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公开(公告)号：CN118566240A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202411018417.0
申请日：2024-07-29
申请人： 柯尔微电子装备(厦门)有限公司
摘要： 本申请涉及晶圆检查技术领域，具体公开一种半自动晶圆表面检查机以及晶圆检查方法。该半自动晶圆表面检查机包括机架，以及安装在机架上的直边产品箱、直边产品定位模组、圆形产品箱、巡边对位模组、机械手、目视宏观检模组和目视微观检模组。直边产品定位模组包括直边产品支撑机构、左定位件和右定位件。左定位件和右定位件设置于直边产品支撑机构的两侧。左定位件和右定位件受驱动而相互靠近以推移产品至设定位置，也能受驱动而相互远离以放开产品。机械手能搬运产品在直边产品箱、直边产品定位模组、圆形产品箱、巡边对位模组、目视宏观检模组和目视微观检模组之间移动。使用该检查机可以改善人工目视检测自动化程度低，检测效率低的状况。
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公开(公告)号：CN117169120A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202310978113.8
申请日：2023-08-04
申请人： 柯尔微电子装备(厦门)有限公司
IPC分类号： G01N21/01
摘要： 本发明提出了一种晶圆检测平台的接料机构及其使用方法，包括谐波一体机，所述谐波一体机上设置有模组底板，所述模组底板上设置有顶升组件和接料组件，所述顶升组件与所述接料组件抵接，所述接料组件上设置有检测平台的安装板，所述接料组件可拆卸连接在所述安装板的底壁，所述谐波一体机与所述安装板可拆卸连接，当所述谐波一体机工作旋转时，带动所述接料组件和所述安装板一起转动。本发明解决了中置驱动平台旋转时，接料组件的布置问题，大大降低了检测平台的高度，简化了结构。
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公开(公告)号：CN117031797A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310908818.2
申请日：2023-07-24
申请人： 柯尔微电子装备(厦门)有限公司
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 公开了一种用于液晶面板的检测平台，包括旋转组件和载台组件，旋转组件设置于载台组件的非工作面以驱动载台组件旋转，载台组件的工作面布设有多个真空吸盘结构，载台组件包括固定载台和开合载台，开合载台包括对称设置于固定载台两侧的第一开合载台和第二开合载台，固定载台的非工作面设置有导向模组和开合电机，第一开合载台和第二开合载台的长度方向的端部分别通过两组导向模组同步连接，开合电机设置于其中一端，以驱使第一开合载台和第二开合载台同步朝向远离或靠近固定载台的方向运动。本申请可依靠载台开合模组自动开合以适应不同规格大小的液晶面板电路边检测，提高不同规格大小液晶面板的兼容性，避免频繁更换台面，减少了生产成本。
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公开(公告)号：CN109940292B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN201910390705.1
申请日：2019-05-10
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
发明人： 郑隆结
摘要： 本发明公开了一种液晶面板线路镭射切割机，包括机架、电控箱、人机界面、激光发生器箱体、工业电脑、镭射头、接料机构、上料机构、翻面机构、镭射载台机构、下料机构、中转平台、NG排片模组和出料机构，接料机构、镭射载台机构、中转平台、NG排片模组依次设置在机架上，上下料机构分别位于镭射载台机构左右两边，翻面机构设于靠近接料机构，出料机构设于且靠近中转平台；红绿两种光自由切换使用，可满足不同产品需求使用更方便，使用不受限通用性强，设备投入成本低利用率高，可正反面切割，无金属残留不损坏产品，良品率高，原料浪费少原料成本低，接料、上料、翻面、下料、出料等集合到一起并自动完成，无需人工操作干预，操作智能简捷。
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公开(公告)号：CN118866727A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410893576.9
申请日：2024-07-04
申请人： 柯尔微电子装备(厦门)有限公司
摘要： 本申请涉及一种CoWoS先进封装芯片偏移量测方法及设备，包括：提供CoWoS先进封装芯片结构，所述CoWoS先进封装芯片结构包括基板以及倒装于基板上的芯片叠层结构，所述基板上设置有第一图案特征点，所述第一图案特征点位于所述芯片叠层结构在所述基板上的正投影之外，所述芯片叠层结构中设置有第二图案特征点；利用短波红外相机获取有第一图案特征点及第二图案特征点的红外图像；基于图像算法获得第一图案特征点的第一坐标以及获得第二图案特征点的第二坐标；以及基于所述第一坐标及第二坐标与预设的参考值进行比较判断所述芯片叠层结构相对于所述基板的偏移量。该方法及设备能够高效、准确地检测半导体封装中芯片叠层结构与基板的相对偏移量。
