公开(公告)号：CN117467940A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202311446004.8

申请日：2023-11-01

申请人： 齐鲁工业大学(山东省科学院)

发明人： 朱汉飞 ,  罗红钰 ,  王莹 ,  欧阳俊 ,  栗莉

IPC分类号： C23C14/16 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  G01D5/12 ,  H10N30/05 ,  H10N30/067 ,  H10N30/00 ,  H10N30/50 ,  H10N30/853 ,  H10N30/30

摘要： 本发明涉及电子材料开发和薄膜材料制备技术，具体涉及一种铁酸铋膜材料及其制备方法与应用。制备方法包括：在硅基底表面自下而上依次磁控溅射底电极、铁酸铋膜和顶电极；其中，底电极和顶电极的材料为惰性金属；磁控溅射底电极的气体氛围为氩气和氧气的混合气体，磁控溅射的温度为200～400℃；磁控溅射铁酸铋膜的气体氛围为氩气和氧气的混合气体，磁控溅射的温度为300～500℃；磁控溅射顶电极的气体氛围为氩气，磁控溅射的温度为25～150℃。本发明提供的铁酸铋膜材料，通过调整溅射底电极时的气体氛围，改变了铁酸铋材料的生长取向，进而提高了整体铁酸铋膜材料的压电性能，无需引入缓冲层、掺杂任何元素或进行高温退火，制备方法更加简单。

公开(公告)号：CN116782742A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202310199829.8

申请日：2023-03-05

申请人： 辽宁中蓝光电科技有限公司

发明人： 王忠岭 ,  李权 ,  吴发权 ,  王继文

IPC分类号： H10N30/50 ,  H10N30/87 ,  H10N30/057 ,  H10N30/067 ,  H10N30/063 ,  H10N30/045

摘要： 本发明提供了一种叠层压电振子及其制作方法，该叠层压电振子包括压电陶瓷组件及与所述压电陶瓷组件连接的导杆，所述压电陶瓷组件包括压电陶瓷堆、极化金属层和工作金属层，所述压电陶瓷堆由多个带有电极片的压电陶瓷片堆叠而成，相邻两层所述压电陶瓷片的极化方向相反；所述压电陶瓷堆的两个相对的第一平面均设置电极片，所述压电陶瓷堆的两个相对的第二平面或第三平面均设置极化金属层，所述压电陶瓷堆的两个相对的第三平面或第二平面均设置工作金属层。本发明的叠层压电振子相比于现有的压电陶瓷驱动器有着更大的位移距离，对焦效果更好。

公开(公告)号：CN118846361A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202411037514.4

申请日：2024-07-31

申请人： 中国科学技术大学 ,  北京智芯微电子科技有限公司

发明人： 左成杰 ,  龙嘉琳 ,  王娟 ,  夏徐柱 ,  王峥 ,  丁岳

IPC分类号： A61M37/00 ,  H10N30/50 ,  H10N30/057 ,  H10N30/067 ,  H10N30/01 ,  H10N30/082 ,  H10N30/063 ,  H10N30/20 ,  H10N30/80 ,  H10N30/87 ,  A61N7/00

摘要： 本公开提供一种基于压电效应的超声促药装置、制备方法及可穿戴设备，所述超声促药装置被构造成能够作为超声探头贴覆于皮肤表面，所述超声促药装置包括PMUT单元、以及过滤孔单元，其中：所述PMUT单元包括多个PMUT，每个所述PMUT能够通过压电效应发射或接收超声波；过滤孔单元被构造成包括多个过滤孔，所述多个过滤孔形成于PMUT旁，当超声促药装置贴覆于皮肤时，能够通过所述过滤孔过滤和输送药物至皮肤。

