705B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN200980158583.8
申请日：2009-04-13
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32009 , H01J37/321
Abstract: 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。
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公开(公告)号：CN102365705A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN200980158583.8
申请日：2009-04-13
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32009 , H01J37/321
Abstract: 描述了包括计算机程序产品的用于在活性气体发生器中激发和/或维持等离子体的方法和装置。从激发电源向等离子体激发电路提供功率。测量等离子体激发电路的预激发信号。基于测得的预激发信号与可调整的预激发控制信号之间的差异来调整提供给等离子体激发电路的功率。在经过一时段之后调整可调整的预激发控制信号。
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公开(公告)号：CN102339717A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110289004.2
申请日：2004-04-12
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/32009 , H01J37/32091 , H01J37/321 , H01J37/32449 , H01J37/32467 , H01J37/32522
Abstract: 本申请涉及环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源，描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道长度的10％。该装置可包括绝缘环形容器、具有由装有弹簧的装置压向容器的多个部分的散热片、以及在容器和散热片之间的热界面。方法可包括提供具有流速和压力的气体，并将气体流速的一部分引入容器通道。该气体在通道中点燃，同时流速的剩余部分被引离该通道。
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公开(公告)号：CN101461029A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200680053351.2
申请日：2006-12-15
Applicant: MKS仪器股份有限公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32357 , H01J37/3244 , H01J37/32449
Abstract: 用于活化和离解气体的方法和装置，该方法包括用等离子体腔室内的等离子体产生活化气体。下游气体入口相对于等离子体腔室的出口定位，以便能使活化气体促进由气体入口引入的下游气体的离解，其中，离解的下游气体基本上不与等离子体腔室的内表面互相作用。
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