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公开(公告)号：CN113607755B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202110989155.2
申请日：2021-08-26
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88
摘要： 公开了一种晶圆的自动检测装置，包括基座组件，其包括悬臂和底座平台，悬臂设置于底座平台上；双相机显微成像单元可升降地设置于悬臂上；XYθ轴移动平台，包括设置于底座平台上的X、Y轴移动平台和置于其上的补正平台，补正平台包括固定于X、Y轴移动平台上模组安装底板、通过旋转组件可旋转地设置于安装底板上的载台组件和二者之间的多个XYθ轴导向模组，XYθ轴导向模组包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，导向模组底板与安装底板固定，旋转模块与载台组件固定连接，其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块与驱动装置连接以推动载台组件旋转。该装置可实现快速、高效取像、提高晶圆检测速度和检测精度。
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公开(公告)号：CN117116831A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202310922106.6
申请日：2023-07-26
申请人： 柯尔微电子装备(厦门)有限公司
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/66
摘要： 本申请涉及一种用于晶圆检测的超薄补正装置及操作方法，所述超薄补正装置包括底座、真空吸附平台以及平台补正机构，所述真空吸附平台旋转设置在底座上，所述平台补正机构包括步进电机、滚珠丝杠机构、移动块、滚子以及转轴，所述步进电机和滚珠丝杠机构设置在底座上，所述驱动块与滚珠丝杠机构的一端驱动连接，所述步进电机与滚珠丝杠机构的另一端驱动连接用于驱动移动块进行直线运动，所述移动块上设置有驱动槽，所述滚子位于驱动槽内，所述转轴设置有与滚子连接的连接块，所述转轴旋转设置在底座上，且所述转轴与真空吸附平台驱动连接。本申请解决了晶圆晶粒方向与检测方向不一致问题，实现高刚性角度补正、零抖动检测。
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公开(公告)号：CN116190284B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310467865.8
申请日：2023-04-27
申请人： 柯尔微电子装备(厦门)有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 本申请涉及一种晶粒的全自动倒膜镭射一体设备及使用方法，该设备包括EFEM前端传输模块、铁圈倒膜模块、镭射模块、萃盘输送模块以及晶粒夹取模块。所述铁圈倒膜模块包括拔模夹爪、铁圈移动模块以及冲压模块，所述拔模夹爪用于夹取铁圈，所述铁圈上设置有UV膜，所述冲压模块用于控制铁圈朝向晶圆方向进行冲压以使晶粒粘着在UV膜上，所述铁圈移动模块用于将铁圈移出压合位。晶粒夹取模块用于将晶粒从铁圈倒膜模块转移至镭射模块以及将晶粒从镭射模块转移至萃盘上。本申请将产品的制作流程整合到一台设备上，通过设备内部的搬运实现了产品的传递，尽量避免了人员的手动作业，实现了便利的同时节省了时间与成本，简化生产流程提高生产效率。
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公开(公告)号：CN118519292B
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410980742.9
申请日：2024-07-22
申请人： 柯尔微电子装备(厦门)有限公司
发明人： 孙会民
摘要： 本发明具体为一种液晶面板清洗设备，涉及清洗设备技术领域，包括下箱体、上箱体以及设于下箱体中部的清洗腔，所述上箱体底部升降安装有能够适配塞入清洗腔内侧的升降箱，所述清洗腔左右两侧水平相对安装有锥形通风管道，其中一个锥形通风管道安装有离子风机，所述清洗腔中部设置有用于卡放液晶面板的活动放置机构，该活动放置机构位于两个锥形通风管道之间，通过在清洗腔内设置有活动放置机构来弹性卡放不同长度的液晶面板，其具有一定的弹性应力，有利于避免在喷洗清洁、去水干燥的过程中脱位，并减小对液晶面板两侧边的磨损和挤压损坏，也可以让液晶面板上下两侧露出更多的面积被同步和充分地清洗。
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