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公开(公告)号：CN102324365A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110273451.9
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 拉斯.马克沃特 , 德克.阿德霍尔德
CPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要： 本申请公开了一种离子源、系统和方法。该系统包括：气体场离子源，能够与气体相互作用从而产生与样品相互作用的离子束，从而引起二次离子离开所述样品；至少一探测器，被配置使得在使用期间，所述至少一探测器可以探测至少一些所述二次离子；电子处理器，电连接至所述至少一探测器，使得在使用期间，所述电子处理器可以根据所述被探测的二次离子而处理信息，以便确定所述样品的信息；其中所述离子束在所述样品的表面具有10nm或更小的尺寸的斑点尺寸。
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公开(公告)号：CN102364659A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201110202904.9
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 亚历山大.格罗霍尔斯基 , 理查德.科穆纳尔 , 肖恩.麦克唯伊 , 约翰尼斯.比尔
CPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN102324365B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201110273451.9
申请日：2006-11-15
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
发明人： 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 拉斯.马克沃特 , 德克.阿德霍尔德
CPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要： 本申请公开了一种离子源、系统和方法。该系统包括：气体场离子源，能够与气体相互作用从而产生与样品相互作用的离子束，从而引起二次离子离开所述样品；至少一探测器，被配置使得在使用期间，所述至少一探测器可以探测至少一些所述二次离子；电子处理器，电连接至所述至少一探测器，使得在使用期间，所述电子处理器可以根据所述被探测的二次离子而处理信息，以便确定所述样品的信息；其中所述离子束在所述样品的表面具有10nm或更小的尺寸的斑点尺寸。
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公开(公告)号：CN101882551A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010151355.2
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01J37/317
CPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN102364659B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201110202904.9
申请日：2006-11-15
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
发明人： 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 亚历山大.格罗霍尔斯基 , 理查德.科穆纳尔 , 肖恩.麦克唯伊 , 约翰尼斯.比尔
CPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101882551B
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201010151355.2
申请日：2006-11-15
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01J37/317
CPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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