一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法

    公开(公告)号:CN106548925A

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:CN201610950046.9

    申请日:2016-11-02

    IPC分类号: H01L21/02 B24B33/00 B24B9/16

    CPC分类号: H01L21/02 B24B9/16 B24B33/00

    摘要: 一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法,在吸片台上进行,包括以下步骤:(1)将吸片台表面用蘸有无水乙醇的无尘纸擦拭干净;(2)将中心厚度与边缘厚度的差值大于10μm的蓝宝石衬底放置在吸片台上;(3)将衬底吸附在吸片台上;(4)使蓝宝石衬底旋转;(5)用油石对衬底边缘进行磨边,磨边后使蓝宝石衬底的中心厚度与边缘厚度的差值不大于10μm;(6)将蓝宝石衬底取下;(7)去离子水中超声清洗;(8)去离子水中清洗(;9)烘干。该方法操作简单、易实现、成本低、效率高,主要针对中心与边缘厚度差超过10μm的蓝宝石衬底,可有效降低翘曲度,改善后续减薄质量,降低边缘掉边及裂片异常,提高产品良率。

    一种水晶坯件自动磨抛系统

    公开(公告)号:CN103273397B

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201310245178.8

    申请日:2013-06-18

    发明人: 虞卫东

    IPC分类号: B24B9/16

    CPC分类号: B24B9/16

    摘要: 本发明公开了一种水晶坯件自动磨抛系统,包括第一左右转移机构和第二左右转移机构,沿第一左右转移机构自左向右依次排列设置有上下料工位、多个上半球磨抛工位和对接工位,沿第二左右转移机构自右向左依次排列设置有对接工位、多个下半球磨抛工位和上下料工位;上下料工位上设有上下料机械,磨抛工位上均设有磨抛机械,对接工位上设有对接机械,每个左右转移机构包括多个转移机械手和一左右直线延伸的轨道;上下料机械、磨抛机械和对接机械上用于安装夹具的夹具座沿夹具长度方向左右成排设置,转移机械手沿夹具长度方向推动夹具在左右相邻的夹具座之间滑移。本技术方案结构更加合理、动作更加简单、成本更低、运行更加可靠、效率更高。

    多工位全角度自动化数控高效率水晶磨面机

    公开(公告)号:CN103949951A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201410170587.0

    申请日:2014-04-26

    发明人: 吴增潭

    IPC分类号: B24B9/16 B24B41/06 B24B47/22

    摘要: 多工位全角度自动化数控高效率水晶磨面机,包括机架、主轴总成、装夹机构、拖架、磨盘、水盘、工作固定头、磨面角度调整机构、动力输出系统、数控系统,在装夹机构上的蜗杆上增设连接轴,连接轴上连接有换面电机座和换面步进电机,换面步进电机由电脑控制;所述磨面角度调整机构包括正反蜗杆、大蜗轮,大蜗轮通过定位轴、正反蜗杆与铝排底板连接。本发明增设磨盘自动进给补偿装置、磨面角度调整机构结构、机电动平衡在线监控系统动力传送方式,使磨盘升降更趋稳定,实现机械误差自动进给补偿,磨削角度定位更精确,产品处于机电动平衡状态,水晶产品磨削精度更高;改进了装夹机构,增设机架自动旋转结构,使设备实现360°多工序、多工位磨削,在磨盘稳定的自动升降的同时,进一步减少人工操作时间,减少换盘、装卸产品的时间,提高水晶工件处理量。

    用于机械处理金刚石的方法和装置

    公开(公告)号:CN101848791B

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN200880114713.3

    申请日:2008-11-05

    IPC分类号: B24B9/16 B24B31/00 B24B7/20

    CPC分类号: B24B7/22 B24B9/16 B24B37/042

    摘要: 用于通过机械部件(3)来处理金刚石(1)的表面(5)的方法和装置,该机械部件(3)相对于金刚石(1)的表面(5)运动,其中,未约束的金刚砂(2)位于机械部件(3)和金刚石(1)的表面(5)之间,机械部件(3)使得金刚砂(2)在金刚石(1)的表面(5)上进行滚转运动,这样,金刚砂(2)相对于机械部件(3)和金刚石(1)的表面(5)运动,机械部件(3)通过金刚砂(2)与金刚石(1)的表面(5)进行机械接触,该机械接触有接触长度(8),在该接触长度上,金刚砂(2)主要根据机械部件(3)相对于金刚石(1)的表面(5)的相对运动的方向而在金刚石(1)的表面(5)上滚转,金刚砂(2)在滚转时通过机械部件(3)的支承而压入金刚石(1)的表面(5)中,因此在金刚石的表面(5)中产生微观裂缝(6),然后,该金刚石表面将逐渐破碎。

