公开(公告)号：CN118533158A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410159553.5

申请日：2024-02-04

申请人： 绍兴圆方半导体有限公司

发明人： 曲鹏 ,  周宁宁

IPC分类号： G01C19/56

摘要： 本申请实施例提供一种陀螺仪及电子设备，陀螺仪包括：衬底及设置于衬底上方的四个第一类质量块及两个第二类质量块；其中，两个第二类质量块间弹性连接，四个第一类质量块包括逐一弹性连接的第一质量块、第二质量块、第三质量块及第四质量块，第一质量块与第四质量块间弹性连接，一第二类质量块弹性连接于第一质量块与第四质量块之间，另一第二类质量块弹性连接于第二质量块与第三质量块之间；每一第二类质量块用于驱动相应的两个第一类质量块做相反方向的旋转运动；或者，四个第一类质量块用于驱动两个第二类质量块做相反方向的旋转运动。本申请有利于提高陀螺仪的检测精度。

公开(公告)号：CN118518084A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202410842083.2

申请日：2024-06-27

申请人： 北京信息科技大学

发明人： 朴林华 ,  马炫霖 ,  刘珺宇 ,  王灯山

IPC分类号： G01C19/56

摘要： 本发明涉及一种自带基准电阻的柔性快速响应热流陀螺，属于惯性测量领域。该陀螺主要包括柔性底板、柔性敏感层和柔性上盖，柔性敏感层的上表面设置有两个对称的加热器以及一个中心加热器和一对平行的热敏电阻以及一对基准电阻；柔性上盖上刻蚀有凹槽，且与柔性敏感层的上表面密闭连接。本发明采用一种基于高速激光雕刻技术的柔性快速响应热流陀螺的制作方法制作，具有轻量化、成本低、制作工艺简单、对环境友好等优点。基于这些优点它可以广泛应用于电子设备、航天及医学仪器等领域。

公开(公告)号：CN117968729A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202410032423.5

申请日：2024-01-09

申请人： 西北工业大学

发明人： 晏恺晨 ,  王小旭 ,  王玺全 ,  李睿 ,  李华 ,  张军岭 ,  卢乾波

IPC分类号： G01C25/00 ,  G01C19/56

摘要： 本公开实施例是关于一种全角陀螺驱动增益倾角非线性误差自标定与自补偿方法。本公开实施例在陀螺自激励操作下，驻波方位角和陀螺敏感角速度输出中将不存在明显的角度依赖性偏差；在静态测漂状态下，陀螺漂移速度输出中将不包含驱动误差引起的、幅度控制力向检测模态耦合产生的角速度漂移误差。该方法有效解决了驱动增益、倾角、非线性误差对全角半球谐振陀螺控制和输出精度的影响，综合提升了全角半球谐振陀螺的动态和静态性能以及其三自能力。

公开(公告)号：CN112325870B

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202010737300.3

申请日：2020-07-28

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 泷泽照夫

IPC分类号： G01C19/56

摘要： 本发明提供了陀螺仪传感器、电子设备及移动体，陀螺仪传感器具有：基板(2)；固定部(48)，固定在基板(2)上；驱动部(40)，沿与基板(2)的主面(23)平行的X轴进行驱动；质量部(41)，与驱动部(40)连接，沿第一轴位移；检测部(45)，与质量部(41)连接，能够绕与X轴交叉的Z轴转动，并且能够通过作用于与基板(2)水平的转动运动的科里奥利力而沿Z轴位移；以及弹性部(47)，连接检测部(45)与固定部(48)，固定部(48)在俯视观察时配置在检测部(45)的重心(G)与质量部(41)之间。

公开(公告)号：CN116086420B

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202310182411.6

申请日：2023-02-20

申请人： 北京中科海芯科技有限公司

发明人： 王子栋 ,  孔庆凯 ,  王清坤 ,  辛宏伟

IPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5642 ,  G01C19/5656 ,  G01C19/5663 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

摘要： 本发明公开一种振环型MEMS陀螺仪及其制作方法，涉及惯性技术和微机电系统技术领域，以解决振环MEMS陀螺仪无法获得线性的电压‑作用力的问题。该MEMS陀螺仪包括基底以及形成在基底上的第一锚点、多个第二锚点、梳齿电容组件以及谐振结构；多个第二锚点环绕第一锚点，每个第二锚点通过谐振结构与梳齿电容组件的一端连接，梳齿电容组件的另一端与第一锚点连接，梳齿电容组件的齿长方向与谐振结构的移动方向一致。本发明提供的振环型MEMS陀螺仪及其制作方法用于获得具有线性的电压‑作用力的MEMS陀螺仪。