公开(公告)号：CN111564467B

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202010314202.9

申请日：2020-04-20

申请人： 苏州汉天下电子有限公司

发明人： 吴明 ,  唐兆云 ,  杨清华 ,  赖志国 ,  王家友

IPC分类号： H10N39/00 ,  H10N30/87 ,  H10N30/30 ,  H10N30/067

摘要： 一种兼容CMOS工艺的体声波谐振器及其制造方法，该谐振器包括：压电膜阵列，包括在衬底与盖帽层之间的多个压电膜，垂直方向上相邻压电膜之间、压电膜与盖帽层之间以及压电膜与衬底之间具有多个第一空腔，水平第一方向上相邻压电膜之间具有共用的第二空腔，水平第二方向上相邻压电膜之间具有共用的第三空腔；多个电极层，至少覆盖每个压电膜的顶面和底面；多个电极互连层，沿第三空腔侧面连接压电膜底面的电极层；驱动晶体管位于盖帽层中，漏极电连接顶部压电膜的顶部电极层；驱动晶体管的源极和漏极上具有欧姆接触层。本发明采用CMOS兼容工艺，并通过离子深注入形成电连接压电膜顶部电极的驱动电路，减小了封装体积，降低了界面电阻。

公开(公告)号：CN118765153A

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202410860734.0

申请日：2024-06-28

申请人： 深圳大学

发明人： 韩素婷 ,  胡嘉慧 ,  翟永彪 ,  周晔

IPC分类号： H10N30/853 ,  H10N30/87 ,  H10N30/067 ,  H10N30/097 ,  H10N30/057 ,  H10N30/50 ,  H10N30/30 ,  A61F2/10 ,  G01D21/02

摘要： 本发明公开了一种同时感知光热力的电子皮肤及其制备方法，同时感知光热力的电子皮肤包括：依次设置的衬底、底电极、稀土元素掺杂的压电材料层以及顶电极；所述稀土元素掺杂的压电材料层包括：基层和设置于所述基层的若干个金字塔结构，所述金字塔结构位于所述底电极和所述基层之间；所述稀土元素掺杂的压电材料层的稀土元素掺杂的压电材料选自镨铒掺杂的ZnO或镨铒掺杂的NaNbO3。镨铒掺杂的ZnO或镨铒掺杂的NaNbO3可以同时具有感知光、热以及力的功能，形成更加真实的电子皮肤。

公开(公告)号：CN114361326B

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202210037484.1

申请日：2022-01-13

申请人： 黑龙江迪米电陶科技有限公司

发明人： 于传文 ,  吴迪

IPC分类号： H10N30/87 ,  H10N30/057 ,  H10N30/067

摘要： 本发明属于压电陶瓷技术领域，公开了矩阵型叠层压电陶瓷微调元件电极结构，包括上面绝缘层、外部侧面正电极组、中间绝缘层、外部侧面负电极组、下面绝缘层、下部负电极组和下部正电极组；所述外部侧面正电极组连接有内部正电极层，所述外部侧面负电极组连接有内部负电极层，所述内部正电极层和内部负电极层设有陶瓷介质层，所述陶瓷介质层横向设置，还公开了矩阵型叠层压电陶瓷微调元件电极造制工艺，包括如下步骤：制造出所述下面绝缘层；印制银钯材料负电极和正电极；组成矩阵形结构,进行温等静压；连接内部所有正电极和负电极；用丝网印制底面电极,并连接外部侧面电极,在正负电极上加驱动电压,使压电陶瓷极化。

公开(公告)号：CN111883650B

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202010700390.9

申请日：2020-07-20

申请人： 清华大学深圳国际研究生院

发明人： 杨诚 ,  陈超杰

IPC分类号： H10N30/05 ,  H10N30/063 ,  H10N30/067 ,  H10N30/50 ,  H10N30/30

摘要： 本发明提供一种柔性多层复合压电薄膜的制备方法及柔性多层复合压电薄膜，方法包括：将压电层材料溶于有机溶剂形成压电油墨；将导电浆料涂布在基材薄膜上得到第一电极层；在第一电极层上涂布压电油墨并烘干得到第一压电层，依序再次涂布压电层、电极层，压电层和电极层堆叠形成叉指结构，多个所述压电层并联；由此第一柔性多层复合压电薄膜；对所述第一柔性多层复合压电薄膜进行电晕极化处理得到第二柔性多层复合压电薄膜；用金属导线分别与第二柔性多层复合压电薄膜中的第一电极层和第二电极层分别相连作为正极和负极，得到第三柔性多层复合压电薄膜；在第三柔性多层复合压电薄膜外涂布形成保护层得到最终的柔性多层复合压电薄膜。

