一种电子束激发荧光大范围直接探测成像装置及其方法

    公开(公告)号:CN108279247A

    公开(公告)日:2018-07-13

    申请号:CN201611261465.8

    申请日:2016-12-30

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 朱瑞 徐军 刘亚琪

    Abstract: 本发明公开了一种电子束激发荧光大范围直接探测成像装置及其方法。本发明的成像装置包括:扫描电子显微镜系统、扫描信号发生器、荧光收集耦合系统、半导体光探测器、扫描同步信号采集器、协同控制与数据处理输出系统;本发明采用模块化的构架,各模块的配置调整及后续升级非常灵活便利;通过引入半导体光探测器的大面积半导体光电探测芯片,使得在扫描电子显微镜系统在大成像视野范围内所激发的荧光均能够以相同的高收集效率会聚耦合至半导体光探测器,解决了大范围荧光扫描成像所得到的图像难以使用统一的标准来测算和比较不同位置处的荧光激发强度或荧光激发产率的问题,能够完成基于电子束激发荧光信号的大范围快速检测分析。

    激光能测量装置与激光加工装置

    公开(公告)号:CN101274391B

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN200810084084.6

    申请日:2008-03-26

    CPC classification number: G01J1/0455 B23K26/705 G01J1/04 G01J1/4257

    Abstract: 本发明的课题在于拓宽激光光能的测量范围。根据本发明,激光能测量装置(32)具备:设置在激光(2b)的光路中并使上述激光(2b)的光能衰减的滤光器(21);对通过上述滤光器(21)的激光(2b)的光能进行测量的运算部(19);以及配设在滤光器(21)之前并将激光(2b)聚光在运算部(19)上的聚光镜(17)。滤光器(21)在与激光(2b)的中心一致的位置上具备阻止激光(2b)中心部分通过的遮挡部(21a)。激光(2b)被遮挡部(21a)切除掉能量较大的中心部分,并通过运算部(19)来测量能量不太大的部分。由此可以拓宽激光的光能测量范围。

    光能辅助矫正装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107515042A

    公开(公告)日:2017-12-26

    申请号:CN201710798772.8

    申请日:2017-09-07

    CPC classification number: G01J1/00 G01J1/0455 G05D25/02

    Abstract: 本发明创造公开了一种光能辅助矫正装置,包括:能量检测单元、控制单元、数据显示单元;能量检测手段能量检测单元包括:保护外壳、能量检测仪、滤光板,能量检测手段滤光板为中心设置有通光孔的板件;能量检测手段保护外壳包括:盒体、检测盖、挡光盖;能量检测手段控制单元包括:处理芯片、控制电路、控制面板;能量检测手段能量检测仪、能量检测手段处理芯片、能量检测手段控制面板、能量检测手段数据显示单元均与能量检测手段处理芯片连接。本发明创造基于光能检测手段,结合能量检测仪、数据显示单元、控制面板,完成光能检测、数据反馈以及辅助矫正的功能。

    激光能测量装置与激光加工装置

    公开(公告)号:CN101274391A

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200810084084.6

    申请日:2008-03-26

    CPC classification number: G01J1/0455 B23K26/705 G01J1/04 G01J1/4257

    Abstract: 本发明的课题在于拓宽激光光能的测量范围。根据本发明,激光能测量装置(32)具备:设置在激光(2b)的光路中并使上述激光(2b)的光能衰减的滤光器(21);对通过上述滤光器(21)的激光(2b)的光能进行测量的运算部(19);以及配设在滤光器(21)之前并将激光(2b)聚光在运算部(19)上的聚光镜(17)。滤光器(21)在与激光(2b)的中心一致的位置上具备阻止激光(2b)中心部分通过的遮挡部(21a)。激光(2b)被遮挡部(21a)切除掉能量较大的中心部分,并通过运算部(19)来测量能量不太大的部分。由此可以拓宽激光的光能测量范围。

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