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公开(公告)号：CN107002221B
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201480083241.5
申请日：2014-11-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 斯蒂芬·班格特 , 安德烈亚斯·勒普 , 托马斯·格比利 , 乌韦·许斯勒 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波
IPC: C23C14/12 , C23C14/24 , C23C16/455 , C23C14/04 , H05B33/10
Abstract: 描述一种用于在真空腔室(110)中将已蒸发的材料沉积在基板(121)上的材料沉积布置(100)。所述材料沉积布置包括两个材料沉积源(100a、100b)，它们各自具有分配管道(106a、106b)和一或多个喷嘴(712)。另外，描述一种包括材料沉积布置的真空沉积腔室、以及一种用于在真空沉积腔室中将已蒸发的材料沉积在基板上的方法。
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公开(公告)号：CN104662692B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201380048668.7
申请日：2013-09-13
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 法提赫·梅尔特·厄兹凯斯金 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波
CPC classification number: H01L21/268 , H01L21/0217 , H01L21/321 , H01L21/67092 , H01L51/0021 , H01L51/0023 , H01L51/5206 , H01L51/5221
Abstract: 本文中描述用于处理基板的方法。用于从基板去除层的方法可包括：将基板定位于处理腔室内，其中所述基板可包括上表面和形成在所述上表面上的具有分离能量的一或多个金属特征结构；在一或多个金属特征结构和上表面的经暴露部分上方形成层；将透射性辐射能量源聚焦于层处；使基板的上表面处的透射性辐射能量呈脉冲形式传输，从而产生层的经分离部分和经附接部分；以及去除层的经分离部分。
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公开(公告)号：CN107615557A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201580079884.7
申请日：2015-05-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 安科·赫尔密西 , 托马斯·沃纳·兹巴于尔 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 斯特凡·凯勒 , 格奥尔·约斯特
IPC: H01M10/0585 , H01M10/04 , H01M4/139
CPC classification number: H01M4/1395 , H01M4/0423 , H01M4/0426 , H01M4/382 , H01M4/405 , H01M6/40 , H01M10/052 , H01M10/0585
Abstract: 本公开内容提供一种制造薄膜电池中的锂沉积工艺中使用的掩蔽装置(100)。掩蔽装置(100)包括由金属或金属合金制成的掩模部分(110)、和在掩模部分(110)中的一个或多个开口(120)，其中一个或多个开口(120)经构造以允许沉积材料的颗粒穿过掩模部分(110)，而且其中一个或多个开口(120)中的每个开口的尺寸为至少0.5cm2。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107002232A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201480083694.8
申请日：2014-11-26
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乌韦·许斯勒 , 斯蒂芬·班格特 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 安德烈亚斯·勒普
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/542 , F27D5/0037
Abstract: 一般来说，本公开内容涉及用于沉积材料的系统、设备和方法。特别是，本公开内容涉及用于蒸发源材料的坩锅。所述坩锅具有壁，所述壁具有内表面，所述内表面围绕内部容积，所述内部容积用于容纳源材料和一个或多个热传输元件，所述一个或多个热传输元件布置在坩锅的内部容积中。
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公开(公告)号：CN110168135B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201780082884.1
申请日：2017-01-12
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尼尔·莫里森 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 海克·兰特格雷夫 , 斯蒂芬·海因 , 托比亚斯·斯托利
Abstract: 描述一种适用于在触控屏幕面板中使用的硬涂层系统(100)。硬涂层系统(100)包括柔性基板(101)及设置于柔性基板(101)上的层堆叠物(110)。层堆叠物(110)包括粘附促进层(111)及无机硬涂顶层(113)，粘附促进层设置于柔性基板(101)上。粘附促进层(111)构造成以共价键结合于柔性基板的表面，其中粘附促进层(111)在与柔性基板(101)的界面(102)处的机械性质适用于柔性基板(101)的机械性质。
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公开(公告)号：CN112458404A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011030871.X
申请日：2016-05-10
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 斯蒂芬·班格特 , 德烈亚斯·勒普 , 哈拉尔德·沃斯特 , 迪特尔·哈斯
Abstract: 提供了一种操作沉积设备之方法。所述方法包括：通过从蒸发源(20)的一个或多个出口(22)导引蒸发的源材料朝向基板(10)而在基板(10)上沉积蒸发的源材料，其中部分的蒸发的源材料由屏蔽装置(30)阻挡并且附接于所述屏蔽装置，所述屏蔽装置布置在一个或多个出口(22)和基板(10)之间；接着通过至少局部地加热屏蔽装置(30)来清洁屏蔽装置(30)，以用于从屏蔽装置(30)释放至少部分的附接的源材料。根据另一方面，提供沉积设备，所述沉积设备可根据所述的方法操作。
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公开(公告)号：CN111441015A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN202010001262.5
申请日：2013-12-06
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 乌韦·许斯勒 , 斯蒂芬·班格特 , 卡尔·阿尔伯特·凯姆 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波
Abstract: 本发明揭露一种用于蒸发材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，所述材料包括碱金属或碱土金属。沉积装置包含：第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使材料液化，其中第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入第一腔室；蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；管线，提供第一腔室与蒸发区域之间的用于液化的材料的流体连通，其中管线包含第一部分，所述第一部分限定管线的流动阻力；阀，所述阀被配置为用于控制第一腔室中的气体的流率而用于控制通过具有所述流动阻力的管线的液化的材料的流率；及一或多个出口，用于将蒸发的材料引向基板。
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公开(公告)号：CN110177683A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201780083056.X
申请日：2017-01-12
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 尼尔·莫里森 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 海克·兰特格雷夫 , 斯蒂芬·海因 , 托比亚斯·斯托利
IPC: B32B15/08 , B32B27/10 , B32B27/28 , B32B27/30 , B32B27/32 , B32B27/36 , B32B27/40 , B32B29/00 , C23C16/30 , B32B15/082 , B32B15/085 , B32B15/09 , B32B15/095 , B32B23/00 , B32B23/04
Abstract: 在此描述一种阻挡层系统(100)，适用于使用在光电装置中。所述阻挡层系统包含：柔性基板(101)；第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)，其中第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)构造成具有对于水/氧渗透的阻挡性质。此外，所述阻挡层系统包含设置在第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)之间的聚合缓冲层(115)，其中聚合缓冲层(115)构造成用以增加第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)之间的渗透路径长度。
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