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公开(公告)号：CN104428865B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201380035466.9
申请日：2013-06-28
Applicant: 东芝电子管器件株式会社
IPC: H01J35/06
CPC classification number: H01J35/06 , A61B6/44 , H01J1/16 , H01J1/18 , H01J1/88 , H01J3/06 , H01J3/18 , H01J19/10 , H01J19/42 , H01J23/04 , H01J23/083 , H01J29/04 , H01J29/50 , H01J29/62 , H01J35/14 , H01J37/065 , H01J2229/481 , H01J2229/4827 , H01J2229/4831 , H01J2229/50 , H01J2229/582 , H01J2229/5835 , H01J2235/06 , H01J2237/032 , H01J2237/049 , H01J2237/06375 , H01J2893/0005 , H01J2893/005 , H01J2893/0088 , H01J2893/0089 , H01J2893/0094
Abstract: X射线管具有阳极靶、阴极(10)、以及真空外围器。阴极(10)具有灯丝和包括槽部(16)的收敛电极。槽部(16)具有一对第1底面(S1)、以及一对第2底面(S2)。灯丝位于与一对第1底面(S1)相同的平面上，且该一对第1底面(S1)在槽部(16)的宽度方向上夹住灯丝。一对第2底面(S2)在槽部(16)的长度方向上夹住灯丝和一对第1底面(S1)，且与一对第1底面(S1)相比，位于更靠近开口(16a)一侧的位置。
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公开(公告)号：CN101189537A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019662.7
申请日：2006-05-29
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: G02B3/00
CPC classification number: H01J3/18 , H01J3/26 , H01J37/12 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明提供一种具有简单结构的微柱。本发明涉及一种包括电子发射源和透镜的电子柱，更具体地涉及一种具有可便于对准和组装电子发射源和透镜的结构的电子柱。根据本发明的具有电子发射源和透镜单元的电子柱的特征在于：所述透镜单元包括两个以上的透镜层，并执行源透镜功能和聚焦功能。此外，所述电子柱的特征在于：所述透镜单元包括一个以上的偏转器型透镜层，从而附加地执行偏转器功能。
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公开(公告)号：CN102414774A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201080018886.2
申请日：2010-04-29
Applicant: ATTI国际服务公司
Inventor： 阿尔图什·A·阿布加良 , 伊莱·莱维
IPC: H01J29/58
CPC classification number: H01J29/62 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/18 , H01J35/14 , H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/3174 , H01J2237/0492 , H01J2237/0656 , H01J2237/28
Abstract: 一种系统，在静电区域中将电子束聚焦为电子层流，该电子层流具有电流密度的均匀分布和显著缩小倍率，该系统包括：本体(11)，其限定电场的边界；静电部分中的场形成阴极电极系统(1，2，3，4)、聚焦电极系统(5，6，7，12)和至少一个阳极电极系统(8，9，10)；和第二无电场部分，其包括布置在本体(11)内部的可调屏幕系统(16)。场形成近阴极电极系统(1，2，3，4)包括电连接到平面部分(2)的阴极(1)和电连接到柱形部分(4)的曲线部分(3)。阳极电极系统(8，9，10)包括开口部分、电连接到平面部分(8)的阳极、和电连接到柱形部分(10)的曲线部分(9)，其与阴极电极系统相似或相同，并且与阴极电极系统对称。根据CGMR概念方法计算和创建系统参数。
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公开(公告)号：CN100587521C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200680019662.7
申请日：2006-05-29
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: G02B3/00
CPC classification number: H01J3/18 , H01J3/26 , H01J37/12 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明提供一种具有简单结构的微柱。本发明涉及一种包括电子发射源和透镜的电子柱，更具体地涉及一种具有可便于对准和组装电子发射源和透镜的结构的电子柱。根据本发明的具有电子发射源和透镜单元的电子柱的特征在于：所述透镜单元包括两个以上的透镜层，并执行源透镜功能和聚焦功能。此外，所述电子柱的特征在于：所述透镜单元包括一个以上的偏转器型透镜层，从而附加地执行偏转器功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104428865A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201380035466.9
