一种半导体真空二极管
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113410110B

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202110513830.4

    申请日:2021-05-07

    摘要: 本发明公开了一种半导体真空二极管,由电极A、介电体、半导体电极B三种材料层依次叠置而成,电极A为功函数较低的金属材质,介电体中间具有一个贯通的真空通道,电极B为重掺杂半导体材质;使用时,电极A、电极B分别连接直流电源的一个电极。本发明的二极管具有在高温高辐射环境下工作性能稳定,激发电子较多电流较大,对制备工艺中介质层膜厚工艺偏差容忍度高等优点。

    一种可寻址的纳米冷阴极电子源阵列及其制作方法

    公开(公告)号:CN114496686A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202111633265.1

    申请日:2021-12-28

    申请人: 中山大学

    IPC分类号: H01J19/24 H01J9/02 B82Y30/00

    摘要: 本发明涉及真空微电子器件的技术领域,更具体地,涉及一种可寻址的纳米冷阴极电子源阵列及其制作方法,底部阴极电极条平行排布于衬底顶部,底部栅极电极条平行排布于第一绝缘层顶部,实现底部阴极电极条和底部栅极电极条的分层独立布线,且底部阴极电极条与底部栅极电极条垂直排布,顶部阴极电极通过第一刻蚀通孔与底部阴极电极条相连,顶部栅极电极通过第二刻蚀通孔与底部栅极电极条相连,实现器件可行列寻址的电子发射,本发明的可寻址的纳米冷阴极电子源阵列,实现每一行顶部栅极电极的并联,每一个顶部栅极电极的正常工作不受其他顶部栅极电极的影响,提高器件在高压大电流下的工作可靠性。

    一种基于场发射电子的太赫兹激光二极管

    公开(公告)号:CN112233953A

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN202011096363.1

    申请日:2020-10-14

    发明人: 刘维浩

    IPC分类号: H01J19/24

    摘要: 本发明公开了一种基于场发射电子的太赫兹激光二极管,包括彼此平行面对的阳极板和阴极板,设置于阳极板和阴极板之间的介质层环;介质层环的外侧面与阳极板的侧面对齐,介质层环的外侧面与阴极板的侧面对齐,介质层环的其中一个表面与阳极板上与阴极板相对的那一面接触,介质层环的另一个表面与阴极板上与阳极板相对的那一面接触,阳极板、阴极板和介质层环共同形成一个密封腔,阴极板为场发射阵列或者阴极板为平板且平板上与阳极板相对的那一面涂覆有场发射材料,阴极板的宽度大于阳极板与阴极板之间间距的20倍以上。通过调节二极管的偏置电压,即可改变高频场的工作频率,从而得到频率的可调的太赫兹电磁波输出。

    一种场发射冷阴极及其制造方法

    公开(公告)号:CN106653520B

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201611124177.8

    申请日:2016-12-08

    发明人: 洪序达 梁栋 石伟

    IPC分类号: H01J19/24 H01J35/06 H01J9/02

    摘要: 一种场发射阴极的制造方法,所述方法包括:提供导电基板;在所述导电基板上涂覆石墨烯纳米片;在所述石墨烯纳米片表面沉积六方氮化硼纳米片。通过在导电基板上涂覆石墨烯纳米片,在所述石墨烯纳米片的表面沉积六方氮化硼纳米片,使得六方氮化硼纳米片与石墨烯纳米片之间形成稳定的复合纳米结构,降低了石墨烯的功函数,增加了石墨烯表面的局域电场,从而明显降低阴极的开启电场,提高其发射电流。并且,六方氮化硼纳米片部分阻止了石墨烯受到阳离子的轰击,提高了阴极的发射稳定性。

    一种微波调制冷阴极微型辐射源及其实现方法

    公开(公告)号:CN105161389A

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201510674912.1

    申请日:2015-10-19

    IPC分类号: H01J19/24

    摘要: 本发明公开了一种微波调制冷阴极微型辐射源及其实现方法,解决了现有技术的问题。该微波调制冷阴极微型辐射源包括利用微波调制的冷阴极电子枪;互作用谐振腔,与利用微波调制的冷阴极电子枪配合使用;互作用谐振腔包括谐振腔壳体,两个相对并分别设置在谐振腔壳体内部上下两端的电子注漂移管道,两个电子注漂移管道之间具有间隙,且位于上端的电子注漂移管道为收集极;在谐振腔壳体的一侧上还设置有凸出谐振腔壳体的外导体和位于外导体内的内导体,在二者之间还设置有陶瓷输出窗片,外导体、内导体和陶瓷输出窗片同轴;外导体中空并与谐振腔壳体连通;在谐振腔壳体内与内导体同侧还设置有耦合环,耦合环一端与内导体连接、另一端与谐振腔壳体内壁连接。