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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102812533B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201180016692.3
申请日：2011-04-07
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/06 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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公开(公告)号：CN105390358A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510738998.X
申请日：2011-04-07
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/305
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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公开(公告)号：CN105390358B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201510738998.X
申请日：2011-04-07
IPC: H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/305
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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公开(公告)号：CN107636791A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201680030066.2
申请日：2016-08-11
Applicant: 韩国标准科学研究院
CPC classification number: H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/165 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2006 , H01J2237/204 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
Abstract: 本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。
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公开(公告)号：CN102812533A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180016692.3
申请日：2011-04-07
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/06 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/3056 , H01J2237/2815 , H01J2237/2855 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
Abstract: 一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中，扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中，聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像，所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中，采用两种类型的检测器：类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像，而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
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