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公开(公告)号：CN101366095B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200680051601.9
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔 , 亚历山大·格罗霍尔斯基 , 理查德·科穆纳尔
IPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J37/317 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02 , H01J27/26
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101361159A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200680051591.9
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔 , 克劳斯·埃丁格 , 拉斯·马克沃特 , 德克·阿德霍尔德 , 乌尔里克·曼茨
IPC分类号： H01J37/28 , H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J37/317 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02 , H01J27/26
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101361158A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200680051585.3
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC分类号： H01J37/28 , H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/317 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02 , H01J27/26
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101371326A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200680051529.X
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J37/317 , H01J27/26 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101361159B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200680051591.9
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔 , 克劳斯·埃丁格 , 拉斯·马克沃特 , 德克·阿德霍尔德 , 乌尔里克·曼茨
IPC分类号： H01J37/28 , H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J37/317 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02 , H01J27/26
摘要： 本发明一种使用气体场离子源的方法，所述方法包括：通过将气体与气体场离子源相互作用而产生离子束；所述离子束与半导体物品相互作用以便引起粒子离开所述半导体物品，所述半导体物品具有包括第一和第二层的多个叠层；探测所述粒子以提供图像，在图像中所述第一层中的特征与第二层中的特征叠加；以及根据所述图像编辑所述半导体物品。
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公开(公告)号：CN101882551A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010151355.2
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01J37/317
CPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101371326B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680051529.X
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J37/317 , H01J27/26 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101361157A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200680051579.8
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔 , 拉斯·马克沃特 , 德克·阿德霍尔德
IPC分类号： H01J37/28 , H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J37/317 , H01J27/26 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101361157B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200680051579.8
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔 , 拉斯·马克沃特 , 德克·阿德霍尔德
IPC分类号： H01J37/28 , H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J37/317 , H01J27/26 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN101361153B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200680051558.6
申请日：2006-11-15
申请人： 阿利斯公司
发明人： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔 , 亚历山大·格罗霍尔斯基 , 理查德·科穆纳尔 , 肖恩·麦克唯伊 , 约翰尼斯·比尔
IPC分类号： H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/305 , H01J37/317 , H01J27/26 , B81B1/00 , G01N23/225 , G12B21/02
摘要： 公开了离子源、系统和方法。
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