摘要:
A microelectromechanical system (MEMS) device includes a high density getter. The high density getter includes a silicon surface area formed by porosification or by the formation of trenches within a sealed cavity of the device. The silicon surface area includes a deposition of titanium or other gettering material to reduce the amount of gas present in the sealed chamber such that a low pressure chamber is formed. The high density getter is used in bolometers and gyroscopes but is not limited to those devices.
摘要:
A miniaturized ABS hydraulic unit is provided. In an ABS hydraulic unit 100 where a pump 12 and valves 13, 14 are disposed in the inside of a hydraulic circuit 1 for making a hydraulic brake perform braking, and an antilock brake control of the hydraulic brake is performed by controlling the pump 12 and the valves 13, 14, a motor 11 for operating the pump 12 is configured to operate the pump 12 by way of a planetary gear mechanism 30.
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Überwachung einer Feuerungsanlage, insbesondere eines Heizgerätes, mit einem mit festen, flüssigen oder gasförmigen Brennstoffen befeuerten Brenner, einem Luft- und/oder Abgasgebläse, einer Regeleinrichtung sowie Sensoren zur Erfassung des Sauerstoffgehaltes im Abgas und zur Erfassung des Abgasmassenstromes, welche jeweils mit Heizvorrichtungen versehen sind. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Überwachung einer Feuerungsanlage und zum Betreiben dieser Anordnung. Es ist Aufgabe der Erfindung, den Betrieb einer Feuerungsanlage, insbesondere eines Heizgerätes, im Hinblick auf eine gute Verbrennungsqualität und einen geringen Stromverbrauch zu optimieren. Gekennzeichnet ist die Anordnung dadurch, dass eine einzige Baueinheit als Sensor zur Erfassung des Sauerstoffgehaltes im Abgas und zur Erfassung des Abgasmassenstromes vorgesehen ist, welche eine einzige Heizvorrichtung für beide Funktionen aufweist.