    水晶坯件自动磨抛系统及其辅助机械

    公开(公告)号:CN102240943A

    公开(公告)日:2011-11-16

    申请号:CN201110188784.1

    申请日:2011-07-06

    发明人: 虞卫东

    IPC分类号: B24B9/16

    CPC分类号: B24B9/16

    摘要: 本发明涉及一种水晶坯件自动磨抛系统,包括:第一旋转架,环绕第一旋转架设置有磨削工位和抛光工位,第一旋转架能够转动和定位并设置有至少两个机头;上料工位;下料工位;以及,至少一个能够拾取和放下夹具并能够将其在上料工位、下料工位以及第一旋转架上的机头之间进行转移的转移机构;其中,磨削工位上设有磨削机构,抛光工位上设有抛光机构。还公开了上述系统使用的辅助机械。本技术方案不仅可以实现水晶坯件一个半球斜面的全自动磨抛加工,保证磨抛加工质量,而且可以充分利用现有机型优点,简化机构动作复杂程度,易于制造及维护。

    用于抛光金刚石和金刚石复合体的方法和设备

    公开(公告)号:CN101500751A

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200780029428.7

    申请日:2007-06-22

    申请人: 悉尼大学

    IPC分类号: B24B9/16 B24B7/00

    CPC分类号: B24B9/16 B24B7/00

    摘要: 本发明公开了一种用于抛光金刚石材料的方法和设备。该方法包括如下步骤:将金刚石材料样品相对于可动的金属表面进行定位;使金刚石材料样品与可动的该金属表面接触,并使该金属表面的运动和该金刚石材料样品的旋转同时进行。可将两个或多个金刚石材料样品围绕以金属表面的运动轴线为圆心的假想圆的圆周均匀地间隔布置,以与可动的该金属表面接触,同时使金属表面相对于其轴线运动。该设备可包括:驱动装置,其设置为实现这种运动;以及提升及放置机构,其用以限制样品的运动。

    新型激光打磨机
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1717298A

    公开(公告)日:2006-01-04

    申请号:CN03823902.7

    申请日:2003-07-18

    IPC分类号: B24B9/16 B23K26/00 B28D5/00

    摘要: 本发明公开了一种新型激光打磨机,其主要由三部分组成:(i)钻石支架(8)、(ii)设置装置(3)以及(iii)加工装置(4)。钻石支架(8)由未加工钻石(5)、粘合模(6)以及磁性模(7)组成。而且,将被定中和打磨的未加工钻石(5)通过粘合剂和加热而粘接在粘合模(6)的顶部。然后,将该粘合模(6)固定在磁性模(7)的顶部。设置装置(3)由计算机数控接口和视频系统组成。将被定中并然后被打磨的未加工钻石(5)竖直地放置在机动化转动平台(11)上。在完成对未加工钻石的定中以后,钻石支架(8)被送至加工装置(4)并水平地固定在加工装置(4)的机动化转动平台(23)上。加工装置(4)由计算机数控接口、热交换器(25)、视频系统、光束传送装置(26)、激光源(27)、射频-Q开关驱动器(28)、电源(29)以及稳定器组成。加工装置(4)的光束传送装置(26)由(i)打磨加工系统(54)和(ii)腰缘抛光系统(55)组成。计算机与标准软件一起给出最佳切割的建议,从而使钻石具有将尺寸和形状均考虑在内的精确倒圆形状。

    金刚石表面的研磨方法及实施该研磨方法的装置

    公开(公告)号:CN107427985B

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201680013253.X

    申请日:2016-03-03

    IPC分类号: B24B21/00 B24B9/16

    CPC分类号: B24B9/16 B24B21/00

    摘要: 本发明的课题在于提供一种研磨方法,其在利用含有金属或金属氧化物的研磨部件对被研磨物的金刚石表面进行研磨的方法中,解决引起研磨不均或基材露出的问题,不会对被研磨物的形状、金刚石的结晶尺寸造成影响地实现均匀的研磨。本发明的金刚石表面的研磨方法通过使至少含有金属或金属氧化物的所谓线状或者带状的长条形状的研磨部件揉搓其表面由金刚石形成的被研磨物从而进行研磨,该金刚石表面研磨方法的特征在于,根据揉搓部的所述研磨部件的材质和/或所述被研磨物的形状、金刚石的结晶尺寸,对所述研磨部件的按压力进行控制,以使得加工区域的接触面压力均匀。

    用于打磨过程中的钻石承托索套及钻石加工方法

    公开(公告)号:CN108942504A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810686936.2

    申请日:2018-06-28

    发明人: 王锦添 黄颖诗

    IPC分类号: B24B9/16 B24B27/00

    摘要: 本发明提供一种用于打磨过程中的钻石承托索套,包括柱体底座及外套筒,柱体底座包括柱形主体,柱形主体分为了上部柱体及下部柱体;柱体主体的顶部设有钻石置放位;外套筒套设在上部柱体外且与上部柱体过渡配合;外套筒的顶部边缘为截面成外凸弧状的边缘;外套筒的高度小于所述上部柱体的钻石置放位的外壁面以下部位的高度。本发明还提供一种钻石加工方法。将的钻石承托索套安装在摆石机上,再将待磨实体圆钻安装在钻石置放位上,配合摆石机及精磨软件的使用,可以获得在自动磨石机进行圆钻的风筝面打磨的磨面角度;并且配合本发明的钻石承托索套的使用,可以直接在自动磨石机上进行圆钻风筝面精磨,从而提高了整体的生产效率。