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公开(公告)号:CN102364659A
公开(公告)日:2012-02-29
申请号:CN201110202904.9
申请日:2006-11-15
申请人: 阿利斯公司
发明人: 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 亚历山大.格罗霍尔斯基 , 理查德.科穆纳尔 , 肖恩.麦克唯伊 , 约翰尼斯.比尔
CPC分类号: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要: 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号:CN102324365A
公开(公告)日:2012-01-18
申请号:CN201110273451.9
申请日:2006-11-15
申请人: 阿利斯公司
发明人: 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 拉斯.马克沃特 , 德克.阿德霍尔德
CPC分类号: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要: 本申请公开了一种离子源、系统和方法。该系统包括:气体场离子源,能够与气体相互作用从而产生与样品相互作用的离子束,从而引起二次离子离开所述样品;至少一探测器,被配置使得在使用期间,所述至少一探测器可以探测至少一些所述二次离子;电子处理器,电连接至所述至少一探测器,使得在使用期间,所述电子处理器可以根据所述被探测的二次离子而处理信息,以便确定所述样品的信息;其中所述离子束在所述样品的表面具有10nm或更小的尺寸的斑点尺寸。
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公开(公告)号:CN102364659B
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:CN201110202904.9
申请日:2006-11-15
申请人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
发明人: 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 亚历山大.格罗霍尔斯基 , 理查德.科穆纳尔 , 肖恩.麦克唯伊 , 约翰尼斯.比尔
CPC分类号: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要: 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号:CN101882551B
公开(公告)日:2013-10-02
申请号:CN201010151355.2
申请日:2006-11-15
申请人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
发明人: 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC分类号: H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01J37/317
CPC分类号: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要: 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号:CN104210304A
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201410198145.7
申请日:2014-05-09
申请人: 金展科技有限公司
IPC分类号: B44B7/00
CPC分类号: B01J19/081 , B41M3/14 , C30B29/04 , C30B29/16 , C30B29/20 , C30B29/34 , C30B33/04 , H01J37/00 , H01J37/317 , H01J2237/31713 , H01J2237/31737 , Y10T428/24355
摘要: 本发明提供了一种在固态材料的经抛光小面的外表面上形成一个或一个以上突出部的方法,所述方法包含步骤:以使顶部表面材料突出的方式朝向固态材料的经抛光小面的外表面施加聚焦惰性气体离子束局部辐射;其中来自所述聚焦惰性气体离子束的所辐射聚焦惰性气体离子穿透所述固态材料的所述经抛光小面的所述外表面;以及其中所辐射聚焦惰性气体离子在一压力下造成所述固态材料在所述外表面下方的固态晶格内的膨胀应变以引起固态晶格的膨胀,且在所述固态材料的所述经抛光小面的所述外表面上形成突出部。
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公开(公告)号:CN102324365B
公开(公告)日:2014-07-16
申请号:CN201110273451.9
申请日:2006-11-15
申请人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
发明人: 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 拉斯.马克沃特 , 德克.阿德霍尔德
CPC分类号: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要: 本申请公开了一种离子源、系统和方法。该系统包括:气体场离子源,能够与气体相互作用从而产生与样品相互作用的离子束,从而引起二次离子离开所述样品;至少一探测器,被配置使得在使用期间,所述至少一探测器可以探测至少一些所述二次离子;电子处理器,电连接至所述至少一探测器,使得在使用期间,所述电子处理器可以根据所述被探测的二次离子而处理信息,以便确定所述样品的信息;其中所述离子束在所述样品的表面具有10nm或更小的尺寸的斑点尺寸。
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公开(公告)号:CN101248505B
公开(公告)日:2010-12-15
申请号:CN200680030708.5
申请日:2006-07-10
申请人: 耐克斯金思美控股公司
发明人: 迈克尔·约翰·桑尼 , 杰弗里·温菲尔德·斯科特 , 马克·焦瑟菲·本纳米亚斯 , 马克·安东尼·麦瑟
IPC分类号: H01J37/302
CPC分类号: H01J37/3056 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/045 , H01J37/3007 , H01J37/304 , H01J37/3172 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/0432 , H01J2237/047 , H01J2237/30472 , H01J2237/31713 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749 , H01J2237/3175 , H01J2237/31766 , H01L21/265 , H01L21/26513 , H01L21/76267 , H01L21/84 , H01L27/0629 , H01L29/66462 , H01L29/66659 , Y10T428/24802 , Y10T428/24893
摘要: 一种用于用带电粒子对工件进行曝光的室包括:带电粒子源,用于生成带电粒子流;准直器,配置用于沿着轴线准直和引导来自带电粒子源的带电粒子流;位于准直器下游的束数字化装置,配置用于通过调整沿着所述轴线的带电粒子之间的纵向间距,形成包括至少一个带电粒子的组的数字化束;位于所述束数字化装置下游的偏转反射器,所述偏转反射器包括一系列的沿着所述轴线纵向设置的偏转电极台,以偏转所述数字化束;以及位于偏转反射器的下游的工件台,所述工件台配置用于保持工件。
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公开(公告)号:CN101882551A
公开(公告)日:2010-11-10
申请号:CN201010151355.2
申请日:2006-11-15
申请人: 阿利斯公司
发明人: 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC分类号: H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01J37/317
CPC分类号: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
摘要: 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号:CN101248505A
公开(公告)日:2008-08-20
申请号:CN200680030708.5
申请日:2006-07-10
申请人: 耐克斯金思美控股公司
发明人: 迈克尔·约翰·桑尼 , 杰弗里·温菲尔德·斯科特 , 马克·焦瑟菲·本纳米亚斯 , 马克·安东尼·麦瑟
IPC分类号: H01J37/302
CPC分类号: H01J37/3056 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/045 , H01J37/3007 , H01J37/304 , H01J37/3172 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/0432 , H01J2237/047 , H01J2237/30472 , H01J2237/31713 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749 , H01J2237/3175 , H01J2237/31766 , H01L21/265 , H01L21/26513 , H01L21/76267 , H01L21/84 , H01L27/0629 , H01L29/66462 , H01L29/66659 , Y10T428/24802 , Y10T428/24893
摘要: 一种用于用带电粒子对工件进行曝光的室包括:带电粒子源,用于生成带电粒子流;准直器,配置用于沿着轴线准直和引导来自带电粒子源的带电粒子流;位于准直器下游的束数字化装置,配置用于通过调整沿着所述轴线的带电粒子之间的纵向间距,形成包括至少一个带电粒子的组的数字化束;位于所述束数字化装置下游的偏转反射器,所述偏转反射器包括一系列的沿着所述轴线纵向设置的偏转电极台,以偏转所述数字化束;以及位于偏转反射器的下游的工件台,所述工件台配置用于保持工件。
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