公开(公告)号：CN101933225A

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200880126068.7

申请日：2008-12-22

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： S·P·纳加拉卡迪 ,  Y·巴思凯 ,  田丰 ,  I·贝斯特亚克

IPC: H03F3/191 ,  H01J37/32 ,  H03H7/40

CPC classification number: H03F3/20 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32183 ,  H03F1/565 ,  H03F3/195 ,  H03F2200/321 ,  H03F2200/387 ,  H03F2200/391 ,  H03F2200/393 ,  H03F2200/451 ,  H03H7/40 ,  Y10T307/305

Abstract: 提供一种向动态负载(260)输送功率的系统和方法。该系统包括：提供具有基本恒定的功率开环响应的DC功率的电源(210)；用于将DC功率变换成RF功率的功率放大器(220)；用于测量与RF功率相关联的电压、电流和电压与电流向量之间的相角的传感器(240)；用于将功率放大器(220)的阻抗修改为至少基本匹配的动态负载(260)阻抗的电控阻抗匹配系统(250)；以及用于控制电控阻抗匹配系统的控制器(252)。该系统还包括：用于确定由功率放大器输送的功率的传感器校准测量模块；用于确定输送给动态负载的功率的电子匹配系统校准模块；以及用于计算电控阻抗匹配系统中消耗的功率的功耗模块。