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    MEMS DEVICE HAVING A GETTER
    3.
    发明公开
    MEMS DEVICE HAVING A GETTER 有权
    MEMS-VORRICHTUNG MIT EINEM GETTER

    公开(公告)号：EP2973685A4

    公开(公告)日：2016-10-12

    申请号：EP14774321

    申请日：2014-03-13

    申请人： BOSCH GMBH ROBERT

    发明人： SAMARAO ASHWIN ,  O'BRIEN GARY ,  FEYH ANDO ,  YAMA GARY ,  GRAHAM ANDREW ,  KIM BONGSANG ,  PURKL FABIAN

    IPC分类号： H01L23/12 ,  B81B7/02 ,  H01L21/322

    CPC分类号： B81C1/00285 ,  B81C2201/0115 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/035 ,  H01L21/3223 ,  H01L21/3225 ,  H01L23/28

    摘要： A microelectromechanical system (MEMS) device includes a high density getter. The high density getter includes a silicon surface area formed by porosification or by the formation of trenches within a sealed cavity of the device. The silicon surface area includes a deposition of titanium or other gettering material to reduce the amount of gas present in the sealed chamber such that a low pressure chamber is formed. The high density getter is used in bolometers and gyroscopes but is not limited to those devices.

    摘要翻译： 微机电系统（MEMS）装置包括高密度吸气剂。 高密度吸气剂包括通过孔化形成的硅表面积或者通过在器件的密封空腔内形成沟槽。 硅表面积包括钛或其它吸气材料的沉积物以减少存在于密封室中的气体的量，从而形成低压室。 高密度吸气剂用于测辐射热计和陀螺仪，但不限于这些设备。

    Vorrichtung zum Reduzieren eines (Partial-)Drucks zumindest einer chemischen Spezies in einer abgeschlossenen Kavität, Bauelement und Verfahren zum Herstellen des Bauelements
    6.
    发明公开
    Vorrichtung zum Reduzieren eines (Partial-)Drucks zumindest einer chemischen Spezies in einer abgeschlossenen Kavität, Bauelement und Verfahren zum Herstellen des Bauelements 有权
    用于减少在封闭的空腔，器件和制造该装置的方法的至少一种化学物质的（部分）压力的设备

    公开(公告)号：EP2918544A1

    公开(公告)日：2015-09-16

    申请号：EP15155572.9

    申请日：2015-02-18

    申请人： ROBERT BOSCH GMBH

    发明人： Schelling, Christoph

    IPC分类号： B81C1/00

    CPC分类号： B81C1/00285 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C2203/0181

    摘要： Die Erfindung betrifft Vorrichtung (100) zum Reduzieren eines (Partial-)Drucks (p) zumindest einer chemischen Spezies in einer abgeschlossenen Kavität (102). Die Vorrichtung (100) weist einen Getter (106) und einen Heizer (108) auf. Der Getter (106) ist dazu ausgebildet, zumindest einen Anteil der Spezies aus der Kavität (102) aufzunehmen, wenn der Getter (106) innerhalb der Kavität (102) auf eine Temperatur größer einer Aufnahmetemperatur erhitzt wird. Der Heizer (108) ist als chemischer Heizer (108) ausgebildet und thermisch mit dem Getter (106) gekoppelt. Der Heizer (108) ist dazu ausgebildet, durch eine selbsterhaltende exotherme Reaktion den Getter (106) über die Aufnahmetemperatur zu erhitzen, wenn der Heizer (108) mit einer Aktivierungsenergie aktiviert wird.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于减少在封闭的腔室（102）中的（局部的）压力（P）的至少一种化学物类设备（100）。 所述装置（100）包括一个吸气剂（106）和加热器（108）。 该吸气剂（106）被适配为接收至少一个从所述腔（102）的种类的部分时所述空腔（102）内的吸气剂（106）被加热到比记录温度的温度。 加热器（108）被形成为一个化学加热器（108）和热耦合到所述吸气剂（106）。 加热器（108）被适配为，通过该吸气剂（106），用于在记录温度加热的自持放热反应，当加热器（108）与活化能活化。

    Manufacturing method of combined sensor
    9.
    发明公开
    Manufacturing method of combined sensor 有权
    Herstellungsverfahrenfürkombinierten传感器

    公开(公告)号：EP2362182A2

    公开(公告)日：2011-08-31

    申请号：EP11154558.8

    申请日：2011-02-15

    申请人： Hitachi Automotive Systems, Ltd.

    发明人： Aono, Takanori ,  Suzuki, Kengo ,  Koide, Akira ,  Hayashi, Masahide

    IPC分类号： G01C19/56

    CPC分类号： G01C19/56 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2207/096 ,  B81C1/00285 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/035 ,  G01C19/5769 ,  G01C19/5783 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0882 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2924/181 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49007 ,  Y10T29/4908 ,  Y10T29/49171 ,  Y10T29/49176 ,  Y10T29/49826 ,  H01L2924/00012

    摘要： A movable device (11) of acceleration sensors (11, 21) and a vibration device (12) of a gyroscope (12, 22) are formed on the same sensor wafer (10) spaced apart from each other by a wall (16). A cap wafer (20) having gaps (21, 22) corresponding to the movable mechanical components (11, 12) of the acceleration sensors and gyroscope is provided for the wafer (10) and an adsorbent (24) divided into a plurality of divisional portions is disposed in the gap (22) for the gyroscope (12, 22). After the sensor wafer (10) and the cap wafer (20) have been bonded together at a temperature of inactivation of the adsorbent (24) and in an atmospheric pressure ambience of noble gas and activated gas, the adsorbent divisional portions are activated in sequence to adsorb the activated gas so as to adjust the pressure inside the gyroscope (12, 22), thus manufacturing a combined sensor wafer (10, 20).

    摘要翻译： 加速度传感器（11,21）的可移动装置（11）和陀螺仪（12,22）的振动装置（12）形成在通过壁（16）彼此间隔开的同一传感器晶片（10）上， 。 具有对应于加速度传感器和陀螺仪的可移动机械部件（11,12）的间隙（21,22）的盖片（20）被设置用于晶片（10）和吸附剂（24），被分成多个分区 部分设置在用于陀螺仪（12,22）的间隙（22）中。 在传感器晶片（10）和盖晶片（20）已经在吸附剂（24）失活的温度下并且在惰性气体和活性气体的大气压环境中结合在一起之后，吸附剂分段按顺序被激活 以吸附活性气体，以调节陀螺仪（12,22）内的压力，从而制造组合的传感器晶片（10,20）。