公开(公告)号：CN117664092A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311663962.0

申请日：2023-12-06

申请人： 重庆大学

发明人： 陈李 ,  谭军 ,  韦素兰

IPC分类号： G01C19/5684 ,  G01C19/56

摘要： 本发明涉及微机系统MEMS和微惯性测量技术领域，具体涉及一种MEMS陀螺仪及MEMS器件。所述MEMS陀螺仪包括硅基衬底、振环、若干个悬臂梁、若干个质量块和若干个金属薄膜电极，所述硅基衬底上设有圆孔，以所述圆孔内侧壁作为锚点连接若干个悬臂梁的第一端，所述若干个悬臂梁的第二端与振环外侧壁连接，所述振环内侧壁与若干个质量块连接；若干个质量块沿振环内侧壁均匀间隔分布，且若干个质量块的内侧面位于同一圆柱面上；若干个金属薄膜电极沿振环周向均匀间隔分布，金属薄膜电极端点位置与悬臂梁的第二端位置相对应。其结构简单，制造工艺要求低，对称性高，模态匹配度好。

公开(公告)号：CN114487481B

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202111256860.8

申请日：2021-10-27

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 柳泽良直

IPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/14 ,  G01P15/18 ,  G01P3/44 ,  G01C19/56

摘要： 本发明公开了能够判定元件的异常并通过施加偏置电压而使元件正常化的物理量传感器以及惯性测量装置。物理量传感器(1)具备判定电路(30)，判定电路(30)判定物理量信号的值是否在规定期间持续并处于规定范围内，在不持续的情况下，判定为物理量检测元件(6X、6Y、6Z)处于正常动作的第一状态，在持续的情况下，判定为物理量检测元件(6X、6Y、6Z)处于动作异常的第二状态，物理量传感器(1)具有物理量检测电路(3)，物理量检测电路(3)将基于判定电路(30)的判定结果的第一信息作为设定信息而存储于控制电路(40)，在判定电路(30)的判定结果为第二状态时，从通信部(26)将存储于控制电路(40)的设定信息向外部输出。

公开(公告)号：CN117490732A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202210875328.2

申请日：2022-07-25

申请人： 准懋(杭州)科技有限公司

发明人： 丁海涛

IPC分类号： G01D5/241 ,  G01C19/56 ,  G01P15/125

摘要： 公开了一种MEMS器件，包括：可动电极板；位于所述可动电极板第一侧的第一电极板和第一反馈电极板，所述第一电极板与所述可动电极板构成第一电容，所述第一反馈电极板与所述可动电极板构成第一反馈电容；位于所述可动电极板第二侧的第二电极板和第二反馈电极板，所述第二电极板与所述可动电容构成第二电容，所述第二反馈电极板与所述可动电极板构成第二反馈电容；其中，所述第一电容和所述第二电容连接至检测电路，所述检测电路用于对所述第一电容和所述第二电容进行差分检测；所述第一反馈电容和所述第二反馈电容连接至反馈电路，所述反馈电容用于消除所述检测电路的输出电压与可动电极板位移的非线性关系。

公开(公告)号：CN113048967B

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202110318966.X

申请日：2016-08-24

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 西泽竜太 ,  山口啓一 ,  中川啓史

IPC分类号： G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614

摘要： 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配

公开(公告)号：CN116046018B

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202310071615.2

申请日：2023-01-31

申请人： 无锡凌思科技有限公司

发明人： 赵炜 ,  蒋佩宇 ,  刘飞 ,  王雷

IPC分类号： G01C25/00 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08 ,  G01C19/56

摘要： 本发明提供一种应用于MEMS陀螺仪的温度补偿方法，包括：采集MEMS陀螺仪的数据，根据预设温度区间，获得不同温度区间MEMS陀螺仪的温度及输出数据，定义为第一、第二和第三数据集；建立神经网络模型；通过粒子群算法优化神经网络模型；采用第一、第二和第三数据集分别对神经网络模型进行训练，建立第一、第二和第三神经网络误差模型；判断陀螺仪温度是否大于等于过高温阈值或小于等于过低温阈值，若是，则采用第二神经网络误差模型进行温度补偿；若否，则判断陀螺仪温度所在的温度区间，若在设定温度与高温阈值区间，则采用第一神经网络误差模型进行温度补偿；否则采用第三神经网络误差模型进行温度补偿。本发明显著提高了MEMS陀螺仪的温度补偿精度。