热管理系统
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103460153A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201280016706.6

    申请日:2012-03-23

    申请人: 微软公司

    发明人: D·易

    IPC分类号: G05D23/20

    CPC分类号: G05D23/192

    摘要: 本发明公开了选择性地热隔离和热连接目标部件的热管理系统和相关方法的各个实施例。系统的一个实施例包括具有接近目标部件的第一表面的第一部件、以及第一表面与目标部件之间的电磁体。第二部件同第一部件间隔开以形成充当第一和第二部件之间的热边界的间隙。部署在间隙内的载液包括多个导热铁颗粒。载液被配置为在电磁体生成吸引颗粒的磁场时排列导热铁颗粒的至少一部分、以及在电磁体生成排斥颗粒的磁场时将颗粒的至少一部分移位。

    温度控制方法以及等离子体处理系统

    公开(公告)号:CN102736648B

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201210091617.X

    申请日:2012-03-30

    发明人: 松土龙夫

    IPC分类号: G05D23/30 G01K11/32 H01J37/32

    摘要: 本发明提供一种温度控制方法以及等离子体处理系统,能够高精确度地控制晶圆(W)的温度。温度控制方法的特征在于,具备以下步骤:获取步骤,获取晶圆(W)的背面膜的种类的测量结果;选择步骤,从将向腔室内投入的能量、背面膜的种类以及晶圆(W)的温度相对应地进行了存储的第一数据库(330),选择与作为上述测量结果的晶圆(W)的背面膜的种类和为了对上述晶圆(W)进行处理而投入的能量对应的晶圆(W)的温度;以及调整步骤,根据所选择的上述晶圆(W)的温度,调整上述晶圆(W)的温度。

    热水供给系统在低流量使用时控制热水温度的方法

    公开(公告)号:CN102066848A

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN200880129847.2

    申请日:2008-12-26

    发明人: 金容范 金思焕

    IPC分类号: F24D19/10

    摘要: 本发明涉及一种热水供给系统以低流量使用热水时控制热水温度的方法。该热水供给系统包括:流量传感器,换热器,水箱,温度传感器,具有输入单元的控制器,及泵,该泵安装在连接形成于出口管线的第一分叉点和形成于入口管线的第二分叉点的管线上。该方法包括:使用流量传感器测量流入热水供给系统中的水的流量;当测得的流量为水供给系统的运行流量或更低时,控制器停止加热装置的燃烧后,使用所述泵经由内部循环路径预热循环热水供给系统中的水,所述内部循环路径连接所述第一分叉点、所述第二分叉点和所述换热器;使用温度传感器测量循环水的温度;和将高于用户设定温度的预定温度设定为预热循环关闭温度,将低于用户设定温度的预定温度设定为预热循环开启温度,然后使用控制器,当温度传感器测量的温度为所述预热循环开启温度或等低时,开启加热装置的运行,当温度传感器测量的温度为所述预热循环关闭温度或更高时,停止加热装置的运行。

    恒温液循环装置及该装置的温度控制方法

    公开(公告)号:CN100470435C

    公开(公告)日:2009-03-18

    申请号:CN200610141440.4

    申请日:2006-09-29

    申请人: SMC株式会社

    IPC分类号: G05D27/02 G05D23/19 G05D7/06

    CPC分类号: G05D23/192

    摘要: 本发明是在恒温液循环装置中减小外部装置热负荷变动引起的循环液温度变化幅度,使外部装置的性能稳定化。在利用泵14来输送恒温循环液的管路12的送出口12a和返回口12b处,在外部装置2的连接循环液配管3的恒温液循环装置1中,在上述管路中,设置流量传感器15、用于检测从该管路来的循环液的送出温度(T1)和循环液的返回温度(T2)的温度传感器16、17,按照根据这些输出而求出的外部装置的热负荷,利用控制器18,来控制循环液的流量和温度。该控制,在送出和返回温度的差小于设定值的情况下,利用循环液温度控制来适应该热负荷;在该温度差大于设定值的情况下,除了上述温度控制外,还对外部装置的配管增加循环液流量,使其适应上述热负荷。

    热管理系统
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103460153B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201280016706.6

    申请日:2012-03-23

    发明人: D·易

    IPC分类号: G05D23/20

    CPC分类号: G05D23/192

    摘要: 公开了选择性地热隔离和热连接目标部件的热管理系统和相关方法的各个实施例。系统的一个实施例包括具有接近目标部件的第一表面的第一部件、以及第一表面与目标部件之间的电磁体。第二部件同第一部件间隔开以形成充当第一和第二部件之间的热边界的间隙。部署在间隙内的载液包括多个导热铁颗粒。载液被配置为在电磁体生成吸引颗粒的磁场时排列导热铁颗粒的至少一部分、以及在电磁体生成排斥颗粒的磁场时将颗粒的至少一部分移位。

    用于传热的文丘里管
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101268430A

    公开(公告)日:2008-09-17

    申请号:CN200680026899.8

    申请日:2006-06-23

    摘要: 为了将热量从热源传递到高温散热器,热泵消耗功率。本发明能自发地将热量从热源传递到被伯努利效应局部冷却到低于热源温度的温度的通常较温暖的工作流体的一小部分。伯努利效应发生于被成型为维持层流的文丘里管成形管内。通过将热量传递限制到文丘里管的小部分内可改进热量-传递效率,在该文丘里管的小部分内流动物温度、速度、压力梯度和努谢尔特效应均增强热量传递。在该区域内,借助于延伸横过文丘里管颈部的导热格栅可使热量传递最大。

    恒温液循环装置及该装置的温度控制方法

    公开(公告)号:CN1940799A

    公开(公告)日:2007-04-04

    申请号:CN200610141440.4

    申请日:2006-09-29

    申请人: SMC株式会社

    IPC分类号: G05D27/02 G05D23/19 G05D7/06

    CPC分类号: G05D23/192

    摘要: 本发明是在恒温液循环装置中减小外部装置热负荷变动引起的循环液温度变化幅度,使外部装置的性能稳定化。在利用泵14来输送恒温循环液的管路12的送出口12a和返回口12b处,在外部装置2的连接循环液配管3的恒温液循环装置1中,在上述管路中,设置流量传感器15、用于检测从该管路来的循环液的送出温度(T1)和循环液的返回温度(T2)的温度传感器16、17,按照根据这些输出而求出的外部装置的热负荷,利用控制器18,来控制循环液的流量和温度。该控制,在送出和返回温度的差小于设定值的情况下,利用循环液温度控制来适应该热负荷;在该温度差大于设定值的情况下,除了上述温度控制外,还对外部装置的配管增加循环液流量,使其适应上述热负荷。