-
公开(公告)号：CN105451894B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201480037916.2
申请日：2014-06-10
申请人： 三键精密化学有限公司
发明人： 远藤幸一郎
CPC分类号： B05C5/0258 , B05C11/1031 , B05C11/1047
摘要： 提供形成始端及末端的形状错乱小的带状涂敷膜的涂敷装置。涂敷装置包括供给涂敷液的供给部、和涂敷部(3)，涂敷部(3)使从供给部所供给的涂敷液相对于基材以规定的宽度涂敷，涂敷部(3)具有：供给口(4)，供给涂敷液；第1缓冲室(5)，将从供给口(4)流入的涂敷液在宽度方向上分配；阻力通道(6)，相对于从第1缓冲室(5)流入的涂敷液施加比第1缓冲室(5)中的流体阻力大的流体阻力；第2缓冲室(7)，将从阻力通道(6)流入的涂敷液在宽度方向上分配；开闭阀(8)，设置在第2缓冲室(7)内部而控制从第2缓冲室(7)的上游向下游的连通和阻断；以及，狭缝喷嘴(10)，将经过开闭阀(8)而从第2缓冲室(7)流入的涂敷液相对于基材以规定的宽度吐出。
-
公开(公告)号：CN108315718A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810025484.3
申请日：2018-01-11
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458
CPC分类号： C23C16/45551 , B05C11/1031 , C23C14/042 , C23C14/228 , C23C14/26 , C23C14/505 , C23C16/402 , C23C16/45546 , C23C16/4584 , C23C16/52 , H01L21/304 , H01L21/67051 , H01L21/67126 , H01L21/68764 , H01L21/68771 , H01L21/68792
摘要： 本发明涉及基板处理装置。在一边使载置于旋转台的一面侧的作为基板的晶圆公转一边进行成膜处理时，沿晶圆的周向实施均匀的处理。设为利用旋转台(2)使在旋转台的一面侧载置晶圆的载置台(3)公转。另外，在载置台的自转轴(32)设有从动齿轮(4)，且沿该从动齿轮的公转轨道的整周设有与该从动齿轮构成磁齿轮机构的驱动齿轮(5)。利用自转用旋转机构(53)使驱动齿轮旋转，产生驱动齿轮的角速度与从动齿轮的基于公转的角速度的速度差，从而使载置台自转，因此，能在晶圆(W)的周向上使成膜处理的均匀性提高。另外，能利用驱动齿轮的角速度与从动齿轮的角速度之差容易地调整从动齿轮的自转速度。
-
公开(公告)号：CN107282365A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201610204165.X
申请日：2016-04-01
申请人： 亚克先进科技股份有限公司
CPC分类号： B05C5/0233 , B05C11/1013 , B05C11/1031
摘要： 本发明提出一种机械涂胶装置，包含基座、活塞、旋转阀及一出胶嘴。基座由上而下依序包含第一中空部、第一出胶流道、第二中空部与第二出胶流道。第一出胶流道的二端分别连通于第一中空部与第二中空部，第一出胶流道与第二出胶流道之间则被第二中空部所隔开。本发明通过插设于第二中空部的旋转阀来控制第一出胶流道与第二出胶流道之间的连通与否，借此达到避免胶液垂滴现象，此外还可借由旋转阀来调整第一出胶流道与第二出胶流道之间的开口对位程度以控制胶液流量。
-
公开(公告)号：CN103506246B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310495298.3
申请日：2013-10-21
申请人： 深圳市华星光电技术有限公司
发明人： 罗忠云
CPC分类号： B05C11/1031 , B05C5/027 , G02F1/1303 , G02F1/1339
摘要： 本发明实施例公开了一种封框胶涂布装置。该封框胶涂布装置包括固定盘、固定穿设在该固定盘中的注入管、驱动装置、转盘及多个射出管。该注入管用于注入液态封框胶。该驱动装置包括定子及从该定子延伸的转子，该转子穿过该固定盘并能够相对该固定盘转动。该转盘固定套设在该转子上并与该固定盘相对。每个射出管包括一个本体部及一个从该本体部延伸的喷嘴。该多个射出管的喷嘴的开口具有不同尺寸，该多个射出管固定穿设在该转盘内，该转子转动带动该转盘相对该固定盘转动以使该注入管选择性地与该多个射出管中的任意一个连通。
-
公开(公告)号：CN103547378A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201280024566.7
申请日：2012-03-24
申请人： 伊利诺斯工具制品有限公司
发明人： 罗伯特·W·特蕾西
CPC分类号： H01L21/6715 , B05C5/0225 , B05C5/0229 , B05C11/1031 , B05C11/1034 , H05K13/0469
摘要： 一种标定具有在可变行程距离上可移动的致动器类型的分配器（10）的方法包括通过在多个行程距离之一上移动致动器而从分配器（10）分配一些粘性材料，称重粘性材料的量，重复进行对多个行程距离的每一个的分配与称重动作，并且使用用户界面装置（28）向用户显示每个分配的量的重量。
-