公开(公告)号：CN111952434B

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202010652213.8

申请日：2020-07-08

申请人： 温州大学

发明人： 王鹏 ,  程润 ,  杨笑天 ,  余忠

IPC分类号： H10N30/88 ,  H10N30/87 ,  H10N30/02 ,  H10N30/03 ,  H10N30/06 ,  H10N30/067 ,  H10N30/084

摘要： 本发明公开了一种封装的压电转换装置，包括上盖板、压电装置和下抽板，该压电装置由6组压电叠堆通过先串联再并联组合而成，每组压电叠堆是用双面导电铜箔胶将改性锆钛酸铅薄片通过压实后得到。下抽板内留有深为2mm的凹槽，所述凹槽用于放置压电装置且大小与压电装置相契合，所述压电装置通过环氧树脂胶将压电装置内部导线固定于下抽板，导线两端从下抽板两侧预留导线孔引出。整个封装件的扣合主要为两个部分。第二个部分由硅胶密封垫通过预留在上盖板和下抽板上的10mm的凹槽，进行进一步密封。这样设计除了密封性大大提高之外还起到防水防潮的作用，加强了压电装置的抗渗、抗摩擦、抗老化等性能，从而提高了压电装置的耐久性，适用性。

公开(公告)号：CN113013321B

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202110173478.4

申请日：2021-02-07

申请人： 西安交通大学

发明人： 杨静雅 ,  徐卓 ,  刘金凤 ,  贾楠香 ,  王三红 ,  李飞

IPC分类号： H10N30/057 ,  H10N30/045 ,  H10N30/067 ,  C23C14/04 ,  C23C14/35

摘要： 本发明提供的一种压电单晶层叠驱动器的制备方法，包括以下步骤：步骤1，对单晶片依次进行三维定向、切割、减薄、清洗，得到多个单晶薄片；步骤2，将得到的单晶薄片放置在溅射电极模具中进行溅射电极，得到单晶薄片电极；步骤3，将得到的单晶薄片电极放置在极化装置中进行电极极化，得到极化后的单晶薄片电极；步骤4，利用堆叠模具对极化后的单晶薄片电极进行堆叠，得到压电堆；步骤5，在得到的压电堆的侧面溅射电极，得到层叠驱动器；本发明解决了现有的层叠驱动器只能单片制备，不能批量生产的缺陷。

公开(公告)号：CN118434253A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202410521377.5

申请日：2024-04-28

申请人： 宁波大学

发明人： 王乐洋 ,  陈海荣 ,  任明将 ,  郑光 ,  马文慧 ,  郑尚岗 ,  章芷馨 ,  夏卓轩 ,  陈嘉耀

IPC分类号： H10N30/05 ,  A61B5/08 ,  H10N30/045 ,  H10N30/067 ,  H10N30/00 ,  H10N30/853 ,  G01L1/16

摘要： 本发明公开了一种用于预防肺部疾病的压电薄膜传感器的制备方法，步骤包括：基于铅锆钛酸盐与四氢呋喃，得到混合液；基于混合液中和聚氨酯，得到制备溶剂；基于制备溶剂，制作电极；基于电极，制作压电薄膜传感器。本发明通过改良PZT与PU，THF的配比，提升该产品的灵敏度与分辨率，从而达到检测前期肺部病症的目标。此外，本发明相对于其他产品而言，制作流程更为简单，且制作成本更低，更有利于发明的推广与使用。与现有技术相比，本发明的柔性压电薄膜传感器在压电性能、柔韧性、化学稳定性和可靠性等方面表现出色，具有广泛的应用前景。