申请日：2013-06-28
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子管器件株式会社
IPC: H01J35/06
CPC classification number: H01J35/06 , A61B6/44 , H01J1/16 , H01J1/18 , H01J1/88 , H01J3/06 , H01J3/18 , H01J19/10 , H01J19/42 , H01J23/04 , H01J23/083 , H01J29/04 , H01J29/50 , H01J29/62 , H01J35/14 , H01J37/065 , H01J2229/481 , H01J2229/4827 , H01J2229/4831 , H01J2229/50 , H01J2229/582 , H01J2229/5835 , H01J2235/06 , H01J2237/032 , H01J2237/049 , H01J2237/06375 , H01J2893/0005 , H01J2893/005 , H01J2893/0088 , H01J2893/0089 , H01J2893/0094
Abstract: X射线管具有阳极靶、阴极(10)、以及真空外围器。阴极(10)具有灯丝和包括槽部(16)的收敛电极。槽部(16)具有一对第1底面(S1)、以及一对第2底面(S2)。灯丝位于与一对第1底面(S1)相同的平面上，且该一对第1底面(S1)在槽部(16)的宽度方向上夹住灯丝。一对第2底面(S2)在槽部(16)的长度方向上夹住灯丝和一对第1底面(S1)，且与一对第1底面(S1)相比，位于更靠近开口(16a)一侧的位置。
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公开(公告)号：CN103426707A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310168505.4
申请日：2013-05-09
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 盐泽崇史
IPC: H01J37/12
CPC classification number: H01J37/10 , H01J3/18 , H01J37/12 , H01J2237/038 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子束透镜。带电粒子束透镜包括板状阳极、板状阴极和设置在阳极与阴极之间的绝缘体。绝缘体、阳极和阴极具有带电束从其中通过的通道部分。高电阻膜在绝缘体的形成通道部分的内侧面或绝缘体的最外侧面上形成，并且，阳极和阴极通过高电阻膜被电连接在一起。阳极和高电阻膜、阴极和高电阻膜分别包含相同的金属或半导体元素并具有不同的电阻值。这抑制由于阳极和阴极与高电阻膜之间的界面处或导电膜与高电阻膜之间的界面处的电阻增加和连接不良导致的电场集中，由此抑制放电的产生。
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公开(公告)号：CN85102774B
公开(公告)日：1987-11-04
申请号：CN85102774
申请日：1985-04-01
Applicant: 复旦大学
Abstract: 目前大多数商品化的静电四极场系统均采用圆截面的金属电极结构。这种结构加工较为复杂，且只能在靠近对称中心的很小区域里产生完整四极场；此外，电极之间存在空隙，在用玻璃或陶瓷作为管壳时会受到管壳内壁杂散电荷形成电位的影响。本发明根据理论计算求得产生完整静电四极场的方法和用均匀厚度或厚度呈连续变化的高阻材料构成封闭边界的结构，其电位随位置作连续变化，以产生各种形式的完整静电四极场。这种结构比较简单，可以广泛应用于电子光学系统及各种仪器设备中。
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公开(公告)号：CN103426708A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310176238.5
申请日：2013-05-14
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 山田修嗣
IPC: H01J37/12 , H01J37/317 , H01J9/00
CPC classification number: H01J1/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/46 , H01J3/027 , H01J3/18 , H01J9/02 , H01J9/14 , H01J37/12 , H01J37/317 , H01J37/3177 , H01J2237/032 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明涉及静电透镜的电极及其制造方法。提供一种用于静电透镜的电极，其中，该电极至少包含：具有第一贯通孔的第一基板和具有第二贯通孔的第二基板；第一基板具有比第二基板小的厚度；第一贯通孔具有比第二贯通孔小的直径，第二基板具有比第一基板小的电阻率，其中，第一基板和第二基板被叠置，使得第一贯通孔和第二贯通孔相互对准。可以减少在干蚀刻处理中在贯通孔中的任一个附近出现的开槽，由此可以精确地形成贯通孔。
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