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公开(公告)号：CN117242025A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202280032456.9
申请日：2022-04-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: B65H20/14
Abstract: 描述了一种用于传输柔性基板(10)的辊(100)。辊(100)包括主体(101)，其具有设置在主体(101)的外表面(102)中的多个气体供应狭缝(103)。多个气体供应狭缝(103)在辊(100)的中心旋转轴线(111)的方向上延伸。此外，辊(100)包括被设置为周向地围绕主体(101)并与主体(101)接触的套筒(104)。套筒(104)具有设置在多个气体供应狭缝(103)的上方的多个气体出口(105)。此外，套筒(104)包括嵌入在隔离材料内的金属层(106)。
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公开(公告)号：CN110527972B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN201910765172.0
申请日：2016-05-18
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 提供一种用于非接触式运输沉积源的设备。设备包括沉积源组件。沉积源组件包括沉积源。沉积源组件包括第一主动磁性单元。设备包括在源运输方向上延伸的引导结构。沉积源组件沿引导结构是可移动的。第一主动磁性单元与引导结构经构造以用于提供第一磁浮力以悬浮沉积源组件。
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公开(公告)号：CN112458404A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011030871.X
申请日：2016-05-10
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 斯蒂芬·班格特 , 德烈亚斯·勒普 , 哈拉尔德·沃斯特 , 迪特尔·哈斯
Abstract: 提供了一种操作沉积设备之方法。所述方法包括：通过从蒸发源(20)的一个或多个出口(22)导引蒸发的源材料朝向基板(10)而在基板(10)上沉积蒸发的源材料，其中部分的蒸发的源材料由屏蔽装置(30)阻挡并且附接于所述屏蔽装置，所述屏蔽装置布置在一个或多个出口(22)和基板(10)之间；接着通过至少局部地加热屏蔽装置(30)来清洁屏蔽装置(30)，以用于从屏蔽装置(30)释放至少部分的附接的源材料。根据另一方面，提供沉积设备，所述沉积设备可根据所述的方法操作。
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公开(公告)号：CN112204164A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201880093518.0
申请日：2018-05-29
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 塞巴斯蒂安·巩特尔·臧 , 斯蒂芬·班格特 , 栗田真一 , 于尔根·亨里奇 , 安德里亚斯·索尔
IPC: C23C14/04 , C23C14/56 , H01L21/677
Abstract: 描述一种在真空系统中处理掩模的方法。所述方法包括(a)在真空系统中沿着传送路径以非水平定向(V)传送运载第一掩模(11)的掩模载体(10)；(b)将运载第一掩模(11)的掩模载体(10)的定向从非水平定向(V)改变为基本上水平的定向(H)；和(c)从在真空系统中以基本上水平定向(H)布置的掩模载体(10)卸载第一掩模(11)。根据另外的方面，描述一种真空系统，包括掩模处理模块，所述掩模处理模块用于处理掩模。(图1C)。
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公开(公告)号：CN111441015A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN202010001262.5
申请日：2013-12-06
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乌韦·许斯勒 , 斯蒂芬·班格特 , 卡尔·阿尔伯特·凯姆 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波
Abstract: 本发明揭露一种用于蒸发材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，所述材料包括碱金属或碱土金属。沉积装置包含：第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使材料液化，其中第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入第一腔室；蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；管线，提供第一腔室与蒸发区域之间的用于液化的材料的流体连通，其中管线包含第一部分，所述第一部分限定管线的流动阻力；阀，所述阀被配置为用于控制第一腔室中的气体的流率而用于控制通过具有所述流动阻力的管线的液化的材料的流率；及一或多个出口，用于将蒸发的材料引向基板。
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公开(公告)号：CN110494587A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201880003483.7
申请日：2018-03-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 塞巴斯蒂安·巩特尔·臧 , 马蒂亚斯·赫曼尼斯 , 托马索·维尔切斯 , 斯蒂芬·班格特
Abstract: 本公开内容提供了一种处理基板的方法。所述方法包括：将具有多个沉积开口(21)的掩模运输到处理腔室中；将具有背面图案(11)的基板运输到所述处理腔室中；使所述基板(10)相对于所述掩模(20)对准(780)；和用光学检查装置(440)来至少局部地检查(790)所述多个沉积开口(21)与所述背面图案(11)之间的偏移。
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公开(公告)号：CN109154066A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201680085495.X
申请日：2016-05-18
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 提供一种用于非接触式运输沉积源的设备。设备包括沉积源组件。沉积源组件包括沉积源。沉积源组件包括第一主动磁性单元。设备包括在源运输方向上延伸的引导结构。沉积源组件沿引导结构是可移动的。第一主动磁性单元与引导结构经构造以用于提供第一磁浮力以悬浮沉积源组件。
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公开(公告)号：CN108431294A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201680071483.1
申请日：2016-12-12
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 迪特尔·哈斯 , 斯蒂芬·班格特 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 佩曼·哈米吉尔 , 克里斯托弗·于尔根·汉森
CPC classification number: C23C14/54 , C23C14/547 , G01B11/0625 , G01B11/0683
Abstract: 本公开内容提供一种用于在基板(10)上沉积材料的设备(100)。设备(100)包括真空腔室(110)；至少一个沉积源(120)，位于真空腔室(110)中；塑形装置(130)，位于所述至少一个沉积源(120)处，其中塑形装置(130)经构造以阻挡至少一部分从所述至少一个沉积源(120)发射的材料；和摄影机装置(140)，位于真空腔室(110)中，其中摄影机装置(140)经构造以监视塑形装置(130)上的材料累积。
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公开(公告)号：CN108291291A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680070126.3
申请日：2016-10-25
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: C23C14/546 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24
Abstract: 描述一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件(100)。测量组件(100)包括：第一振荡晶体(110)，用于测量沉积率；第二振荡晶体(120)，用于测量沉积率；和可移动遮板(140)。可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第一测量出口(151)提供的已蒸发材料，第一测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第一振荡晶体(110)。另外，可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第二测量出口(152)提供的已蒸发材料，第二测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第二振荡晶体(120)。
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公开(公告)号：CN108027348A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201580080071.X
申请日：2015-09-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 德烈亚斯·勒普 , 乌韦·许斯勒 , 斯蒂芬·班格特
IPC: G01N29/02 , C23C14/54 , G01N29/24 , H01L41/113
Abstract: 描述一种用于测量已蒸发的材料的沉积速率的测量组件(100)。测量组件(100)包括：振荡晶体(110)，用于测量沉积速率；测量出口(150)，用于将已蒸发的材料提供到振荡晶体(110)；以及磁性关闭机构(160)，被配置为用于通过磁力而打开和关闭测量出口(150)。
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