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公开(公告)号：CN104981700B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201380072701.X
申请日：2013-12-12
申请人： 巴塞尔大学
CPC分类号： G01Q20/00 , G01Q10/00 , G01Q10/065 , G01Q30/06
摘要： 本发明涉及控制扫描探针显微镜的方法，所述扫描探针显微镜具有探针(2)和纳米扫描器(1)，所述探针(2)具有针尖(21)用于与样品(4)相互作用，所述纳米扫描器(1)用于保持所述样品(4)或所述探针(2)，该方法包括如下步骤：监测压电元件(1)在第一方向(R)上的伸展，在所述第一方向(R)上所述针尖向着所述样品(4)移动；以及当所述纳米扫描器(1)执行的伸展低于或高于阈值时，通过附加执行器的设备沿着所述第一方向(R)来调整所述探针(2)的高度。本发明还涉及控制扫描探针显微镜的装置(100)。
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公开(公告)号：CN104981700A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201380072701.X
申请日：2013-12-12
申请人： 巴塞尔大学
CPC分类号： G01Q20/00 , G01Q10/00 , G01Q10/065 , G01Q30/06
摘要： 本发明涉及控制扫描探针显微镜的方法，所述扫描探针显微镜具有探针(2)和纳米扫描器(1)，所述探针(2)具有针尖(21)用于与样品(4)相互作用，所述纳米扫描器(1)用于保持所述样品(4)或所述探针(2)，该方法包括如下步骤：监测压电元件(1)在第一方向(R)上的伸展，在所述第一方向(R)上所述针尖向着所述样品(4)移动；以及当所述纳米扫描器(1)执行的伸展低于或高于阈值时，通过附加执行器的设备沿着所述第一方向(R)来调整所述探针(2)的高度。本发明还涉及控制扫描探针显微镜的装置(100)。
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公开(公告)号：CN105051815A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480017624.2
申请日：2014-01-22
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q60/02 , G11B5/455 , G11B2005/0021
摘要： 热辅助磁头检查装置(1)具备：磁头磁场检测系统(36、37)，其根据悬臂(10)的位移量测定热辅助磁头(11)所产生的磁场；近场光检测系统(20)，其根据在悬臂位置产生的散射光测定热辅助磁头(11)所产生的近场光；光学系统工作台(2)，其搭载近场光检测系统，在二维方向上移动；以及图像显示部，其通过照相机(35)拍摄悬臂和热辅助磁头的位置关系来进行显示。在更换了悬臂时，控制部(4)参照图像显示部计算悬臂的更换造成的位置偏离量，使光学系统工作台(2)移动计算出的位置偏离量。由此，在测定由热辅助磁头产生的磁场和近场光的情况下，即使在更换悬臂时产生位置偏离也会自动地对其进行调整。
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公开(公告)号：CN101395676B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN200680053581.9
申请日：2006-12-21
申请人： JPK器具股份有限公司
摘要： 本发明涉及操作包含扫描探针显微镜特别是原子力显微镜的测量系统的方法，还涉及利用扫描探针显微镜检查测量样本和在光学上检查所述样本的测量系统。在所述方法中，在显示设备上显示待检查的测量样本的测量横截面的光学图像，通过光学记录装置来记录所述图像，所述光学图像的位置选择被检测，并且对于扫描探针测量，利用移动设备来移动为扫描探针测量而设置的测量探针到测量位置，移动设备将测量探针和测量样本相对于彼此移动，由于根据坐标变换来控制移动设备，测量位置根据坐标变换被指定到光学图像中选择的位置，其中，利用坐标变换形成光学图像的坐标系与被测量探针和测量样本的移动位置覆盖的空间的坐标系之间的先前确定的指定，其中移动位置包括测量位置。
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公开(公告)号：CN100578679C
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200710138848.0
申请日：2007-05-24
申请人： 株式会社岛津制作所 , 国立大学法人大阪大学
摘要： 本发明提供一种消除热漂移或者其他变化的影响的技术，通过使用该技术，改善扫描探针显微镜或者原子机械手的观测或者操作精度，校正在观测或者操作过程中由于发热或者其他因素引起的探针与样品相对位置的前述变化。为了获得样品表面的原子级图像，或者在样品表面上的原子上执行特定操作，本发明适用于探针位置控制方法，以便当测量样品表面上的目标原子与探针尖端之间相互作用时控制探针与样品的相对位置。在本方法中，当探针在平行于样品表面的两个方向上以频率f1和f2相对于样品振荡时(S1a)，探针与样品的相对位置发生变化。同时，根据在垂直于被探测样品表面的方向上作用的相互作用的测量值来探测频率f1和f2消失的点(或者特征点)(S1b)。然后，控制探针与样品的相对运动，从而保持由此探测的测量值(即被跟踪的特征点；S1c)，确定前述的相对运动速度(S1d)。随后，利用探测的速度校正相对位置控制(S2)。
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公开(公告)号：CN107845573A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201710811888.0
申请日：2017-09-11
申请人： 三星电子株式会社
IPC分类号： H01L21/311 , H01L21/3213 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/3026 , G01Q30/06 , G03F1/36 , G03F1/72 , G06F17/50 , G06F17/5081 , H01J2237/31771 , H01J2237/31776 , H01L21/311 , H01L21/32139 , H01L22/12 , H01L22/20
摘要： 公开了一种调整用于制造半导体器件的标线图案的特征尺寸的方法，所述方法可以包括：确定标线的图像中的多个标线图案的第一特征尺寸的对应值，并且向包括在多个标线图案中的第一标线图案提供大气等离子体，第一标线图案具有与特征尺寸的目标值不同的特征尺寸的第一值。可以不向包括在多个标线图案中的第二标线图案提供大气等离子体，第二标线图案具有约等于目标值的特征尺寸的第二值。
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公开(公告)号：CN105675923A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201510890905.5
申请日：2015-12-07
申请人： 现代自动车株式会社 , 釜山大学校产学协力团
IPC分类号： G01Q60/26
摘要： 一种测量试样表面的摩擦系数的方法，包括以下步骤：使用原子力显微镜(AFM)获得试样的表面信息；使用试样的表面信息计算试样表面的摩擦系数的数据；以及将试样的摩擦系数的数据映射成图像。测量试样表面的摩擦系数的方法可通过使用实际的被测量试样来校正原子力显微镜同时测量摩擦系数，来防止原子力显微镜的探针部分被磨损，并且确保摩擦系数值的高可靠性。
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公开(公告)号：CN103063881B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210396453.1
申请日：2012-10-18
申请人： FEI公司
IPC分类号： G01Q30/04
CPC分类号： H01J37/26 , G01Q10/00 , G01Q30/06 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/28
摘要： 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。
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公开(公告)号：CN103063881A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210396453.1
申请日：2012-10-18
申请人： FEI公司
IPC分类号： G01Q30/04
CPC分类号： H01J37/26 , G01Q10/00 , G01Q30/06 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/28
摘要： 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。
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