用于产生电子束的设备
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103299390B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201180051544.5

    申请日:2011-09-08

    Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的设备,其包括:壳体(12),该壳体(12)形成可排空的空间(13)的边界并且具有电子束出射开口;用于将工作气体输送到可排空的空间(13)中的入口(16);平面的阴极(14)和阳极(15),所述平面的阴极(14)和所述阳极(15)被布置在可排空的空间(13)中并且在所述平面的阴极(14)和所述阳极(15)之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体,其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极(14)的表面上。所述阴极具有:由第一材料制成的第一部分(14a),该第一部分(14a)构造所述阴极(14)的中央布置的第一表面区域;以及由第二材料制成的第二部分(14b),该第二部分(14b)构造所述阴极(14)的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度:在该温度下,电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。

    用于产生电子束的设备
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103299390A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201180051544.5

    申请日:2011-09-08

    Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束的设备,其包括:壳体(12),该壳体(12)形成可排空的空间(13)的边界并且具有电子束出射开口;用于将工作气体输送到可排空的空间(13)中的入口(16);平面的阴极(14)和阳极(15),所述平面的阴极(14)和所述阳极(15)被布置在可排空的空间(13)中并且在所述平面的阴极(14)和所述阳极(15)之间借助所施加的电压可产生辉光放电等离子体,其中来自辉光放电等离子体的离子可被加速到所述阴极(14)的表面上。所述阴极具有:由第一材料制成的第一部分(14a),该第一部分(14a)构造所述阴极(14)的中央布置的第一表面区域;以及由第二材料制成的第二部分(14b),该第二部分(14b)构造所述阴极(14)的包围第一表面区域的第二表面区域。第一材料通过加载有被加速的离子而被加热到如下温度:在该温度下,电子主要由于热电子发射而从第一材料逸出。

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