电子源
    1.
    发明公开
    电子源 审中-实审

    公开(公告)号:CN111868880A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201880083787.9

    申请日:2018-10-26

    摘要: 一种气源质谱仪中的电子源,所述电子源包括:电子发射器阴极,其呈现热电子发射器表面,该表面与所述气源质谱仪的气源室连通,以用于向所述气源室提供电子;加热元件,其与所述电子发射器阴极电气隔离,并且被布置成凭借其中的电流而被加热,并向所述电子发射器阴极辐射足以使电子从所述发射器表面热释放的热量,从而提供用于电离所述气源室中的气体的电子源。

    阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN108666188B

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201810479190.8

    申请日:2014-12-22

    摘要: 本发明涉及一种聚焦电极,包括:圆柱形壳状体,该圆柱形壳状体限定用于容纳阴极本体的腔穴,和前盖部,该前盖部设置有圆形的电子透射孔径和聚焦表面,其中,热陷捕表面被设置在所述圆柱形壳状体的内表面上,该热陷捕表面被配置成用于在使用中接收由阴极本体所释放的热辐射,其中所述前盖部还包括内电极表面,其被配置成支撑所述阴极本体,其中所述圆柱形壳状体包括有角度的间隙,该有角度的间隙形成在壳状体结构中的狭缝或削切部,用于容纳约束配置,该约束配置用于以支撑结构为基准来约束所述聚焦电极和/或所述阴极本体。

    阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN108666188A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201810479190.8

    申请日:2014-12-22

    摘要: 本发明涉及一种聚焦电极,包括:圆柱形壳状体,该圆柱形壳状体限定用于容纳阴极本体的腔穴,和前盖部,该前盖部设置有圆形的电子透射孔径和聚焦表面,其中,热陷捕表面被设置在所述圆柱形壳状体的内表面上,该热陷捕表面被配置成用于在使用中接收由阴极本体所释放的热辐射,其中所述前盖部还包括内电极表面,其被配置成支撑所述阴极本体,其中所述圆柱形壳状体包括有角度的间隙,该有角度的间隙形成在壳状体结构中的狭缝或削切部,用于容纳约束配置,该约束配置用于以支撑结构为基准来约束所述聚焦电极和/或所述阴极本体。

    制造储备式阴极的方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1022522C

    公开(公告)日:1993-10-20

    申请号:CN91109359.1

    申请日:1991-09-21

    发明人: 崔钟书

    IPC分类号: H01J9/04 H01J1/28 H01J29/04

    CPC分类号: H01J1/28

    摘要: 本文公开一种制造储备式阴极的方法,该方法包括以下步骤:将一种多孔基底材料填装在一存储容器中,将该存储容器焊接在一圆筒形套筒上,将一加热器装配在该套筒内。该套筒具有:一个与存储容器焊接的支承面;一外径大于存储容器的外径;及一个开口,该开口小于存储容器的外径。本方法可阻止焊接期间的热量向多孔基底材料传导,并提高阴极工作期间的热效率,从而得到优异的阴极特性。

    具有提高的寿命的阴极射线管的阴极

    公开(公告)号:CN1599940A

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN02824054.5

    申请日:2002-11-29

    IPC分类号: H01J1/28

    CPC分类号: H01J1/28

    摘要: 一种针对真空管的浸渍阴极,包括利用碱土金属混合物浸渍的多孔片状器件11形式的发射部分;将所述片状器件放置在盘12中,所述盘12由难熔金属制成并覆盖有形成了阴极的发射表面的多孔金属薄片13。而且,所述片状器件具有位于严重浸渍区域和未浸渍或弱浸渍的区域10之间的分离表面18,从而使所述分离表面包括朝向发射表面的至少一个中空部分。利用该分离表面的形状,提高了阴极的寿命。