公开(公告)号：CN106955822A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710358197.X
申请日：2017-05-19
申请人： 成都西屋科技发展有限公司
发明人： 邓洛亦
IPC分类号： B05C11/10
CPC分类号： B05C11/1031 , B05C11/1007
摘要： 本发明公开了一种前置单组分计量涂胶装置，包括滑阀和计量缸，滑阀包括阀体和阀杆，阀体和阀杆之间设有上通道和下通道，阀体设有滑阀进料端入口、滑阀进料端出口、滑阀出料端入口和滑阀出料端出口，计量缸包括计量杆、步进电机和缸体，缸体侧壁与滑阀连接，缸体上设置有计量缸入口和计量缸出口，计量缸入口与滑阀进料端出口连通，计量缸出口与滑阀出料端入口连通；计量杆包括旋转杆和压杆，旋转杆和压杆螺纹连接，旋转杆顶部与步进电机的转轴连接，压杆下端卡入缸体内腔。本发明前置单组分计量涂胶装置前置安装，具有结构简单、胶体输出的稳定性强、计量精度高的技术效果。
-
公开(公告)号：CN103547378B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201280024566.7
申请日：2012-03-24
申请人： 伊利诺斯工具制品有限公司
发明人： 罗伯特·W·特蕾西
CPC分类号： H01L21/6715 , B05C5/0225 , B05C5/0229 , B05C11/1031 , B05C11/1034 , H05K13/0469
摘要： 一种标定具有在可变行程距离上可移动的致动器类型的分配器（10）的方法包括通过在多个行程距离之一上移动致动器而从分配器（10）分配一些粘性材料，称重粘性材料的量，重复进行对多个行程距离的每一个的分配与称重动作，并且使用用户界面装置（28）向用户显示每个分配的量的重量。
-
公开(公告)号：CN105451894A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480037916.2
申请日：2014-06-10
申请人： 三键精密化学有限公司
发明人： 远藤幸一郎
CPC分类号： B05C5/0258 , B05C11/1031 , B05C11/1047
摘要： 提供形成始端及末端的形状错乱小的带状涂敷膜的涂敷装置。涂敷装置包括供给涂敷液的供给部、和涂敷部(3)，涂敷部(3)使从供给部所供给的涂敷液相对于基材以规定的宽度涂敷，涂敷部(3)具有：供给口(4)，供给涂敷液；第1缓冲室(5)，将从供给口(4)流入的涂敷液在宽度方向上分配；阻力通道(6)，相对于从第1缓冲室(5)流入的涂敷液施加比第1缓冲室(5)中的流体阻力大的流体阻力；第2缓冲室(7)，将从阻力通道(6)流入的涂敷液在宽度方向上分配；开闭阀(8)，设置在第2缓冲室(7)内部而控制从第2缓冲室(7)的上游向下游的连通和阻断；以及，狭缝喷嘴(10)，将经过开闭阀(8)而从第2缓冲室(7)流入的涂敷液相对于基材以规定的宽度吐出。
-
公开(公告)号：CN103506246A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310495298.3
申请日：2013-10-21
申请人： 深圳市华星光电技术有限公司
发明人： 罗忠云
CPC分类号： B05C11/1031 , B05C5/027 , G02F1/1303 , G02F1/1339
摘要： 本发明实施例公开了一种封框胶涂布装置。该封框胶涂布装置包括固定盘、固定穿设在该固定盘中的注入管、驱动装置、转盘及多个射出管。该注入管用于注入液态封框胶。该驱动装置包括定子及从该定子延伸的转子，该转子穿过该固定盘并能够相对该固定盘转动。该转盘固定套设在该转子上并与该固定盘相对。每个射出管包括一个本体部及一个从该本体部延伸的喷嘴。该多个射出管的喷嘴的开口具有不同尺寸，该多个射出管固定穿设在该转盘内，该转子转动带动该转盘相对该固定盘转动以使该注入管选择性地与该多个射出管中的任意一个连通。
-
公开(公告)号：CN107029939A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201610890972.1
申请日：2016-10-12
申请人： 波音公司
IPC分类号： B05C5/02
CPC分类号： B05C5/0225 , A46B11/06 , A46B2200/20 , B05C5/02 , B05C5/0216 , B05C5/0237 , B05C11/1007 , B05C11/1013 , B05C11/1031 , B05C17/00506 , B05D1/26 , B05D7/24
摘要： 公开了一种用于从末端执行器(101)向工件(170)传送粘性物质(168)的涂敷器(102)及方法。涂敷器(102)包括本体(110)和柱塞(186)。柱塞(186)包括闸门(118)，该闸门能在本体(110)的第一通道(115)的出口部分(182)内在允许粘性物质(168)从第一通道(115)的入口(116)流动至第一通道(115)的出口(117)的打开位置与防止粘性物质(168)从第一通道(115)的入口(116)流动至第一通道(115)的出口(117)的关闭位置之间(包含打开位置和关闭位置)移动。涂敷器(102)还包括致动器(131)，该致动器可选择性地操作以移动柱塞(186)使得闸门(118)在打开位置与关闭位置之间(包含打开位置和关闭位置)移动。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
19 条记录 (耗时 0.015 秒)